CN216262480U - 一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置，包括箱体、过滤器和收纳器，所述箱体的正面安装有显示屏，所述箱体的顶部安装有顶盖，所述顶盖的内壁安装有两组固定板，所述顶盖的内壁安装有过滤器，且过滤器位于固定板的一侧，所述排气管的顶端安装有通气管，所述箱体的内壁安装有收纳器。本实用新型通过安装有过滤器和通气管将挥发后气体中含有的颗粒物过滤，当半导体表面有机物被紫外线臭氧灯反应变化为气体后，气体上升进入到过滤器的内部，气体进入到过滤器的内部后分化进入到排气管的内部，过滤板将气体中携带的污染颗粒过滤，净化后的气体进入到通气管的内部，排气扇转动将净化后的气体排放至箱体的外部，达到净化气体的目的。

Description

一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置

技术领域

本实用新型涉及臭氧清洗装置技术领域，具体为一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置。

背景技术

随着半导体技术的迅速发展，半导体在生产制造的过程中，几乎每道工序都需要对半导体进行清洗，而半导体表面的集成电路越多，所需要的的清洗工序也就越多，紫外线臭氧清洗是清洗半导体表面有机物的一种方式，通过对半导体表面的有机化合物进行光敏氧化，从而将黏附在半导体表面的有机物质去除。

现有的用于半导体清洗的环保型臭氧装置存在的缺陷是：

1、专利文件CN213591286U公开了一种安全带加热紫外臭氧清洗装置，保护的权项“包括机壳；所述机壳的内部设有高度可调加热样品台，所述机壳的后侧通过铰链活动连接顶开式盖子的后侧，所述机壳的顶部后侧设有与顶开式盖子边沿对应的安全开关，所述顶开式盖子的内侧中部设有低压汞紫外臭氧栅灯，所述机壳的前侧安装有控制器。样品台可加热控温并可升降，通过调整样品台加热温度，调整样品台和紫外臭氧灯的远近，加速紫外臭氧清洗过程，从而达到快速清洗目的。改变传统紫外臭氧装置样品台不能加热，高度不可调的问题。采用顶开式盖子，盖子打开紫外臭氧清洗灯自动关闭，产生的紫外臭氧从而不会对人身造成伤害”。但是该装置在将半导体表面的有机物反应成气体后，并不能过滤气体中含有的颗粒物；

2、现有的用于半导体清洗的环保型臭氧装置在大多在携带时，需要将连接线拔除在收纳，很不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置，以解决上述背景技术中提出的不能过滤颗粒物和不便于携带的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置，包括箱体、过滤器和收纳器，所述箱体的正面安装有显示屏，所述箱体的顶部安装有顶盖，所述顶盖的内壁安装有两组固定板，所述顶盖的内壁安装有过滤器，且过滤器位于固定板的一侧；

所述过滤器的内壁贯穿安装有多组排气管，所述排气管的内壁安装有伸缩杆，所述伸缩杆的顶端安装有过滤板，所述排气管的内壁安装有限位板，且限位板位于伸缩杆的一侧，所述排气管的内壁安装有收纳槽，且收纳槽位于限位板的一侧，所述排气管的内壁安装有收纳箱，且收纳箱位于收纳槽的一侧；

所述排气管的顶端安装有通气管，所述箱体的内壁安装有收纳器。

优选的，所述收纳器的内壁安装有两组支撑板，支撑板的内壁贯穿安装有转轴，转轴的外壁安装有收卷轮，转轴的一端安装有转盘，转盘的外壁安装有限位轴，箱体的外壁安装有闭合板，闭合板的外壁设有多组限位孔。

优选的，所述箱体的内壁安装有控制元件，且控制元件位于收纳器的一侧，控制元件的外壁安装有臭氧发生器。

优选的，所述箱体的正面安装有多组按钮，且按钮位于显示屏的一侧。

优选的，所述顶盖的顶部安装有把手。

优选的，所述固定板的内壁贯穿安装有多组紫外线臭氧灯。

优选的，所述通气管的内壁安装有两组排气扇。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型通过安装有过滤器和通气管将挥发后气体中含有的颗粒物过滤，当半导体表面有机物被紫外线臭氧灯反应变化为气体后，气体上升进入到过滤器的内部，气体进入到过滤器的内部后分化进入到排气管的内部，过滤板将气体中携带的污染颗粒过滤，净化后的气体进入到通气管的内部，排气扇转动将净化后的气体排放至箱体的外部，达到净化气体的目的，当清理过滤板表面吸附的污垢时，伸缩杆的顶端收缩带动过滤板移动，过滤板在移动时，限位板清理过滤板表面的污垢，清理的污垢通过收纳槽滑动进入到收纳箱的内部，达到收集污染颗粒的目的；

