CN216213284U - 机械手装置和清洗设备 - Google Patents

Abstract

本申请提出了一种机械手装置和清洗设备，属于半导体清洗设备技术领域。机械手装置包括：机械手；拖链，设于机械手的一侧；以及线槽组件，设于拖链的底部，线槽组件包括：槽体；以及多个线槽盖板，线槽盖板与槽体可装卸地连接，沿槽体长度方向，多个线槽盖板依次设置，与槽体合围出线缆通道。通过本申请的技术方案，保护了机械手走线不被损坏，并可任意拆卸线槽盖板维护机械手及线路，提高了维修的便利性。

Description

机械手装置和清洗设备

技术领域

本申请属于半导体清洗设备技术领域，具体涉及一种机械手装置和清洗设备。

背景技术

在现有半导体晶圆槽式湿法清洗设备中，机械手线槽一般在机械手底部，利用机械手与底板间的缝隙走线，难以维护且维护风险较高。机械手一般都是依靠设在设备上的导轨，通过电机驱动齿轮与导轨啮合从而在设备中移动。在机械手移动的过程中不可避免的电机的供电电线需要跟随机械手在设备内移动，但是一个设备中往往不止一个机械手，为了走线方便它们共用一条主线路，各种线束容易纠缠打结，供电线容易被损坏。

实用新型内容

根据本申请的实施例旨在至少改善现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

有鉴于此，根据本申请的实施例的一个目的在于提供一种机械手装置。

根据本申请的实施例的另一个目的在于提供一种清洗设备。

为了实现上述目的，根据本申请第一方面的技术方案提供了一种机械手装置，包括：机械手；拖链，设于机械手的一侧；以及线槽组件，设于拖链的底部，线槽组件包括：槽体；以及多个线槽盖板，线槽盖板与槽体可装卸地连接，沿槽体长度方向，多个线槽盖板依次设置，与槽体合围出线缆通道。

根据本申请提供的机械手装置，包括机械手、拖链和线槽组件。拖链设于机械手的一侧，用于束缚连接到机械手上的电缆或电线，方便其随机械手运动。线槽组件设于拖链的底部，线槽组件包括槽体以及多个线槽盖板，沿槽体长度方向，多个线槽盖板依次设置在槽体上，与槽体合围出线缆通道，线缆通道用于放置电缆或电线，保护电缆或电线不被损坏。线槽盖板与槽体可装卸地连接，在需要维护时，可任意拆卸线槽盖板维护机械手及线路，提高了维修的便利性。由于线槽组件设于拖链的底部，空出了机械手下方的设备空间，从而降低了整体设备高度。

另外，本申请提供的技术方案还可以具有如下附加技术特征：

上述技术方案中，槽体包括底板、第一侧板和第二侧板，第一侧板和第二侧板间隔设于底板上，线槽盖板分别与第一侧板和第二侧板可装卸地连接。

在该技术方案中，槽体包括底板、第一侧板和第二侧板，第一侧板和第二侧板间隔设于底板上，与线槽盖板合围出线缆通道，线槽盖板分别与第一侧板和第二侧板可装卸地连接，线缆从槽体的一端伸入线缆通道，根据设备的实际情况，将线槽盖板卸下，将线缆接头从其中伸出与机械手相连。

上述技术方案中，槽体还包括：多个第一通孔，第一通孔设置在第一侧板上；第一侧板位于第二侧板靠近机械手的一侧。

在该技术方案中，第一侧板设有多个第一通孔，多个第一通孔间隔设置，第一侧板位于第二侧板靠近机械手的一侧，如果线缆需要从侧边穿出，通过第一通孔能够方便从线缆通道中的线缆上穿出一些设备的接线，从而防止各种线束纠缠打结。

上述技术方案中，第一侧板设有开口。

在该技术方案中，第一侧板上设有开口，如果线缆需要从侧边穿出，第一通孔又不够大时，开口可以使线缆从线缆通道中穿出进行接线。

上述技术方案中，机械手装置还包括：维护盖板，与槽体可装卸地连接，设于开口上，维护盖板与线槽盖板、槽体合围出线缆通道。

在该技术方案中，机械手装置还包括维护盖板，维护盖板设于开口上，与槽体可装卸地连接，维护盖板与线槽盖板、槽体合围出线缆通道，能够保护线缆不被损坏。在线缆需要从槽体侧边穿出，第一通孔又不够大时，可以卸下维护盖板进行接线，从而防止各种线束纠缠打结。在需要维护时，可以卸下维护盖板维护机械手及线路。

