CN216211101U - 除泡容器及在线计数装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种除泡容器及在线计数装置，所述除泡容器内具有容置腔，所述除泡容器上开设有与所述容置腔连通的进样口和出样口，所述除泡容器于所述容置腔内设有遮挡件，所述遮挡件位于所述进样口和所述出样口之间；其中，所述进样口用于将液体样品引入所述容置腔，所述出样口用于将所述容置腔中的液体样品引出所述容置腔；在所述除泡容器的高度方向上，所述遮挡件的顶部不低于所述出样口；所述在线计数装置包括除泡容器及粒子计数器，所述粒子计数器用于对引入所述在线计数装置的液体样品中的颗粒进行计数，本申请通过除泡容器减小了气泡通过出样口进入至粒子计数器中的可能性，提高了检测结果的准确度。

Description

除泡容器及在线计数装置

技术领域

本申请涉及取样设备技术领域，尤其涉及一种在线计数装置。

背景技术

颗粒指在一尺寸范围内具有特定形状的几何体，这里所说的一尺寸一般在毫米到纳米之间，颗粒不仅指固体颗粒如灰尘、金属离子碎屑等，还有雾滴、油珠等液体颗粒。

液体颗粒(Liquid particle)是指除气体外，分散在液体化学试剂中并和化学试剂形成一个均匀液相的物质，那么颗粒混入液体中将形成液体颗粒。

在晶片生产过程中，化学试剂中必定含有颗粒，若化学试剂中的颗粒残留在晶片产品上会使晶片产品产生缺陷，进而导致晶片产品的良品率降低，因此监测化学试剂中的颗粒数量是否处在合理范围内对半导体工艺至关重要。

目前化学实验室是采用样品瓶进行采样，然后将样品瓶运输至化学实验室，并使用颗粒计数仪(LPC)离线检测液体样品中的颗粒数量，导致检测不准确。

实用新型内容

本申请实施例提供一种除泡容器及在线计数装置，能够提高检测结果的准确度。

第一方面，本申请实施例提供了一种除泡容器，所述除泡容器内具有容置腔，所述除泡容器上开设有与所述容置腔连通的进样口和出样口，所述除泡容器于所述容置腔内设有遮挡件，所述遮挡件位于所述进样口和所述出样口之间；

其中，所述进样口用于将液体样品引入所述容置腔，所述出样口用于将所述容置腔中的液体样品引出所述容置腔；在所述除泡容器的高度方向上，所述遮挡件的顶部不低于所述出样口。

基于本申请实施例的除泡容器，除泡容器通过进样口连通外部设备，通过出样口连通计数设备，进样口用于将液体样品引入至容置腔内，出样口用于将容置腔内的液体样品引入至计数设备内，由于通过进样口进入除泡容器的液体样品可能因含有空气而产生气泡，若气泡通过出样口进入至计数设备内，计数设备将气泡作为颗粒进行计数，导致检测结果偏大，因此，容置腔内于进样口和进样口之间设置遮挡件，使通过进样口进入缓冲密封瓶的液体样品必须经过遮挡件上方才能流动至出样口，进一步，在除泡容器的高度方向上，使遮挡件顶部不低于出样口，则气泡在经过遮挡件上方后，在除泡容器的高度方向上，气泡的位置一定不低于出样口，同时，气泡必然受到自身浮力在容置腔内上浮，即气泡经过遮挡件上方后，自身位置不低于出样口并且因自身浮力将在容置腔内继续上浮，气泡则势必不能被出样口引出容置腔，避免了气泡通过出样口进入计数设备致使检测结果偏大，提高了检测精度。

在本申请的一些实施例中，在所述除泡容器的高度方向上，所述遮挡件的顶部与所述出样口平齐；和/或，在所述除泡容器的高度方向上，所述进样口高于所述出样口。

基于上述实施例，由于液体样品通过进样口进入至除泡容器的容置腔内，若液体样品要通过出样口进入至计数设备内，则液体样品可经过遮挡件的顶部才能进入出样口，若遮挡件顶部高于出样口，新鲜液体经过遮挡件顶部后将处于出样口的上方，因此，为保证粒子计数器可及时采集到新鲜的液体样品，使遮挡件的顶部与出样口平齐，新鲜液体经过遮挡件顶部后与出样口平齐，便于粒子计数器采集新鲜的液体样品；在保证遮挡件可阻挡气泡进入至出样口时，又使新鲜液体样品可及时进入至出样口内，进样口高于出样口，使得进样口与出样口之间的压差值为正值，防止在进样口不引入液体样品时容置腔内的液体样品倒流。