2.本实用新型通过安装有收纳器和收卷轮快速的收纳连接线，携带箱体时，将顶盖与箱体连接后，移动闭合板的位置，使限位轴对转盘不再具有限位作用，转动转盘带动转轴转动，转轴转动带动收卷轮转动，收卷轮转动收卷连接线进入到收纳器的内部，将连接线收纳进入到收纳器的内部后，移动闭合板，使限位轴重新进入到限位孔的内部，达到对收卷轮限位的目的，收卷轮限位后达到收纳连接线的目的，连接线收纳后通过把手便可移动箱体的位置，达到便于携带的目的。

附图说明

图1为本实用新型的外观结构示意图；

图2为本实用新型的剖面结构示意图；

图3为本实用新型紫外线臭氧灯和过滤器部分结构示意图；

图4为本实用新型排气管部分结构示意图；

图5为本实用新型收纳器部分结构示意图。

图中：1、箱体；101、控制元件；102、臭氧发生器；2、显示屏；201、按钮；3、顶盖；301、把手；4、固定板；401、紫外线臭氧灯；5、过滤器；501、排气管；502、伸缩杆；503、过滤板；504、限位板；505、收纳槽；506、收纳箱；6、通气管；601、排气扇；7、收纳器；701、闭合板；702、限位孔；703、支撑板；704、转轴；705、收卷轮；706、转盘；707、限位轴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1：请参阅图1，一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置，包括箱体1、过滤器5和收纳器7，箱体1的正面安装有显示屏2，箱体1为显示屏2提供安装空间，箱体1的顶部安装有顶盖3，箱体1对顶盖3具有支撑作用，顶盖3的内壁安装有两组固定板4，顶盖3为固定板4提供安装空间，顶盖3的内壁安装有过滤器5，且过滤器5位于固定板4的一侧，顶盖3为过滤器5提供安装空间，排气管501的顶端安装有通气管6，排气管501对通气管6具有支撑作用，箱体1的内壁安装有收纳器7，箱体1为收纳器7提供安装空间，携带箱体1移动时收纳器7收纳连接线，箱体1的内壁安装有控制元件101，且控制元件101位于收纳器7的一侧，控制元件101的外壁安装有臭氧发生器102，箱体1为控制元件101提供安装空间，臭氧发生器102可以产生高浓度的臭氧，箱体1的正面安装有多组按钮201，且按钮201位于显示屏2的一侧，箱体1为按钮201提供安装空间，顶盖3的顶部安装有把手301，顶盖3对把手301具有支撑作用，固定板4的内壁贯穿安装有多组紫外线臭氧灯401，固定板4对紫外线臭氧灯401具有支撑作用，紫外线臭氧灯401工作将半导体表面的有机化合物光敏氧化变成可挥发的气体，从而将黏附在半导体表面上的有机物质去除，通气管6的内壁安装有两组排气扇601，通气管6对排气扇601具有支撑作用。

实施例2：请参阅图1、图2、图3和图4过滤器5的内壁贯穿安装有多组排气管501，排气管501的内壁安装有伸缩杆502，伸缩杆502的顶端安装有过滤板503，排气管501的内壁安装有限位板504，且限位板504位于伸缩杆502的一侧，排气管501的内壁安装有收纳槽505，且收纳槽505位于限位板504的一侧，排气管501的内壁安装有收纳箱506，且收纳箱506位于收纳槽505的一侧，当半导体表面有机物被紫外线臭氧灯401反应变化为气体后，气体上升进入到过滤器5的内部，气体进入到过滤器5的内部后分化进入到排气管501的内部，过滤板503将气体中携带的污染颗粒过滤，净化后的气体进入到通气管6的内部，排气扇601转动将净化后的气体排放至箱体1的外部，达到净化气体的目的，当清理过滤板503表面吸附的污垢时，伸缩杆502的顶端收缩带动过滤板503移动，过滤板503在移动时，限位板504清理过滤板503表面的污垢，清理的污垢通过收纳槽505滑动进入到收纳箱506的内部，达到收集污染颗粒的目的。

