CN216323702U - 一种基板喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及泛半导体技术领域，尤其涉及一种基板喷淋装置。本实用新型提供的基板喷淋装置通过第一驱动件将液槽内的药液泵送至喷淋头，喷淋头在喷淋腔室内喷淋清洗基板，已喷淋的药液经过喷淋腔室底部的多个排液口汇流至主管道，由于重力作用药液通过多条第一管道回流至液槽。沿喷淋腔室的长度方向布置的主管道尺寸较长且存在非平直部分，通过设置多条第一管道沿主管道的长度方向间隔设置能保证将主管道内的药液排尽，避免药液积留在主管道内导致药液失效或发热，从而保证基板喷淋装置正常工作以及保证产生安全。

Description

一种基板喷淋装置

技术领域

本实用新型涉及泛半导体技术领域，尤其涉及一种基板喷淋装置。

背景技术

泛半导体的湿制程设备对玻璃和硅片等基板的表面进行显影、刻蚀和剥离等工艺，基板经过显影、刻蚀和剥离等工艺之后，需要进行清洗。现有技术在工艺槽内利用药液喷淋基板，但由于湿制程设备以及工艺复杂，其设备的管路布置复杂，喷淋后的积液从多个排液口汇入总管道，主管道再通过回流管道回流到液槽。主管道尺寸较长且可能非平直设置，导致药液容易在管道中积聚滞留，进而引发药液失效或过度发热的不良后果。

因此亟需一种基板喷淋装置以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种基板喷淋装置，能够及时排空基板喷淋装置管道内的药液积液，避免管道内残留积液而影响基板喷淋装置正常工作或产生安全问题。

为达此目的，本实用新型采用了以下方案：

一种基板喷淋装置，被配置为向基板喷淋药液，包括：

供液组件，包括液槽和第一驱动件，该液槽被配置为储存药液；

喷淋组件，包括喷淋腔室和多个设置在该喷淋腔室内的喷淋头，该喷淋腔室设置在该液槽上方，该喷淋腔室底部沿其长度方向设置有多个排液口，该基板能容纳于该喷淋腔室，该第一驱动件被配置为将该液槽内的药液泵送至该喷淋头；

管道组件，包括主管道和多条第一管道，该主管道沿该喷淋腔室的长度方向布置，多个该排液口均与该主管道接通，且沿该主管道的长度方向间隔设置，且上端与该主管道连通，下端与该液槽连通。

作为可选方案，该管道组件还包括第二管道，该第二管道一端与该主管道沿该喷淋腔室的长度方向的最低处接通，另一端与该液槽接通。

作为可选方案，该第二管道包括：

第一竖直段，沿竖向设置，且其上端与该主管道连通；

第二竖直段，沿竖向设置，且其下端与该液槽连通；

水平段，沿水平设置，且其一端与该第一竖直段的下端连通，另一端与该第二竖直段的上端连通。

作为可选方案，该管道组件还包括第三管道，该第三管道沿水平方向布置，一端与该第一管道接通，另一端与该第二管道接通。

作为可选方案，该基板喷淋装置还包括：

第一阀，设置在该第一管道上，该第三管道与该第一管道的连通位置位于该第一阀的上游；

第二阀，设置在该第二管道上。

作为可选方案，该供液组件包括两个该液槽，两个该液槽分别通过连接管道与该第一驱动件连通，每个该连接管道上设置一个第三阀。

作为可选方案，该供液组件还包括加热件，该加热件设置于该液槽内，该加热件被配置为提高该液槽内药液的温度。

作为可选方案，该供液组件还包括冷却件，该冷却件设置于该液槽内，该冷却件被配置为降低该液槽内药液的温度。

作为可选方案，该供液组件还包括液体暂存槽、温度传感器和第二驱动件，该液体暂存槽与该液槽连通，该温度传感器被配置为检测该液槽内药液的温度，该第二驱动件被配置为驱动液槽内液体流出至该液体暂存槽和/或驱动该液体暂存槽内液体流入至该液槽。