上述技术方案中，维护盖板包括第一盖板和第三侧板，第三侧板设于开口处，第一盖板按预设角度设置在第三侧板上。

在该技术方案中，维护盖板包括第一盖板和第三侧板，第三侧板设于开口处，与槽体的第一侧板可装卸地连接，从而方便线缆从槽体侧边穿出和维护机械手及线路。第一盖板按预设角度设置在第三侧板上，便于维护盖板与槽体安装和放置拖链，防止拖链滑出。

上述技术方案中，第三侧板上设有至少一个第二通孔，第二通孔与第一通孔均匀分布。

在该技术方案中，第三侧板上设有一个或多个第二通孔，第二通孔与第一通孔均匀分布。第二通孔能够方便从线缆通道中的线缆上穿出一些设备的接线，从而防止各种线束纠缠打结。

上述技术方案中，第三侧板的两端设有挡片，挡片与第一侧板可装卸地连接。

在该技术方案中，第三侧板的两端设有挡片，挡片与第一侧板可装卸地连接，可以把维护盖板装到槽体上，防止维护盖板前后晃动。

上述技术方案中，线槽盖板包括本体和弯折部，弯折部设于本体的两端，并位于本体靠近底板的一侧，弯折部用于连接槽体。

在该技术方案中，线槽盖板包括本体和弯折部，弯折部设于本体的两端，通过弯折部连接槽体，从而使线槽盖板安装到槽体上。由于线槽盖板用于放置拖链，弯折部位于本体靠近底板的一侧，能够防止拖链被紧固件剐蹭。

根据本申请第二方面的技术方案提供了一种清洗设备，包括：壳体；如本申请上述任一技术方案的机械手装置，设于壳体上。

根据本申请提供的清洗设备，包括壳体和如本申请上述任一技术方案的机械手装置，因而其具有如本申请上述任一技术方案的机械手装置的全部有益效果，在此不再赘述。

根据本申请的实施例的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过根据本申请的实施例的实践了解到。

附图说明

图1是根据本申请提供的一个实施例的机械手装置的立体结构示意图；

图2是根据本申请提供的一个实施例的线槽组件的立体结构示意图；

图3是根据本申请提供的一个实施例的维护盖板的立体结构示意图；

图4是根据本申请提供的一个实施例的线槽盖板的立体结构示意图。

其中，图1至图4中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10：机械手装置；100：机械手；200：拖链；300：线槽组件；320：线槽盖板；330：底板；340：第一侧板；350：第二侧板；360：第一通孔；370：维护盖板；380：第一盖板；390：第三侧板；400：第二通孔；410：挡片；420：弯折部。

具体实施方式

为了可以更清楚地理解根据本申请的实施例的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对根据本申请的实施例进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，根据本申请的实施例的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解根据本申请的实施例，但是，根据本申请的实施例还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，根据本申请的实施例提供的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图4描述根据本申请提供的一些实施例。

如图1和图2所示，根据本申请的实施例提出的一个机械手装置10，包括机械手100、拖链200和线槽组件300。具体地，拖链200设于机械手100的一侧。线槽组件300设于拖链200的底部，线槽组件300包括槽体以及多个线槽盖板320，线槽盖板320与槽体可装卸地连接，沿槽体长度方向，多个线槽盖板320依次设置，与槽体合围出线缆通道。

根据本实施例提供的机械手装置10，包括机械手100、拖链200和线槽组件300。拖链200设于机械手100的一侧，用于束缚连接到机械手100上的电缆或电线，方便其随机械手100运动。线槽组件300设于拖链200的底部，线槽组件300包括槽体以及多个线槽盖板320，沿槽体长度方向，多个线槽盖板320依次设置在槽体上，与槽体合围出线缆通道，线缆通道用于放置电缆或电线，保护电缆或电线不被损坏。线槽盖板320与槽体可装卸地连接，在需要维护时，可任意拆卸线槽盖板320维护机械手100及线路，提高了维修的便利性。由于线槽组件300设于拖链200的底部，空出了机械手100下方的设备空间，从而降低了整体设备高度。