在本申请的一些实施例中，所述容置腔的底面为向外凸设的弧形面。

基于上述实施例，容置腔底面设为弧形面且向外凸设，使容置腔的流线型更好，便于液体样品在容置腔内进行流动，防止液体样品在容置腔内产生死体积。

在本申请的一些实施例中，所述除泡容器还包括进样管，所述进样管包括第一端与第二端，所述第一端用于与外部设备连通，所述第二端经所述除泡容器的所述进样口延伸至所述容置腔内，所述遮挡件处于所述第二端和所述出样口之间。

基于上述实施例，进样管的第一端用于连通外部设备并引入液体样品，液体样品通过进样管的第二端进入至除泡容器的容置腔内，实现除泡容器于外部设备之间的连通，进而实现液体样品的采集，由于液体样品通过进样管的第二端排入至容置腔内，因此，将遮挡件设置于第二端和出样口之间，以保证液体样品中的气泡不易通过出样口进入至计数设备内。

在本申请的一些实施例中，所述第二端经所述除泡容器的所述进样口延伸至所述容置腔的底部。

基于上述实施例，进样管的第二端延伸至容置腔底部，一是避免了液体样品从第二端排入至容置腔内时发生溅射，二是借助液体样品排入容置腔内的动力，增加了容置腔底面和侧面交接处液体样品的流动性，进一步避免液体样品在容置腔底部产生死体积，保证进样口可采集到新鲜的液体样品，进而确保检测精度。

在本申请的一些实施例中，在所述除泡容器的高度方向上，所述进样管的所述第二端低于所述出样口。

基于上述实施例，出样口高于进样管的第二端，使得容置腔内的液体样品的液面在高于出样口时才能通过出样口进入至计数设备，保证了容置腔内一定存在可供采集的液体样品，提高了该除泡容器的可靠性。

在本申请的一些实施例中，在所述除泡容器的高度方向上，所述遮挡件的底部与所述除泡容器的底部密封连接，或所述遮挡件的底部低于所述进样管的所述第二端的端口。

基于上述实施例，遮挡件的底部与除泡容器的底部密封连接，使得液体样品进入至容置腔后，必须通过遮挡件的顶部才能进入至出样口，即保证了液体样品内的气泡在经过遮挡件的顶部后，在除泡容器的高度方向上，气泡所处的位置一定高于出样口，提高了除泡容器去除气泡的可靠度。当遮挡件的底部低于进样管的第二端时，由于液体样品内气泡受自身浮力向容置腔顶部移动，因此，液体样品中的气泡依然需要经过遮挡件的顶部，也提高了除泡容器去除气泡的可靠度。

第二方面，本申请实施例提供了一种在线计数装置，包括：

如上述所述的除泡容器；及

粒子计数器，所述粒子计数器经由所述出样口与所述除泡容器连通，当液体样品进入所述粒子计数器时，所述粒子计数器用于对引入所述在线计数装置的液体样品中的颗粒进行计数。

基于本申请实施例的在线计数装置，进样口在线将液体样品引入除泡容器的容置腔内，然后，粒子计数器通过出样口采集容置腔内的液体样品并进行实时检测，上述过程持续进行，即可对容置腔内的液体样品实时检测。该在线计数装置对液体样品的检测过程中无需使用样品瓶以及检测台，则无需再使用大量化学试剂和超纯水对样品瓶进行清洗，也避免了环境中的颗粒落入液体样品中；同时，也无需对样品瓶进行运输，避免了液体样品因搬运而形成微小悬浮气泡，避免了外界环境对液体样品造成污染，则该在线计数装置检测到的颗粒数量为液体样品中液体颗粒的数量，提高了检测精度。

在本申请的一些实施例中，所述除泡容器具有溢流口，所述溢流口用于排出所述除泡容器内过剩液体样品；

其中，在所述除泡容器的高度方向上，所述溢流口不低于所述进样口或进样管的所述第二端。

基于上述实施例，随着新鲜的液体样品不断进入至除泡容器内，除泡容器内液体样品的液面平齐溢流口后陈旧的液体样品通过溢流口排出至储液容器内，保证了粒子计数器可实时采集到新鲜的液体样品；溢流口高于出样口保证除泡容器内一定存在液体样品；除泡容器高于储液容器，保证通过溢流口排出除泡容器的液体样品可通过自重排入到储液容器内。

在本申请的一些实施例中，所述溢流口以及所述进样口均开设于所述除泡容器的顶部，所述出样口开设于所述除泡容器的顶部与底部之间的侧壁上。

基于上述实施例，溢流口设于除泡容器顶部可使液体样品充满整个除泡容器，除泡容器内不会因存在空腔而存在空气，防止空气混入液体样品内；且进样管第二端处产生的气泡受到自身浮力在除泡容器内向上漂浮，便于气泡从溢流口内排出除泡容器。