实施例3：请参阅图1和图5收纳器7的内壁安装有两组支撑板703，支撑板703的内壁贯穿安装有转轴704，转轴704的外壁安装有收卷轮705，转轴704的一端安装有转盘706，转盘706的外壁安装有限位轴707，箱体1的外壁安装有闭合板701，闭合板701的外壁设有多组限位孔702，携带箱体1时，将顶盖3与箱体1连接后，移动闭合板701的位置，使限位轴707对转盘706不再具有限位作用，转动转盘706带动转轴704转动，转轴704转动带动收卷轮705转动，收卷轮705转动收卷连接线进入到收纳器7的内部，将连接线收纳进入到收纳器7的内部后，移动闭合板701，使限位轴707重新进入到限位孔702的内部，达到对收卷轮705限位的目的，收卷轮705限位后达到收纳连接线的目的，连接线收纳后通过把手301便可移动箱体1的位置，达到便于携带的目的。

工作原理，首先当半导体表面有机物被紫外线臭氧灯401反应变化为气体后，气体上升进入到过滤器5的内部，气体进入到过滤器5的内部后分化进入到排气管501的内部，过滤板503将气体中携带的污染颗粒过滤，净化后的气体进入到通气管6的内部，排气扇601转动将净化后的气体排放至箱体1的外部，达到净化气体的目的，当清理过滤板503表面吸附的污垢时，伸缩杆502的顶端收缩带动过滤板503移动，过滤板503在移动时，限位板504清理过滤板503表面的污垢，清理的污垢通过收纳槽505滑动进入到收纳箱506的内部，达到收集污染颗粒的目的，携带箱体1时，将顶盖3与箱体1连接后，移动闭合板701的位置，使限位轴707对转盘706不再具有限位作用，转动转盘706带动转轴704转动，转轴704转动带动收卷轮705转动，收卷轮705转动收卷连接线进入到收纳器7的内部，将连接线收纳进入到收纳器7的内部后，移动闭合板701，使限位轴707重新进入到限位孔702的内部，达到对收卷轮705限位的目的，收卷轮705限位后达到收纳连接线的目的，连接线收纳后通过把手301便可移动箱体1的位置，达到便于携带的目的。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置，包括箱体(1)、过滤器(5)和收纳器(7)，其特征在于：所述箱体(1)的正面安装有显示屏(2)，所述箱体(1)的顶部安装有顶盖(3)，所述顶盖(3)的内壁安装有两组固定板(4)，所述顶盖(3)的内壁安装有过滤器(5)，且过滤器(5)位于固定板(4)的一侧；

所述过滤器(5)的内壁贯穿安装有多组排气管(501)，所述排气管(501)的内壁安装有伸缩杆(502)，所述伸缩杆(502)的顶端安装有过滤板(503)，所述排气管(501)的内壁安装有限位板(504)，且限位板(504)位于伸缩杆(502)的一侧，所述排气管(501)的内壁安装有收纳槽(505)，且收纳槽(505)位于限位板(504)的一侧，所述排气管(501)的内壁安装有收纳箱(506)，且收纳箱(506)位于收纳槽(505)的一侧；

所述排气管(501)的顶端安装有通气管(6)，所述箱体(1)的内壁安装有收纳器(7)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置，其特征在于：所述收纳器(7)的内壁安装有两组支撑板(703)，支撑板(703)的内壁贯穿安装有转轴(704)，转轴(704)的外壁安装有收卷轮(705)，转轴(704)的一端安装有转盘(706)，转盘(706)的外壁安装有限位轴(707)，箱体(1)的外壁安装有闭合板(701)，闭合板(701)的外壁设有多组限位孔(702)。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置，其特征在于：所述箱体(1)的内壁安装有控制元件(101)，且控制元件(101)位于收纳器(7)的一侧，控制元件(101)的外壁安装有臭氧发生器(102)。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置，其特征在于：所述箱体(1)的正面安装有多组按钮(201)，且按钮(201)位于显示屏(2)的一侧。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置，其特征在于：所述顶盖(3)的顶部安装有把手(301)。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置，其特征在于：所述固定板(4)的内壁贯穿安装有多组紫外线臭氧灯(401)。

7.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗的环保型臭氧装置，其特征在于：所述通气管(6)的内壁安装有两组排气扇(601)。

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