CN216265789U - 一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具，包括扳手体、扳手头和动力件，所述扳手头设置在所述扳手体上，用于拆卸晶圆边缘加工装置载具；所述动力件设置在所述扳手体上，用于旋转所述扳手头。本实用新型的有益效果是有效的解决晶圆边缘加工装置载具在安装时需要螺丝顶紧，四个底柱均需要顶紧螺丝，拆卸时间长，不方便载具的更换，时间久了还会产生滑丝情况，导致载具安装不稳，发生加工事故，普通扳手还需要人工扭动，费时费力，缺少专用于一种装置相对应的专用扳手的问题。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片边缘抛光设备专用工具领域，尤其是涉及一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具。
背景技术
扳手是一种常用的安装和拆卸工具。利用杠杆原理拧转螺栓、螺钉、螺母和其他螺纹紧持螺栓或螺母的开口或套孔固件的手工工具。扳手通常在柄部的一端或两端制有夹柄部施加外力柄部施加外力，就能拧转螺栓或螺母的开口或套筒。扳手基本分为两种，死扳手和活扳手，前者指的是已经有固定的数字写上的扳手，后者就是活动扳手。扳手类型具体包括呆扳手、两用扳手、梅花扳手、钩形扳手、套筒扳手、内六角扳手和扭力扳手。
扳手大多为通用式扳手，可以应用在不同领域的同一螺栓或者螺母上，但是缺少专用于一种装置相对应的专用扳手，且普通扳手还需要人工扭动，费时费力；现有技术中，晶圆边缘加工装置载具在安装时需要螺丝顶紧，四个底柱均需要顶紧螺丝，拆卸时间长，不方便载具的更换，时间久了还会产生滑丝情况，导致载具安装不稳，发生加工事故。
实用新型内容
本实用新型要解决的问题是提供一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具，有效的解决晶圆边缘加工装置载具在安装时需要螺丝顶紧，四个底柱均需要顶紧螺丝，拆卸时间长，不方便载具的更换，时间久了还会产生滑丝情况，导致载具安装不稳，发生加工事故，普通扳手还需要人工扭动，费时费力，缺少专用于一种装置相对应的专用扳手的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具，包括：扳手体、扳手头和动力件，所述扳手头设置在所述扳手体上，用于拆卸晶圆边缘加工装置载具；所述动力件设置在所述扳手体上，用于旋转所述扳手头。
优选地，所述扳手头包括专用螺丝和旋转头，所述旋转头设置在所述专用螺丝的一侧，用于连接所述扳手体；所述专用螺丝用于拆卸所述晶圆边缘加工装置载具。
优选地，所述专用螺丝尺寸和规格与所述晶圆边缘加工装置载具相匹配。
优选地，所述动力件包括旋转电机，所述旋转电机设置在所述扳手体内部，用于旋转所述扳手头。
优选地，所述扳手体上还设有一按钮，所述按钮用于控制所述动力件。
优选地，所述按钮包括开关按钮，所述开关按钮设置在所述扳手体表面，控制所述动力件的开关。
优选地，所述按钮还包括正转按钮和反转按钮，所述正转按钮设置在所述扳手体表面，控制所述动力件顺时针旋转；所述反转按钮设置在所述扳手体表面，控制所述动力件逆时针旋转。
优选地，所述扳手体为扭力扳手体。
优选地，所述扳手体上还设有一便于拿放的通孔，设置在所述扳手体底部。
由于专用螺丝的设计，解决了缺少专用于一种装置相对应的专用扳手的问题，能够更加快捷的拆卸载具；由于扭力扳手体的设计，可以控制扭矩值，到达扭矩值时可以发出提醒，不会因扭矩过大损坏专用螺丝；由于旋转电机的设计，可以省时省力，减轻工人拆卸载具的负担；由于一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具的设计，有效的解决晶圆边缘加工装置载具在安装时需要螺丝顶紧，四个底柱均需要顶紧螺丝，拆卸时间长，不方便载具的更换，时间久了还会产生滑丝情况，导致载具安装不稳，发生加工事故，普通扳手还需要人工扭动，费时费力，缺少专用于一种装置相对应的专用扳手的问题。
附图说明
图1是本实用新型实施例一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具结构示意图
图2是本实用新型实施例一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具剖面示意图
图中：
1、专用螺丝 2、扭力扳手体 3、开关按钮
4、正转按钮 5、反转按钮 6、通孔
7、旋转头 8、旋转电机
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明：
在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
本实用新型一个实施例中，如图1一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具结构示意图和图2一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具剖面示意图所示，一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具，包括：扳手体、扳手头和动力件，扳手头连接在扳手体上，用于拆卸晶圆边缘加工装置载具；动力件放置在扳手体上，用于旋转扳手头。