作为可选方案，该基板喷淋组件还包括输送组件，该输送组件被配置为沿该喷淋腔室的长度方向输送该基板；该输送组件包括多个平行设置的滚轴和第三驱动件，该喷淋头分别设置在该多个该滚轴的上下两侧，该基板能设置于多个该滚轴上，该第三驱动件被配置为驱动多个该滚轴转动，以驱动该基板沿该喷淋腔室的长度方向运动。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供的基板喷淋装置通过第一驱动件将液槽内的药液泵送至喷淋头，喷淋头在喷淋腔室内喷淋清洗基板，已喷淋的药液经过喷淋腔室底部的多个排液口汇流至主管道，由于重力作用药液通过多条第一管道回流至液槽。沿喷淋腔室的长度方向布置的主管道尺寸较长且存在非平直部分，通过设置多条第一管道沿主管道的长度方向间隔设置能保证将主管道内的药液排尽，避免药液积留在主管道内导致药液失效或发热，从而保证基板喷淋装置正常工作以及保证产生安全。

附图说明

图1是本实用新型的实施例提供的基板喷淋装置的结构示意图；

图中：

100、供液组件；110、液槽；120、第一驱动件；130、加热件；140、冷却件；150、液体暂存槽；160、第二驱动件；200、喷淋组件；210、喷淋腔室；211、排液口；220、喷淋头；300、管道组件；310、主管道；320、第一管道；330、第二管道；331、第一竖直段；332、水平段；333、第二竖直段；340、第三管道；400、第一阀；500、第二阀；600、第三阀；700、输送组件；800、连接管道。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部。

本实用新型中限定了一些方位词，在未作出相反说明的情况下，所使用的方位词如“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”，这些方位词是为了便于理解而采用的，因而不构成对本实用新型保护范围的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1所示，本实施例提供了一种基板喷淋装置，用于向基板喷淋药液以达到清洗的目的。基板喷淋装置包括供液组件100、喷淋组件200和管道组件300。供液组件100包括液槽110和第一驱动件120，液槽110用于储存药液。喷淋组件200包括喷淋腔室210和多个设置在喷淋腔室210内的喷淋头220，喷淋腔室210设置在液槽110的上方，喷淋腔室210的底部沿其长度方向设置有多个排液口211，基板能容纳设置于喷淋腔室210内，第一驱动件120用于将液槽110内的药液泵送至喷淋头220，喷淋头220用于喷淋药液清洗基板。管道组件300包括主管道310和多条第一管道320，主管道310沿喷淋腔室210的长度方向布置，多个排液口211均与主管道310接通，多条第一管道320沿主管道310的长度方向间隔设置，且上端与主管道310连通，下端与液槽110连通。

本实施例的基板喷淋装置通过第一驱动件120将液槽110内的药液泵送至喷淋头220，喷淋头220在喷淋腔室210内喷淋清洗基板，已喷淋的药液经过喷淋腔室210底部的多个排液口211汇流至主管道310，由于重力作用药液通过多条第一管道320回流至液槽110。沿喷淋腔室210的长度方向布置的主管道310尺寸较长且存在非平直部分，通过设置多条第一管道320沿主管道310的长度方向间隔设置能保证将主管道310内的药液排尽，避免药液积留在主管道310内导致药液失效或发热，从而保证基板喷淋装置正常工作以及保证产生安全。具体地，第一驱动件120可以是液体输送泵。优选地，主管道310的选用规格200A的管道，以保证排通液体的效果。

主管道310管程较长，实际中难以保证绝对平直地布置，因此药液会积留在主管道310中。为了进一步排空主管道310内积留的药液，本实施例提供的管道组件300还包括第二管道330，第二管道330一端与主管道310沿喷淋腔室210的长度方向的最低处接通，另一端与液槽110接通。在布置好的主管道310上测量并确定主管道310最低处的位置，在该位置利用第二管道330与液槽110接通，保证主管道310内积留的药液通过重力作用能回流至液槽110，保证排空主管道310内的药液。

具体地，在本实施例中，第二管道330包括第一竖直段331、第二竖直段333和水平段332。第一竖直段331沿竖向设置，且其上端与主管道310连通。第二竖直段333沿竖向设置，且其下端与液槽110连通。水平段332沿水平设置，且其一端与第一竖直段331的下端连通，另一端与第二竖直段333的上端连通。将第二管道330中的两端设置为竖直段，从而能大大减小在第二管道330中产生积液的可能性，而将其中一端设置为水平段，则方便改变竖直段的位置，进而保证能实现主管道310最低处与液槽110的连通。