如图2所示，进一步地，槽体包括底板330、第一侧板340和第二侧板350，第一侧板340和第二侧板350间隔设于底板330上，与线槽盖板320合围出线缆通道，线槽盖板320分别与第一侧板340和第二侧板350可装卸地连接，线缆从槽体的一端伸入线缆通道，根据设备的实际情况，将线槽盖板320卸下，将线缆接头从其中伸出与机械手100相连。第一侧板340设有多个第一通孔360，多个第一通孔360间隔设置，第一侧板340位于第二侧板350靠近机械手100的一侧，如果线缆需要从侧边穿出，通过第一通孔360能够方便从线缆通道中的线缆上穿出一些设备的接线，从而防止各种线束纠缠打结。

其中，第一侧板340上设有开口，如果线缆需要从侧边穿出，第一通孔360又不够大时，开口可以使线缆从线缆通道中穿出进行接线。

在上述实施例中，机械手装置10还包括维护盖板370，维护盖板370设于开口上，与槽体可装卸地连接，维护盖板370与线槽盖板320、槽体合围出线缆通道，能够保护线缆不被损坏。在线缆需要从槽体侧边穿出，第一通孔360又不够大时，可以卸下维护盖板370进行接线，从而防止各种线束纠缠打结。在需要维护时，可以卸下维护盖板370维护机械手100及线路。

如图3所示，进一步地，维护盖板370包括第一盖板380和第三侧板390，第三侧板390设于开口处，与槽体的第一侧板340可装卸地连接，从而方便线缆从槽体侧边穿出和维护机械手100及线路。第一盖板380按预设角度设置在第三侧板390上，便于维护盖板370与槽体安装和放置拖链200，防止拖链200滑出。第三侧板390上设有一个或多个第二通孔400，多个第二通孔400与第一通孔360均匀分布，第二通孔400能够方便从线缆通道中的线缆上穿出一些设备的接线，从而防止各种线束纠缠打结。第三侧板390的两端设有挡片410，挡片410与第一侧板340可装卸地连接，可以把维护盖板370装到槽体上，防止维护盖板370前后晃动。

在上述实施例中，维护盖板370的数量为多个。由于一个清洗设备中往往不止一个机械手100，在槽体上设置多个维护盖板370，能够方便各个机械手100走线，防止各种线束纠缠打结。

如图4所示，在一些实施例中，线槽盖板320包括本体和弯折部420，弯折部420设于本体的两端，通过弯折部420连接槽体，从而使线槽盖板320安装到槽体上。机械手装置10还包括紧固件，紧固件用于固定线槽盖板320与槽体。其中，紧固件可以是紧固螺钉。由于线槽盖板320用于放置拖链200，弯折部420位于本体靠近底板330的一侧，能够防止拖链200被紧固螺钉剐蹭。

根据本申请的实施例提出的一种清洗设备，包括壳体和如上述任一实施例的机械手装置10，机械手装置10设于壳体内。

根据本申请的实施例提供的清洗设备，包括壳体和如上述任一实施例的机械手装置10，因而其具有如上述任一实施例的机械手装置10的全部有益效果，在此不再赘述。机械手装置10设于壳体内，可以避免各种线束纠缠打结。

如图1至图4所示，根据本申请提出的一个具体实施例的清洗设备，例如槽式湿法清洗设备，包括壳体和机械手装置10，机械手装置10包括机械手100、拖链200和线槽组件300。与机械手100链接的拖链200放于线槽组件300上，线槽组件300置于机械手100前方，空出机械手100下方的设备空间。线槽组件300包括槽体，维护盖板370，以及线槽盖板320，槽体的第一侧板340设有多个第一通孔360，还设有维护盖板370和线槽盖板320的固定及承重孔。维护盖板370开有多个第二通孔400，多个第二通孔400与第一通孔360均匀分布，第一盖板380和第三侧板390焊接后突出的挡边挡住拖链200防止滑出，维护盖板370的挡边与槽体的挡边平行，维护盖板370还包括折弯的固定孔以及防止前后晃动的挡片410。线槽盖板320与维护盖板370的固定孔都在拖链200的平面以下，防止紧固螺钉等剐蹭拖链200。需要维护时，可任意拆卸维护盖板370，以及线槽盖板320维护机械手100及线路。

