CN215910767U

CN215910767U - 人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置

Info

Publication number: CN215910767U
Application number: CN202122492622.9U
Authority: CN
Inventors: 周小军; 谭薇
Original assignee: GANSU INDUSTRY POLYTECHNIC COLLEGE
Current assignee: GANSU INDUSTRY POLYTECHNIC COLLEGE
Priority date: 2021-10-17
Filing date: 2021-10-17
Publication date: 2022-02-25
Anticipated expiration: 2031-10-17

Abstract

一种人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置，包括架体、灯体和反光盘，所述架体的侧面向下延申设有调节杆，调节杆上设有滑槽，所述灯体侧面设有滑块，所述滑块的开口处与压板插接，滑块沿调节杆的延申方向移动，压板中部设有压紧螺栓，压紧螺栓微调压板与滑块之间的距离，架体侧面上部设有若干固定螺栓，固定螺栓的螺杆上套有稳定柱，与现有技术相比，LED灯透过灯罩的透射部照射在镜反射面上，再由镜反射面反射到芯片表面，小角度的直射光照射芯片表面，芯片表面金属部反射光进入相机少，而缺陷表面为漫反射，进入相机的光多，可以显著的呈现出芯片表面的缺陷，为人工免疫方法提供高对比度的图像。

Description

人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置

技术领域

本实用新型涉及芯片表面缺陷检测技术领域，特别涉及一种人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置。

背景技术

芯片表面缺陷检测常采用图像分割方法，该方法以阈值分割最为常见，但寻找阈值的过程往往艰难且漫长。可仿照生物免疫的方式，用人工免疫算法快速获得最优分割阈值，已有技术模拟被动免疫方式提出了克隆选择算法，该算法可用于图像分割中最优阈值的搜索。克隆选择算法具有被动免疫方式的学习、进化和记忆能力，同时也继承了它的缺点，耗时长且稳健性不好，而主动免疫方式虽然能解决这些问题，但对于图像分割问题，通常事先找不出作为疫苗的“成熟”抗体，即最优阈值，因此对机器视觉原始采集数据要求较高，现有的照明装置单使用前向明场照明，获得图像的对比度较低，芯片表面细节缺陷呈现不足。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置，使芯片表面缺陷表达显著。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置，包括架体、灯体和反光盘，所述架体的侧面向下延申设有调节杆，调节杆上设有滑槽，所述灯体侧面设有滑块，所述滑块的开口处与压板插接，滑块沿调节杆的延申方向移动，压板中部设有压紧螺栓，压紧螺栓微调压板与滑块之间的距离，架体侧面上部设有若干固定螺栓，固定螺栓的螺杆上套有稳定柱；所述灯体包括灯座、灯罩和LED灯，所述灯座下部设有灯罩，灯座内向灯罩方向设有LED灯，所述灯罩分为漫射部和透射部，LED灯的光穿过漫射部为漫射光，LED灯的光穿过透射部为直射光，灯体中心设有照相窗；所述反光盘设置在灯体正下方，反光盘上面设有沉槽，沉槽侧面为镜反射面，沉槽底部设有芯片槽。

作为进一步改进，镜反射面与水平面夹角为50~60°，且被透射部遮罩的LED灯垂直向下设置，经过镜反射面反射的光以10~30°入射角照射芯片表面，直射光以暗场照明方式，可使漫反射被照物细节表现突出。

作为进一步改进，透射部应设置在镜反射面的正上方，以保证LED灯的直射光部分照射在镜反射面上。

作为进一步改进，所述LED灯为红蓝双色LED，避免金属色在图像中过曝影响细节。

作为进一步改进，所述灯体为圆环形，镜反射面为与灯体适配的圆环形，圆环形照射无阴影，打光均匀。

相较于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置中，LED灯透过灯罩的透射部照射在镜面上，再由镜面反射到芯片表面，小角度的直射光照射芯片表面，芯片表面金属部反射光进入相机少，而缺陷表面为漫反射，进入相机的光多，可以显著的呈现出芯片表面的缺陷，为人工免疫方法提供高对比度的图像。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为图1中A区域的放大图。

图3为本实用新型的照明结构原理图。

图4为图3中B区域的放大图。

图5为本实用新型在应用场景中的状态图。

图中1.架体，11.调节杆，111.滑槽，12.滑块，13.压板，14.压紧螺栓，15.固定螺栓，16.稳定柱，17.连接孔，2.灯体，21.灯座，22.灯罩，22a.漫射部，22b.透射部，23.照相窗，24.LED灯，25.电气接口，3.反光盘，31.沉槽，311.镜反射面，32.芯片槽，4.相机，5.镜头，6.芯片。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。