在本申请的一些实施例中，所述在线计数装置还包括储液容器，所述储液容器经由所述溢流口与所述除泡容器连通，且与所述粒子计数器连通；

其中，在所述除泡容器的高度方向上，所述除泡容器高于所述储液容器。

基于上述实施例，基于上述实施例，随着新鲜的液体样品不断进入至除泡容器内，除泡容器内液体样品的液面平齐溢流口后陈旧的液体样品通过溢流口排出至储液容器内，保证了粒子计数器可实时采集到新鲜的液体样品；另一方面，粒子计数器检测过的液体样品也排放至储液容器内；溢流口高于出样口保证除泡容器内一定存在液体样品；除泡容器高于储液容器，保证通过溢流口排出除泡容器的液体样品可通过自重排入到储液容器内。

在本申请的一些实施例中，所述在线计数装置还包括溢流管，所述溢流管一端连通所述除泡容器，另一端连通所述储液容器。

基于上述实施例，

在本申请的一些实施例中，所述溢流管包括：

液封段；

第一溢流段，所述第一溢流段一端经由所述溢流口连通所述除泡容器，另一端连通所述液封段；

第二溢流段，所述第二溢流段两端分别连通所述液封段与所述储液容器；

其中，在所述除泡容器的高度方向上，所述第一溢流段与所述液封段的连通位置高于所述液封段的最低储液位置，所述第二溢流段与所述液封段的连通位置也高于所述液封段的最低储液位置。

基于上述实施例，溢流管用于溢流液体样品的排放，第一溢流段与液封段的连通位置高于液封段的最低储液位置，第二溢流段与液封段的连通位置也高于液封段的最低储液位置，根据伯努利原理，在溢流口无液体排出时，液体样品在溢流段处形成液封对除泡容器进行密封，在溢流口有液体排出时，进入第一溢流段的液体样品破坏液封段两端的压力平衡，使液体样品排入至储液容器内，液封段形成的液封对除泡容器形成密封，避免空气通过溢流管接触到除泡容器内的液体样品。

在本申请的一些实施例中，在所述除泡容器的高度方向上，所述除泡容器与所述粒子计数器平齐。

基于上述实施例，便于管线布置以及粒子计数器将容置腔内的液体样品引入至粒子计数器。

在本申请的一些实施例中，所述在线计数装置还包括控制装置，所述控制装置与所述粒子计数器电性连接。

基于上述实施例，控制装置用于控制粒子计数器引入容置腔内的液体样品以及对数据的采集，同时用于对采集的数据进行处理和输出。

在本申请的一些实施例中，所述在线计数装置还包括电源，所述电源分别与所述控制装置以及所述粒子计数器电性连接。

在本申请的一些实施例中，所述在线计数装置还包括壳体，所述壳体具有第一置物腔以及第二置物腔；其中，所述除泡容器、粒子计数器以及所述控制装置设置于所述第一置物腔内，所述电源以及储液容器设置于所述第二置物腔内。

基于上述实施例，基于上述实施例，将除泡容器和粒子计数器设于第一置物腔内，便于观察检测过程，将控制装置设于第一置物腔内，便于检测人员进行操控。

在本申请的一些实施例中，所述第一置物腔和所述第二置物腔在所述壳体内自上而下依此设置。

基于本申请实施例的除泡容器，除泡容器通过进样口连通外部设备，通过出样口连通计数设备，进样口用于将液体样品引入至容置腔内，出样口用于将容置腔内的液体样品引入至计数设备内，由于通过进样口进入除泡容器的液体样品可能因含有空气而产生气泡，若气泡通过出样口进入至计数设备内，计数设备将气泡作为颗粒进行计数，导致检测结果偏大，因此，容置腔内于进样口和进样口之间设置遮挡件，使通过进样口进入缓冲密封瓶的液体样品必须经过遮挡件上方才能流动至出样口，进一步，在除泡容器的高度方向上，使遮挡件顶部不低于出样口，则气泡在经过遮挡件上方后，在除泡容器的高度方向上，气泡的位置一定不低于出样口，同时，气泡必然受到自身浮力在容置腔内上浮，即气泡经过遮挡件上方后，自身位置不低于出样口并且因自身浮力将在容置腔内继续上浮，气泡则势必不能被出样口引出容置腔，避免了气泡通过出样口进入计数设备致使检测结果偏大，提高了检测精度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请中除泡容器的半剖示意图，意在展示遮挡件及遮挡件与出样口位置关系。