具体的，扳手头包括专用螺丝1和旋转头7，旋转头7采用钢材料制成，形状为圆形，上表面焊接在专用螺丝1的底部，侧表面转动连接在扭力扳手体2的顶部。专用螺丝1焊接在旋转头7的顶部，采用钢材料制成，专用螺丝的尺寸为大圆柱直径28mm，高15mm，大圆柱上的四个小圆柱直径3mm，高10mm，四个小圆柱十字对角放置，用于拆卸所述晶圆边缘加工装置载具。
扳手体为扭力扳手体2，形状为矩形，采用钢材料制成，扭力扳手体2 可以设置需要的扭力值，到达最大扭矩值时可以发出提醒，不会因扭矩过大损坏专用螺丝1。扭力扳手体2上还设有一便于拿放的通孔6，通孔6的形状为圆形，设置在扭力扳手体2的底部，工作人员在拿放时可以更加便利，或者可以将整个扳手挂在墙上，便于寻找。
动力件包括旋转电机8，旋转电机8放置在扭力扳手体2内部，一端连接旋转体7，用于旋转旋转体7，旋转体7带动专用螺丝1转动。
扭力扳手体2上还设有一按钮，按钮包括开关按钮3，开关按钮3安装在扭矩扳手体2表面中间偏上位置，控制旋转电机8的开关，按下打开旋转电机8，在旋转电机8开机状态下按一下则是关闭旋转电机8。按钮还包括正转按钮4和反转按钮5，正转按钮4安装在扭力扳手体2中间位置，控制旋转电机8正向旋转，旋转电机在开机状态下按一下正转按钮3使得旋转电机8带动旋转头7顺时针旋转，旋转电机在关闭状态下按下正转按钮4不会有反应；反转按钮5安装在扭力扳手体2表面中间偏下位置，控制旋转电机 8反向旋转，旋转电机在开机状态下按一下反转按钮控制旋转电机8带动旋转头7逆时针旋转，旋转电机在关闭状态下按下反转按钮5不会有反应。
在使用时，工作人员拿起整个扳手，将专用螺丝1对准晶圆边缘加工装置载具上的通孔，将专用螺丝1底部的四个小圆柱插入至晶圆边缘加工装置载具上的四个小通孔上，将整个专用螺丝1插入至晶圆边缘加工装置载具通孔后，按下设置扭力扳手体2上的开关按钮3，旋转电机8开始启动，按下需要的旋转按钮，正转按钮4或者反转按钮5，将晶圆边缘加工装置载具拆卸下来，听到扭力扳手体2提醒声响起，整个晶圆边缘加工装置载具也被拆卸下来，在按下开关按钮3关闭旋转电机8，将专用螺丝1从晶圆边缘加工装置载具的通孔中取出，把扳手放回原位置，结束拆卸晶圆边缘加工装置载具工作。
本实用新型的另一实施例中，扳手头包括专用螺丝1和旋转头7，旋转头7采用钢材料制成，形状为六角形，焊接在专用螺丝的底部，上表面焊接在专用螺丝1的底部，下表面转动连接在扭力扳手体2的顶部。专用螺丝1 焊接在旋转头7的顶部，采用钢材料制成，专用螺丝的尺寸为大圆柱直径 32mm，高18mm，大圆柱上的四个小圆柱直径3mm，高15mm，四个小圆柱十字对角放置，用于拆卸所述晶圆边缘加工装置载具。
扳手体为扭力扳手体2，形状为椭圆形状，采用钢材料制成，扭力扳手体2可以设置需要的扭力值，到达最大扭矩值时可以发出提醒，不会因扭矩过大损坏专用螺丝1。扭力扳手体2上还设有一便于拿放的通孔6，通孔6 的形状为矩形，设置在扭力扳手体2的底部，工作人员在拿放时可以更加便利，或者可以将整个扳手挂在墙上，便于寻找。
以上对本实用新型的多个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (9)
1.一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具，其特征在于，包括：扳手体、扳手头和动力件，所述扳手头设置在所述扳手体上，用于拆卸晶圆边缘加工装置载具；所述动力件设置在所述扳手体上，用于旋转所述扳手头。
2.根据权利要求1所述的一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具，其特征在于：所述扳手头包括专用螺丝和旋转头，所述旋转头设置在所述专用螺丝的一侧，用于连接所述扳手体；所述专用螺丝用于拆卸所述晶圆边缘加工装置载具。
3.根据权利要求2所述的一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具，其特征在于：所述专用螺丝尺寸和规格与所述晶圆边缘加工装置载具相匹配。
4.根据权利要求1-3任一所述的一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具，其特征在于：所述动力件包括旋转电机，所述旋转电机设置在所述扳手体内部，用于旋转所述扳手头。
5.根据权利要求1所述的一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具，其特征在于：所述扳手体上还设有一按钮，所述按钮用于控制所述动力件。
6.根据权利要求5所述的一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具，其特征在于：所述按钮包括开关按钮，所述开关按钮设置在所述扳手体表面，控制所述动力件的开关。
7.根据权利要求6所述的一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具，其特征在于：所述按钮还包括正转按钮和反转按钮，所述正转按钮设置在所述扳手体表面，控制所述动力件顺时针旋转；所述反转按钮设置在所述扳手体表面，控制所述动力件逆时针旋转。
8.根据权利要求1所述的一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具，其特征在于：所述扳手体为扭力扳手体。
9.根据权利要求1或8所述的一种拆卸晶圆边缘加工装置载具的扳手工具，其特征在于：所述扳手体上还设有一便于拿放的通孔，设置在所述扳手体底部。
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