在实际布置多条连通排液口211和液槽110的第一管道320的过程中，由于第一管道320数量多，且可能受到其他结构的影响，导致管道布置复杂，使第一管道320存在部分盘绕错杂的部位，药液会有部分残留于第一管道320内。为了防止药液在第一管道320内积聚，本实施例中的管道组件300还包括第三管道340，第三管道340沿水平方向布置，一端与第一管道320接通，另一端与第二管道330接通。其中第三管道340可以连接于第一管道320盘绕错杂的部位，使第一管道320内可能积聚的药液经第三管道340流至第二管道330，从而将积聚的药液通过布置方式更为简单的第二管道300排空，避免药液残留在第二管道330内而导致药液失效或药液升温而产生安全问题。

为了方便控制管道组件300的开合，本实施例的基板喷淋装置还包括第一阀400和第二阀500。第一阀400设置在第一管道320上，第三管道340与第一管道320的连通位置位于第一阀400的上游，第二阀500设置在第二管道330上。第一阀400用于控制第一管道320的流通和闭合。第二阀500用于控制第二管道330的流通和闭合。当第一阀400闭合时，开启第二阀500能使第一管道320内的液体测流至第二管道330，以进一步排出第一管道320内的液体。优选地，第一阀400和第二阀500均可选用气动蝶阀或气动球阀，以保证开启或闭合管道的效率。

为了实现在不停机的情况下持续供液，本实施例的供液组件100包括两个液槽110，两个液槽110分别通过连接管道800与第一驱动件120连通，每个连接管道800上设置一个第三阀600。第三阀600用于开启或停止所对应的液槽110内的药液通向第一驱动件120。通过选择性地开启不同连接管道800上的第三阀600来选择将对应液槽110内药液通向第一驱动件120，保证能够在不停机的情况下持续向第一驱动件120通入液槽110，进而使喷淋组件200能够持续进行喷淋工作。具体地，第三阀600可以选用气动蝶阀或气动球阀。

由于喷淋基板时对药液的温度有要求，对喷淋不同种类的基板所使用的药液的温度不一样，为了实现对药液的升温，本实施例中的供液组件100还包括加热件130，加热件130设置于液槽110内，加热件130用于提高液槽110内药液的温度，以保证所使用的药液温度符合喷淋工作的要求。

为了及时对过热的药液降温，本实施例中的供液组件100还包括冷却件140，冷却件140设置于液槽110内，冷却件140用于降低液槽110内药液的温度，保证能及时冷却过热的药液，使药液的温度符合喷淋工作的要求。

为了进一步精确控制药液的温度，本实施例中的供液组件100还包括液体暂存槽150、温度传感器和第二驱动件160，液体暂存槽150与液槽110连通，温度传感器用于检测液槽110内药液的温度，第二驱动件160用于驱动液槽110内液体流出至液体暂存槽150和/或驱动液体暂存槽150内液体流入至液槽110。温度传感器检测液槽110内药液的温度，如果温度过高或过低，而液槽110内的加热件130或冷却件140无法及时对药液升温或降温，第二驱动件160将液槽110内的药液通向液体暂存槽150。待加热件130或冷却件140恢复对液槽110内药液温度处理时，第二驱动件160将液体暂存槽150内的液体送回液槽110，从而实现对液槽110内药液的外循环，以提高液槽110对药液的温度处理能力，进一步精确地控制药液的温度。具体地，第二驱动件160可以是液体输送泵。

为了提高喷淋组件200对基板的喷淋效果，本实施例中的基板喷淋组件200还包括输送组件700，输送组件700用于沿喷淋腔室210的长度方向输送基板。具体地，输送组件700包括多个平行设置的滚轴和第三驱动件，喷淋头220分别设置在多个滚轴的上下两侧，基板能设置于多个滚轴上，第三驱动件用于驱动多个滚轴转动，以驱动基板沿喷淋腔室210的长度方向运动。基板沿着滚轴前进时，能够经过多个喷淋头220的喷淋，使对基板的喷淋更加均匀，从而提高了对基板的清理效果。具体地，第三驱动件为步进电机。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对其实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种基板喷淋装置，被配置为向基板喷淋药液，其特征在于，包括：