图2为本申请一实施例中的在线计数装置的整体结构示意图；

附图标记：10、除泡容器；11、容置腔；12、进样管；121、第一端；122、第二端；13、遮挡件；131、矩形板；132、弧形板；14、进样口；15、出样口；16、溢流口；20、粒子计数器；30、储液容器；40、溢流管；41、第一溢流段；42、液封段；43、第二溢流段；50、控制装置；60、电源；70、壳体；71、第一置物腔；72、第二置物腔；73、万向轮。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

在晶片生产过程中，化学试剂中通常含有颗粒，若化学试剂中的颗粒残留在晶片产品上会使晶片产品产生缺陷，进而导致晶片产品的良品率降低，其中以液体颗粒对晶片产品造成的影响最大，因此监测化学试剂中的颗粒数量是否处在合理范围内对半导体工艺至关重要。需要解释的是，颗粒指在一尺寸范围内具有特定形状的几何体，这里所说的一尺寸一般在毫米到纳米之间，颗粒不仅指固体颗粒如灰尘、金属离子碎屑等，还有雾滴、油珠等液体颗粒。液体颗粒(Liquid particle)是指除气体外，分散在液体化学试剂中并和化学试剂形成一个均匀液相的物质，那么颗粒混入液体中将形成液体颗粒。

目前化学实验室是采用样品瓶进行采样，然后将样品瓶运输至化学实验室，并使用颗粒计数仪(LPC)离线检测液体样品中的颗粒数量，导致检测不准确。

现有技术中，首先，采用样品瓶进行采样，将样品瓶运输至化学实验室，在化学实验室中样品瓶配合粒子计数仪(LPC)离线检测液体样品中的颗粒数量，但是，液体样品中的颗粒离线检测易受液体样品容器、周围环境及检测机台本体影响，主要存在以下问题：

1、样品瓶是按国际标准ISO3722《液压传动·取样容器清洗方法的鉴定》清洗合格的专用器具，样品瓶采样前必须经过化学试剂浸泡以及超纯水清洗，其中，一种清洗方法为先用甲醇浸泡，并超声清洗20分钟，后将甲醇倒干；再将进样瓶内注满水，超声清洗20分钟，后将水倒干并烘干样品瓶，需要花费额外的人力及大量的清洗溶液；同理，为保证检测结果的精度，检测用的机台在检测前也需要进行清洗；

2、使用样品瓶人工采样及检测过程中，样品瓶都需取下瓶盖，此时，难以避免环境中颗粒落入液体样品中，导致检测值远远大于真实值；

3、采样及液体样品运输过程的震荡导致空气进入到液体样品中形成微小悬浮气泡，易被仪器误认为是颗粒，从而影响检测结果。

为了解决上述技术问题，请参照图1，本申请的第一方面提出了一种除泡容器，能够去除液体样品中的气泡，以提高检测结果的准确度。

请参照图1，除泡容器10内具有容置腔11，除泡容器10上开设有与容置腔11连通的进样口14和出样口15，除泡容器10于容置腔11内设有遮挡件13，遮挡件13位于进样口14和出样口15之间；其中，进样口14用于将液体样品引入容置腔11，出样口15用于将容置腔11中的液体样品引出容置腔11；在除泡容器10的高度方向上，遮挡件13的顶部不低于出样口15。

液体样品一般为化学试剂，而除泡容器10作为液体样品的暂存容器，自身材料需要良好的耐酸耐碱性，因此，在本申请的一些实施例中，除泡容器10可由PFA材料制成。

容置腔11的形状可任意设置，例如，圆柱形、正方形和球形；但是，由于液体样品需要在容置腔11内进行流动，若容置腔11具有良好的流线型，则除泡容器10内表面具有更少的折边，液体样品在容置腔11内产生死体积的概率越小，因此，在本申请的一些实施例中，容置腔11的侧面设置为封闭曲面，容置腔11的底面为向外凸设的弧形面，封闭曲面和弧形面均具有良好的流线型，便于液体样品在容置腔11内流动；进一步的，在本申请的一些实施例中，容置腔11的底面设为向外凸设的弧形面，使得容置腔11侧面和底面之间的夹角变大，进一步增强了液体样品在容置腔11内的流动性，具体的，参照图1，本实施例中，容置腔11设置为圆柱形且其底面为向外凸设的半球形面；其中，死体积是指由于测试系统中输液通道的存在，输入测试通道的流体并没有全部经过试样，有一部分残留在液体传输通道中。死体积将导致测试人员产生误判从而使得测试结果出现偏差。

