CN216350417U - 人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构 - Google Patents

Abstract

一种人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构，包括灯架和灯罩，所述灯架顶部设有拍摄口，底部设有物料口，所述灯罩覆盖在灯架的外表面，灯罩顶部设有灯座，灯座与设备架体固定连接，所述灯架内表面从上至下依次设置有同轴灯板、明场灯板、暗场灯板，与现有技术相比，能在一次曝光中完成动态范围图像的获取，图像质量高，芯片表面缺陷表达显著。

Description

人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构

技术领域

本实用新型涉及芯片表面缺陷检测技术领域，特别涉及基于人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构。

背景技术

半导体芯片表面缺陷在线检测使用机器视觉处理采集图像作为原始输入数据，图像的质量影响后续算法难易程度、分类准确性与稳定性，决定了整个检测系统的性能，通过硬件优化，主要使用前向同轴照明，并使用多重图像采集设备对被测物进行多次图像采集并合成高分别率图像，这类方法设备投入成本高，系统安装、运行复杂；通过软件优化，需多次采集不同曝光的图像，通过一定的图像配准合成算法获得融合后的HDR图像，这类方法需要闪光灯配合不同的曝光层级，增加系统设计和维护成本，需要多次进行图像采集和HDR图像合成，不适用于在线检测应用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构，能在一次曝光中完成动态范围图像的获取，图像质量高，芯片表面缺陷表达显著。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构，包括用于固定照明元器件的灯架和起连接、保护作用的灯罩，所述灯架顶部设有用于插入相机的拍摄口，底部设有布置照明区域的物料口，所述灯罩覆盖在灯架的外表面上，保护内部的连接线路，灯罩顶部设有起固定连接作用的灯座，灯座与设备架体固定连接，设备架体是芯片检测机的机架，灯架内表面从上至下依次设置有同轴灯板、明场灯板、暗场灯板；

同轴灯板和明场灯板上设置的是漫射灯珠，同轴灯板上的漫射灯珠与水平面夹角为α，夹角α为60~80°，明场灯板上的漫射灯珠与水平面夹角为β，夹角β为30~45°，暗场灯板上设置的是直射灯珠，暗场灯板上的直射灯珠与水平面夹角为θ，夹角θ为5~15°。

作为进一步改进，所述漫射灯珠发出漫射光，直射灯珠发出直射光。

作为进一步改进，所述同轴灯板、明场灯板、暗场灯板均为圆环形的灯板。

作为进一步改进，所述漫射灯珠和直射灯珠均为红、蓝双色的LED灯。

相较于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型提供的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构中，同轴灯板和明场灯板使用漫射灯珠，芯片中金属部反射光线进入相机的光多，而塑料部表面以漫反射为主，反射光进入相机光线少，有效避免图像中芯片金属部过曝，保证被测物表面照明亮度均衡；

2、本实用新型提供的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构中，暗场灯板采用直射灯珠，光束发散角度小，照射在芯片塑料部或金属部表面缺陷处反射的光线进入相机多，而照射在芯片金属部分反射光线进入相机少，可以提高塑料部表面亮度，突显金属部表面缺陷；

3、本实用新型提供的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构中，漫射灯珠和直射灯珠均为红、蓝双色LED，避免芯片金属部在图像中过曝影响细节判别。

4、本实用新型提供的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构便于固定安装，结构简单，适于量产。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的爆炸图。

图3为本实用新型的另一角度结构示意图。

图4为本实用新型的正视图。

图5为本实用新型的照明方案示意图。

图中1.灯架，11.同轴灯板，12.明场灯板，13.暗场灯板，14.拍摄口，15.物料口，1a.漫射灯珠，1b.直射灯珠，2.灯罩，21.灯座，22.固定接口，23.电气接口。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。

第一实施方式

如图1至图5所示，一种人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构，该结构中有灯架1和灯罩2，灯架1顶部设有用于相机拍照的拍摄口14，底部设有用于打光在芯片上的物料口15，所述灯罩2覆盖在灯架1的外表面，灯罩2顶部设有灯座21，灯座21与设备架体固定连接，灯架1内表面从上至下依次设置有同轴灯板11、明场灯板12、暗场灯板13。

漫射灯珠1a发出漫射光，直射灯珠1b发出直射光。

同轴灯板11用于前向同轴照明，同轴灯板11上的漫射灯珠1a与水平面夹角为α，夹角α为60~80°，是机器视觉中常用的照明方式。

明场灯板12用于前向明场照明，明场灯板12上的漫射灯珠1a与水平面夹角为β，夹角β为30~45°，此种照明结构，芯片中金属部反射光线进入相机的光多，而塑料部表面以漫反射为主，反射光进入相机光线少，有效避免图像中芯片金属部过曝，保证被测物表面照明亮度均衡。

暗场灯板13用于前向暗场照明，暗场灯板13上的直射灯珠1b与水平面夹角为θ，夹角θ为5~15°，直射灯珠1b光束发散角度小，照射在芯片塑料部或金属部表面缺陷处反射的光线进入相机多，而照射在芯片金属部分反射光线进入相机少，可以提高塑料部表面亮度，突显金属部表面缺陷。

所述灯座21上设有电气接口23，所述电气接口23分别与同轴灯板11、明场灯板12、暗场灯板13电气连接，连接所用的导线布置在灯架1与灯罩2的夹层中；所述同轴灯板11、明场灯板12、暗场灯板13均为圆环形；所述漫射灯珠1a和直射灯珠1b均为红、蓝双色的LED灯，能避免芯片金属部在图像中过曝影响细节判别。

第二实施方式

如图3所示，本实施例与第一实施方式的区别点在于：

所述灯座21上设有固定接口22，固定接口22与设备架体螺纹连接，便于装卸；所述灯座21有两个，两所述灯座21对称设置在拍摄口14两侧，两侧固定受力均匀。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (7)

1.一种人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构，包括灯架（1）和灯罩（2），其特征在于，所述灯架（1）顶部设有拍摄口（14），底部设有物料口（15），所述灯罩（2）覆盖在灯架（1）的外表面，灯罩（2）顶部设有灯座（21），灯座（21）与设备架体固定连接，所述灯架（1）内表面从上至下依次设置有同轴灯板（11）、明场灯板（12）、暗场灯板（13）；

所述同轴灯板（11）和明场灯板（12）上的漫射灯珠（1a）与水平面夹角为α和β，所述暗场灯板（13）上的直射灯珠（1b）与水平面夹角为θ，夹角α为60~80°，夹角β为30~45°，夹角θ为5~15°。

2.根据权利要求1所述的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构，其特征在于，所述漫射灯珠（1a）发出漫射光，直射灯珠（1b）发出直射光。

3.根据权利要求1所述的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构，其特征在于，所述灯座（21）上设有电气接口（23），所述电气接口（23）分别与同轴灯板（11）、明场灯板（12）、暗场灯板（13）电气连接，电气连接所用的导线布置在灯架（1）与灯罩（2）的夹层中。

4.根据权利要求1所述的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构，其特征在于，所述灯座（21）上设有固定接口（22），固定接口（22）与设备架体螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构，其特征在于，所述灯座（21）有两个，两所述灯座（21）对称设置在拍摄口（14）两侧。

6.根据权利要求1所述的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构，其特征在于，所述同轴灯板（11）、明场灯板（12）、暗场灯板（13）均为圆环形。

7.根据权利要求1或2任一项所述的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的照明结构，其特征在于，所述漫射灯珠（1a）和直射灯珠（1b）均为红、蓝双色的LED灯。

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