如图1至图5所示，一种人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置，包括架体1、灯体2和反光盘3，所述架体1的侧面向下延申设有调节杆11，调节杆11调节灯体2到反光盘3的距离，用于调节光照强度，以匹配算法的需要，调节杆11上设有滑槽111，起导轨的作用，所述灯体2侧面设有滑块12，所述滑块12的开口处与压板13插接，压板13在插入方向可移动，滑块12沿调节杆11的延申方向能移动，压板13中部设有压紧螺栓14，压紧螺栓14的旋钮部分在压板13外部，压紧螺栓14的螺杆部分穿过压板13和滑槽111与滑块12螺纹连接，旋转压紧螺栓14使压板13压在调节杆11上，因此，压紧螺栓14能微调压板13与滑块12之间的距离，使滑块12固定在调节杆11的任意位置上，架体1侧面上部设有若干固定螺栓15，固定螺栓15的螺杆上套有稳定柱16，与相机的螺纹孔连接，稳定柱16的长度根据架体1的侧面到相机4的距离截取。

所述灯体2包括灯座21、灯罩22和LED灯24，所述灯座21下部设有灯罩22，灯座21内向灯罩22方向设有LED灯24，所述灯罩22分为漫射部22a和透射部22b，LED灯24的光穿过漫射部22a为漫射光，LED灯24的光穿过透射部22b为直射光，灯体2中心设有照相窗23，照射窗23的宽度不能小于镜头5的直径；为了打光更加均匀，且无阴影，可以将灯体2设置为圆环形的结构，因此LED灯24也是环形布置，且镜反射面311也应为与灯体1适配的圆环形，所述灯体2上设有电气接口25，所述电气接口25与LED灯24电气连接。

所述反光盘3设置在灯体2正下方，最好是所述透射部22b在镜反射面311的正上方，反光盘3上面设有沉槽31，沉槽31侧面为镜反射面311，镜反射面311可以是镜子，当镜反射面311为圆环形结构时，镜反射面311为在沉槽31侧面的反光涂层，沉槽31底部设有芯片槽32，芯片槽32形状不唯一，且尺寸要大于芯片6，为获得小角度的暗场照明光，将镜反射面311与水平面夹角α设置成50~60°，则照射在芯片6上的入射角β是10~30°，透射部22b遮罩的LED灯24垂直向下设置，LED灯24采用红蓝双色LED，避免芯片6金属色部分曝光过度，缺陷表达不显著。

为了保证架体1的稳定性，所述架体1的侧面有两个，架体1的两个侧面对称设置，为此，灯体2上也设有对称的滑块12，这样设置后还要确保反光盘3可以在架体1下方穿过，因此，架体1的两个侧面之间的距离要大于反光盘3的宽度，相机4上设有螺纹孔，通过螺纹孔与视觉检测设备的机架连接，也可以在所述架体1正面上设有若干连接孔17，通过连接孔17与视觉检测设备的机架连接。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims

1.一种人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置，包括架体（1）、灯体（2）和反光盘（3），其特征在于，所述架体（1）的侧面向下延申设有调节杆（11），调节杆（11）上设有滑槽（111），所述灯体（2）侧面设有滑块（12），所述滑块（12）的开口处与压板（13）插接，滑块（12）沿调节杆（11）的延申方向移动，压板（13）中部设有压紧螺栓（14），压紧螺栓（14）微调压板（13）与滑块（12）之间的距离，架体（1）侧面上部设有若干固定螺栓（15），固定螺栓（15）的螺杆上套有稳定柱（16）；

所述灯体（2）包括灯座（21）、灯罩（22）和LED灯（24），所述灯座（21）下部设有灯罩（22），灯座（21）内向灯罩（22）方向设有LED灯（24），所述灯罩（22）分为漫射部（22a）和透射部（22b），LED灯（24）的光穿过漫射部（22a）为漫射光，LED灯（24）的光穿过透射部（22b）为直射光，灯体（2）中心设有照相窗（23）；

所述反光盘（3）设置在灯体（2）正下方，反光盘（3）上面设有沉槽（31），沉槽（31）侧面为镜反射面（311），沉槽（31）底部设有芯片槽（32）。

2.根据权利要求1所述的人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置，其特征在于，所述镜反射面（311）与水平面夹角为50~60°，所述透射部（22b）遮罩的LED灯（24）垂直向下设置。

3.根据权利要求1或2任一项所述的人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置，其特征在于，所述透射部（22b）在镜反射面（311）的正上方。

4.根据权利要求1所述的人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置，其特征在于，所述架体（1）的侧面有两个，架体（1）的两个侧面对称设置。

5.根据权利要求4所述的人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置，其特征在于，所述架体（1）的两个侧面之间的距离大于反光盘（3）的宽度。

6.根据权利要求1所述的人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置，其特征在于，所述架体（1）正面上设有若干连接孔（17）。

7.根据权利要求1所述的人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置，其特征在于，所述灯体（2）上设有电气接口（25），所述电气接口（25）与LED灯（24）电气连接。

8.根据权利要求1或2任一项所述的人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置，其特征在于，所述LED灯（24）为红蓝双色LED。

9.根据权利要求1所述的人工免疫技术检测芯片表面缺陷的照明装置，其特征在于，所述灯体（2）为圆环形，镜反射面（311）为与灯体（2）适配的圆环形。