若通过进样口14进入至容置腔11内的液体样品中含有空气，那么，液体样品在会容置腔11内产生气泡，导致气泡进入出样口15将造成检测结果偏大，应当注意的是，此处的气泡并不是现有技术中采样及液体样品运输过程的震荡导致空气进入到液体样品中形成的微小悬浮气泡，而是，外部设备不可能是做到完全密封，会存在少量气体随液体样品进入容置腔11产生的气泡；为避免气泡对检测结果产生影响，因此，在容置腔11内于进样口14和出样口15之间设置遮挡件13，遮挡件13在保证位于进样口14和出样口15之间的前提下，可以设于容置腔11内任意位置，本申请的一些实施例中，遮挡件13可位于进样口14和出样口15之间的中间位置；同时，由于遮挡件13设置在容置腔11内必然接触到容置腔11内的液体样品，因此，在本申请的一些实施例中，遮挡件13可由PFA材料制成。

遮挡件13的形状需要根据容置腔11的形状进行设置，基于容置腔11设置圆柱形且其底面为向外凸设的半球形面，参照图1，在本申请的一些实施例中，遮挡件13包括相互连接的矩形板131和弧形板132，弧形板132对应容置腔11的半球形面底面设置，矩形板131相对两侧边与除泡容器10内侧壁固定连接，弧形板132与除泡容器10的半球形内底面固定连接，参照图1，在本申请的一些实施例中，矩形板131和弧形板132处于同一平面内。同时，由于除泡容器10和遮挡件13均由FPA材料制成，因此，在本申请的一些实施例中，可将除泡容器10和遮挡件13一体设置。

基于本申请实施例的除泡容器10，除泡容器10通过进样口14连通外部设备，通过出样口15连通计数设备，进样口14用于将液体样品引入至容置腔11内，出样口15用于将容置腔11内的液体样品引入至计数设备内，由于通过进样口14进入除泡容器10的液体样品可能因含有空气而产生气泡，因此，容置腔11内于进样口14和进样口14之间设置遮挡件13，使通过进样口14进入缓冲密封瓶的液体样品必须经过遮挡件13上方才能流动至出样口15，进一步，在除泡容器10的高度方向上，使遮挡件13顶部不低于出样口15，则气泡在经过遮挡件13上方后，在除泡容器10的高度方向上，气泡的位置一定不低于出样口15，同时，气泡必然受到自身浮力在容置腔11内上浮，即气泡经过遮挡件13上方后，自身位置不低于出样口15并且因自身浮力将在容置腔11内继续上浮，气泡则势必不能被出样口15引出容置腔11，避免了气泡通过出样口15进入计数设备致使检测结果偏大，提高了检测精度。

为了便于出样口14可及时引出新鲜的液体样品，参照图1，在本申请的一些实施例中，在除泡容器10的高度方向上，遮挡件13的顶部与出样口15平齐；这样新鲜液体样品通过遮挡件13顶部后仍与出样口15平齐，即新鲜的液体样品在经过遮挡件13顶部后继续进行平移便可通过至出样口15排出容置腔11内，同时，液体样品中的气泡在经过遮挡件13顶部后因受自身浮力而向容置腔11顶部移动；这样，既减少了气泡通过出样口15进入粒子计数器20的可能性，又有利于液体样品经过出样口15及时进入至计数设备中。

在本申请的一些实施例中，在除泡容器10的高度方向上，进样口14高于出样口15，使得进样口14与出样口15之间的压差值为正值，防止在进样口14不引入液体样品时容置腔11内的液体样品发生倒流。

液体样品是通过进样口14被实时引入容置腔11内，通常将进样口14常接外部设备，外部设备如机台端的取样口或厂务供应系统端，为符合外部设备和该在线计数装置之间距离的需求，通常设置一进样管12连通外部设备和除泡容器10，进样管12一端连通液体样品提供端，另一端经进样口14连通容置腔11，进样管12的长短由进样口14距离外部设备之间的距离决定，参照图1，在本申请的一些实施例中，进样管12包括第一端121与第二端122，第一端121用于与外部设备连通，第二端122经除泡容器10的进样口14延伸至容置腔11内，遮挡件13处于第二端122和出样口15之间。进一步，为防止液体样品在除泡容器10的容置腔11内溅射，参照图1，在本申请的一些实施例中，第二端122经除泡容器10的进样口14延伸至容置腔11的底部，也即延伸至容置腔11设为弧形面的一端。在本申请的一些实施例中，进样管12与除泡容器10在进样口14位置处可固定连接，进样管12与外部设备可拆卸固定连接，例如，进样管12和外接设备采用法兰盘连接，可随时拆卸的法兰盘便于进样管12连通不同的外接设备。