供液组件(100)，包括液槽(110)和第一驱动件(120)，所述液槽(110)被配置为储存药液；

喷淋组件(200)，包括喷淋腔室(210)和多个设置在所述喷淋腔室(210)内的喷淋头(220)，所述喷淋腔室(210)设置在所述液槽(110)上方，所述喷淋腔室(210)底部沿其长度方向设置有多个排液口(211)，所述基板能容纳于所述喷淋腔室(210)，所述第一驱动件(120)被配置为将所述液槽(110)内的药液泵送至所述喷淋头(220)；

管道组件(300)，包括主管道(310)和多条第一管道(320)，所述主管道(310)沿所述喷淋腔室(210)的长度方向布置，多个所述排液口(211)均与所述主管道(310)接通，且沿所述主管道(310)的长度方向间隔设置，且上端与所述主管道(310)连通，下端与所述液槽(110)连通。

2.根据权利要求1所述的基板喷淋装置，其特征在于，所述管道组件(300)还包括第二管道(330)，所述第二管道(330)一端与所述主管道(310)沿所述喷淋腔室(210)的长度方向的最低处接通，另一端与所述液槽(110)接通。

3.根据权利要求2所述的基板喷淋装置，其特征在于，所述第二管道(330)包括：

第一竖直段(331)，沿竖向设置，且其上端与所述主管道(310)连通；

第二竖直段(333)，沿竖向设置，且其下端与所述液槽(110)连通；

水平段(332)，沿水平设置，且其一端与所述第一竖直段(331)的下端连通，另一端与所述第二竖直段(333)的上端连通。

4.根据权利要求2所述的基板喷淋装置，其特征在于，所述管道组件(300)还包括第三管道(340)，所述第三管道(340)沿水平方向布置，一端与所述第一管道(320)接通，另一端与所述第二管道(330)接通。

5.根据权利要求4所述的基板喷淋装置，其特征在于，还包括：

第一阀(400)，设置在所述第一管道(320)上，所述第三管道(340)与所述第一管道(320)的连通位置位于所述第一阀(400)的上游；

第二阀(500)，设置在所述第二管道(330)上。

6.根据权利要求1-5任一项所述的基板喷淋装置，其特征在于，所述供液组件(100)包括两个所述液槽(110)，两个所述液槽(110)分别通过连接管道(800)与所述第一驱动件(120)连通，每个所述连接管道(800)上设置一个第三阀(600)。

7.根据权利要求1-5任一项所述的基板喷淋装置，其特征在于，所述供液组件(100)还包括加热件(130)，所述加热件(130)设置于所述液槽(110)内，所述加热件(130)被配置为提高所述液槽(110)内药液的温度。

8.根据权利要求1-5任一项所述的基板喷淋装置，其特征在于，所述供液组件(100)还包括冷却件(140)，所述冷却件(140)设置于所述液槽(110)内，所述冷却件(140)被配置为降低所述液槽(110)内药液的温度。

9.根据权利要求1-5任一项所述的基板喷淋装置，其特征在于，所述供液组件(100)还包括液体暂存槽(150)、温度传感器和第二驱动件(160)，所述液体暂存槽(150)与所述液槽(110)连通，所述温度传感器被配置为检测所述液槽(110)内药液的温度，所述第二驱动件(160)被配置为驱动液槽(110)内液体流出至所述液体暂存槽(150)和/或驱动所述液体暂存槽(150)内液体流入至所述液槽(110)。

10.根据权利要求1-5任一项所述的基板喷淋装置，其特征在于，还包括输送组件(700)，所述输送组件(700)被配置为沿所述喷淋腔室(210)的长度方向输送所述基板；所述输送组件(700)包括多个平行设置的滚轴和第三驱动件，所述喷淋头(220)分别设置在所述多个所述滚轴的上下两侧，所述基板能设置于多个所述滚轴上，所述第三驱动件被配置为驱动多个所述滚轴转动，以驱动所述基板沿所述喷淋腔室(210)的长度方向运动。

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