在清洗设备中，机械手100一般都是依靠设在清洗设备上的导轨，通过电机驱动齿轮与导轨啮合从而在清洗设备中移动。在机械手100移动的过程中不可避免的电机的供电电线需要跟随机械手100在清洗设备内移动，但是一个清洗设备中往往不止一个机械手100，为了走线方便它们共用一条主线路，为了防止各种线束纠缠打结，也为了保护供电线不被损坏设计了这种结构。

为了配合线缆与电机连接，将对应设备的线缆从一端伸入线槽组件300，根据设备的实际情况，将顶部的线槽盖板320卸下，将接头从其中伸出与机械手100的接线盒相连，线槽组件300旁边开的第一通孔360方便从主线上穿出一些小的传感器的接线，维护盖板370为预留口，如果线缆需要从侧边穿出，第一通孔360又不够大时卸下维护盖板370进行接线。

综上，本具体实施例具有以下有益效果：

1、解决现有机械手100走线维护不方便的问题，以及能空出机械手100下部走线空间，降低整体设备高度的优势。

2、结构简单，安全可靠。

在根据本申请的实施例中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在根据本申请的实施例中的具体含义。

根据本申请的实施例的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述根据本申请的实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对根据本申请的实施例的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于根据本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为根据本申请的优选实施例而已，并不用于限制根据本申请的实施例，对于本领域的技术人员来说，根据本申请的实施例可以有各种更改和变化。凡在根据本申请的实施例的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在根据本申请的实施例的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种机械手装置，其特征在于，包括：

机械手(100)；

拖链(200)，设于所述机械手(100)的一侧；以及

线槽组件(300)，设于所述拖链(200)的底部，所述线槽组件(300)包括：

槽体；以及

多个线槽盖板(320)，所述线槽盖板(320)与所述槽体可装卸地连接，沿所述槽体长度方向，多个所述线槽盖板(320)依次设置，与所述槽体合围出线缆通道。

2.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，

所述槽体包括底板(330)、第一侧板(340)和第二侧板(350)，所述第一侧板(340)和所述第二侧板(350)间隔设于所述底板(330)上，所述线槽盖板(320)分别与所述第一侧板(340)和所述第二侧板(350)可装卸地连接。

3.根据权利要求2所述的机械手装置，其特征在于，所述槽体还包括：

多个第一通孔(360)，所述第一通孔(360)设置在所述第一侧板(340)上；

所述第一侧板(340)位于所述第二侧板(350)靠近所述机械手(100)的一侧。

4.根据权利要求3所述的机械手装置，其特征在于，

所述第一侧板(340)设有一开口。

5.根据权利要求4所述的一种机械手装置，其特征在于，所述机械手装置还包括：

维护盖板(370)，与所述槽体可装卸地连接，设于所述开口上，所述维护盖板(370)与所述线槽盖板(320)、所述槽体合围出所述线缆通道。

6.根据权利要求5所述的机械手装置，其特征在于，

所述维护盖板(370)包括第一盖板(380)和第三侧板(390)，所述第三侧板(390)设于所述开口处，所述第一盖板(380)按预设角度设置在所述第三侧板(390)上。

7.根据权利要求6所述的机械手装置，其特征在于，

所述第三侧板(390)上设有至少一个第二通孔(400)，所述第二通孔(400)与所述第一通孔(360)均匀分布。

8.根据权利要求6所述的机械手装置，其特征在于，

所述第三侧板(390)的两端设有挡片(410)，所述挡片(410)与所述第一侧板(340)可装卸地连接。

9.根据权利要求2至8中任一项所述的一种机械手装置，其特征在于，

所述线槽盖板(320)包括本体和弯折部(420)，所述弯折部(420)设于所述本体的两端，并位于所述本体靠近所述底板(330)的一侧，所述弯折部(420)用于连接所述槽体。

10.一种清洗设备，其特征在于，包括：

壳体；

如权利要求1至9中任一项所述的一种机械手装置，设于所述壳体内。

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