为保证除泡容器10内一定存在液体样品，参照图1，在本申请的一些实施例中，在除泡容器10的高度方向上，进样管12的第二端122低于出样口15。

参照图1，在本申请的一些实施例中，在除泡容器10的高度方向上，遮挡件13的底部与除泡容器10的底部密封连接，在本申请的一些实施例中，遮挡件13的边沿与除泡容器10底部以及除泡容器10内侧壁均固定连接，使进入容置腔11的新鲜液体样品必须通过遮挡件13顶部才能通过出样口15，同理，混合在液体样品中的气泡同样必须经过遮挡件13的顶部，但是，由于遮挡件13顶部不低于出样口15，气泡受到自身浮力作用，则气泡在通过遮挡件13顶部后，沿除泡容器10的高度方向，气泡高于出样口15，之后气泡受到自身浮力作用继续向容置腔11顶部漂浮，保证气泡不会通过出样口15进入粒子计数器20，其中，遮挡件13的顶部指遮挡件13远离容置腔11的弧形面的一端。

在申请另外一些实施例中，在除泡容器10的高度方向上，遮挡件13的底部低于进样管12的第二端122，具体的，在本申请的一些实施例中，遮挡件13的边沿仅与除泡容器10的内侧壁均固定连接，即遮挡件13与除泡容器10内侧底壁之间存在间隙供液体样品流过，但是由于遮挡件13的底部低于进样管12的第二端122，且气泡从第二端122进入容置腔11后受自身浮力作用，在容置腔11内朝向容置腔11顶部漂浮，即液体样品中的气泡并不会通过遮挡件13与除泡容器10底壁之间的间隙进而进入出样口15，这样，即减小了除泡容器10中气泡进入出样口15的可能性，又通过遮挡件13与除泡容器10的底壁之间的开口增大了液体样品在容置腔11内的流动性，其中，遮挡件13的底部指遮挡件13接近容置腔11的弧形面的一端。

请参照图2，本申请的第二方面提出了一种在线计数装置，包括如上的除泡容器10和粒子计数器20，粒子计数器20经由出样口15与除泡容器10连通，当液体样品进入粒子计数器20时，粒子计数器20用于对引入在线计数装置的液体样品中的颗粒进行计数。

基于本申请实施例的在线计数装置，进样口14连通外部设备，以随时向容置腔11内引入液体样品，容置腔11用于暂存液体样品，缓冲容器10内液体样品通过出样口15进入至粒子计数器20内，粒子计数器20可实时对进入至粒子计数器20中的液体样品进行检测，实现对液体样品的在线检测，由于除泡容器10阻值了液体样品中的气泡经出样口15进入至粒子计数器20内，因此，提高了该在线计数装置的检测精度。同时，由于检测过程中无需再使用到样品瓶，则实验前无需再使用大量化学试剂和超纯水对样品瓶及检测机台进行清洗，也无需对样品瓶进行运输，避免了液体样品因搬运而形成微小悬浮气泡，同样，无需使用样品瓶采样，避免了环境中颗粒落入液体样品中，保证除泡容器10内的液体样品与液体样品在外部设备内时具有相同的状态，进一步，提高了检测结果的准确度。

粒子计数器20自身附带有一精密柱塞泵，精密柱塞泵固定设于粒子计数器20内部，且精密柱塞泵的出液口连通粒子计数器20，该在线计数装置工作时，精密柱塞泵定流量抽取液体样品供给粒子计数器20，然后由粒子计数器20对液体样品中粒子数量进行颗粒检测；其中，颗粒检测为检测单位体积的液体样品中含有多少数量的粒子。

参照图2，在本申请的一些实施例中，粒子计数器20与除泡容器10连通的方式可以是粒子计数器20和除泡容器10之间设置采样管，采样管一端于除泡容器10的出样口15处连通容置腔11，另一端于精密柱塞泵的进液口处连通精密柱塞泵，实现除泡容器10和粒子计数器20的连通。

参照图2在本申请的一些实施例中，在线计数装置还包括控制装置50和电源60，控制装置50用于控制粒子计数器20及接收、处理和输出检测数据，控制装置50包括但不限于计算机、手机或其他固定、移动智能设备；电源60与控制装置50以及粒子计数器20均电性连接，为控制装置50和粒子计数器20提供能量，电源60可以是市电、蓄电池、太阳能电池板、不间断电源(UPS)或其他储能设备，但是，考虑到该装置的便携性，本实施例中，电源60设置为不间断电源(UPS)。

为保证粒子计数器在检测过程中可实时采集到足够的液体样品，除泡容器10通常会过量采集液体样品以保证该在线计数装置检测过程中有充足的液体样品可供检测，为了将过剩的液体样品排出容置腔11，参照图2，在本申请的一些实施例中，除泡容器10具有溢流口16，溢流口16用于排出除泡容器10内过剩液体样品；其中，在除泡容器10的高度方向上，溢流口16不低于进样口14或进样管12的第二端122。这样，无论是否在检测过程中，当容置腔11内液体样品的液面超过溢流口16时，液体样品将从溢流口16中流出容置腔11。由于，溢流口16高于出样口15，溢流口16高于进样口14或进样管12的第二端122，保证了容置腔11内一定存在液体样品。

由于进样管12的第二端122位于容置腔11的底部，因此，在除泡容器10的高度方向，新鲜的液体样品位于容置腔11底部，陈旧的液体样品则位于容置腔11顶部，且陈旧的液体样品从溢流口16流出，为后续新鲜的液体样品进入容置腔11腾出空间，这样，粒子计数器20可及时采集到新鲜的液体样品，提高了该在线计数装置的时效性，陈旧的液体样品通过溢流口16直接排出容置腔11内，减轻了粒子计数器20的工作量，延长了粒子计数器20的寿命；进一步，在除泡容器10的高度方向上，溢流口16高于出样口15，使容置腔11内液体样品的液面能够超过出样口15，则容置腔11内一定存在供粒子计数器20采集的液体样品。

为保证检测结果的准确度，应当避免容置腔11内的液体样品接触空气，因此，参照图1，在本申请的一些实施例中，将溢流口16开设于除泡容器10的顶部，也即将溢流口16开设于除泡容器10的远离遮挡件13一侧，使液体样品可充满整个除泡容器10，避免了容置腔11内的液体样品接触到周围环境；在除泡容器10的高度方向上，出样口15需低于溢流口16，同时又需要兼顾遮挡件13的高度，即遮挡件13必须具有一定的高度，但是，又不能将容置腔11分隔为两个空腔，因此，参照图1，在本申请的一些实施例中，出样口15可设于除泡容器10顶部与底部之间侧壁的任意位置处；为防止容置腔11内的液体样品产生倒流，参照图1，在本申请的一些实施例中，将进样口14开设于除泡容器10的顶部，也即将进样口14开设于除泡容器10的远离遮挡件13一侧，同时，借助进样管12将液体样品引入容置腔11内。结合上述进样管12的第二端122延伸至容置腔11的底部，此时，在除泡容器10的高度方向上，溢流口16高于出样口15，出样口15高于进样管12的第二端122。

对应的，通过溢流口16排出容置腔11的液体样品需要一暂存空间，因此，参照图2，在本申请的一些实施例中，在线计数装置还包括储液容器30，储液容器30经由溢流口16与除泡容器10连通，且与粒子计数器20连通；其中，在除泡容器10的高度方向上，除泡容器10高于储液容器30。这样，通过溢流口16排出除泡容器10的液体样品将暂存于储液容器30内，进一步，除泡容器10高于储液容器30，通过溢流口16的排出除泡容器10的液体样品在自重下流入储液容器30内，进一步的，粒子计数器20内被检测过的液体样品也需要一暂存空间，粒子计数器20与储液容器30连通，将被检测过的液体样品排入至储液容器30内。

参照图2，在本申请的一些实施例中，在线计数装置还包括溢流管40，溢流管40一端连通除泡容器10，另一端连通储液容器30，即储液容器30与除泡容器10之间设溢流管40连通。若仅为实现排出容置腔11内过量液体样品，溢流管40只需普通管道即可实现。但是，溢流管40在排出过量液体样品的同时应保证除泡容器10内的液体样品不接触到空气，以避免周围环境中的杂质和空气混入液体样品中造成检测结果偏大，因此，溢流管40需要同时兼顾排出过量液体样品和密封除泡容器10。进一步的，参照图2，在本申请的一些实施例中，溢流管40包括第一溢流段41，液封段42以及第二溢流段43；第一溢流段41连通除泡容器10与液封段42，第二溢流段43连通液封段42与储液容器30，在除泡容器10的高度方向上，第一溢流段41与液封段42的连通位置高于液封段42的最低储液位置，第二溢流段43与液封段42的连通位置也高于液封段42的最低储液位置，根据伯努利原理，液体样品在液封段42处将形成液封对除泡容器10进行密封，当除泡容器10内的液体样品从溢流口16排出至第一溢流段41时，第一溢流段41内液面升高，破坏了液封段42内液封的平衡状态，使第一溢流段41内的液体样品通过液封段42和第二溢流段43排入至储液容器30内。

为了便于将在容置腔11内的液体样品需要引入至粒子计数器20进行检测，以及采样管的布置，参照图2，本申请的一些实施例中，在除泡容器10的高度方向上，除泡容器10与粒子计数器20平齐。

为保护该在线计数装置中的各仪器，在本申请的一些实施例中，在线计数装置还包括一壳体70，壳体70具有第一置物腔71以及第二置物腔72，第一置物腔71和第二置物腔72均用于放置各仪器，除泡容器10、粒子计数器20以及控制装置50设置于第一置物腔71内，以使操作人员站立时即可对该在线计数装置进行操作、观察检测过程以及读取检测结果；电源60以及储液容器30则设置于第二置物腔72内。

参照图2，在本申请的一些实施例中，第一置物腔71和第二置物腔72在壳体70内自上而下依此设置，即在除泡容器10的高度方向上，除泡容器10、粒子计数器20位于储液容器30的上方，实现了除泡容器10以及粒子计数器20内的液体样品依靠自重自动流动至储液容器30内。

在本申请的一些实施例中，壳体70内固定设置一水平隔板将壳体70内部分隔为第一置物腔71和第二置物腔72，以实现第一置物腔71和第二置物腔72在壳体70内自上而下依此设置。

在本申请的一些实施例中，壳体70侧壁上开设连通第一置物腔71的第一开口和连通第二置物腔72的第二开口，并分别于第一开口和第二开口处铰接第一门体和第二门体，第一门体用于盖合第一开口，第二门体用于盖合第二开口。

在本申请的另一些实施例中，壳体70去除任一侧壁，以形成连通第一置物腔71和第二置物腔72的第三开口，并于第三开口处铰接一能够盖合第三开口的第三门体。

在本申请的又一些实施例中，壳体70去除任一侧壁，以形成连通第一置物腔71和第二置物腔72的第四开口，并于第三开口处对应第一置物腔71和第二置物腔72分别铰接第四门体和第五门体，其中，为便于观察检测过程、获取检测结果以及便于操作控制装置50，第四门体用于盖合第一置物腔71与第四开口的连通处，第五门体用于盖合第二置物腔72与第开口的连通处；同时为便于该在线检测装置的便携度，在壳体70外底面设置多个如四个万向轮73。

本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本申请的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

以上仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (18)

1.一种除泡容器，其特征在于，所述除泡容器内具有容置腔，所述除泡容器上开设有与所述容置腔连通的进样口和出样口，所述除泡容器于所述容置腔内设有遮挡件，所述遮挡件位于所述进样口和所述出样口之间；

其中，所述进样口用于将液体样品引入所述容置腔，所述出样口用于将所述容置腔中的液体样品引出所述容置腔；在所述除泡容器的高度方向上，所述遮挡件的顶部不低于所述出样口。

2.如权利要求1所述的除泡容器，其特征在于，在所述除泡容器的高度方向上，所述遮挡件的顶部与所述出样口平齐；和/或，在所述除泡容器的高度方向上，所述进样口高于所述出样口。

3.如权利要求1所述的除泡容器，其特征在于，所述容置腔的底面为向外凸设的弧形面。

4.如权利要求1所述的除泡容器，其特征在于，还包括：

进样管，所述进样管包括第一端与第二端，所述第一端用于与外部设备连通，所述第二端经所述除泡容器的所述进样口延伸至所述容置腔内，所述遮挡件处于所述第二端和所述出样口之间。

5.如权利要求4所述的除泡容器，其特征在于，所述第二端经所述除泡容器的所述进样口延伸至所述容置腔的底部。

6.如权利要求4所述的除泡容器，其特征在于，在所述除泡容器的高度方向上，所述进样管的所述第二端低于所述出样口。

7.如权利要求4所述的除泡容器，其特征在于，在所述除泡容器的高度方向上，所述遮挡件的底部与所述除泡容器的底部密封连接，或所述遮挡件的底部低于所述进样管的所述第二端。

8.一种在线计数装置，其特征在于，包括：

如权利要求1-7任一项所述的除泡容器；及

粒子计数器，所述粒子计数器经由所述出样口与所述除泡容器连通，当液体样品进入所述粒子计数器时，所述粒子计数器用于对引入所述在线计数装置的液体样品中的颗粒进行计数。

9.如权利要求8所述的在线计数装置，其特征在于，所述除泡容器具有溢流口，所述溢流口用于排出所述除泡容器内过剩液体样品；

其中，在所述除泡容器的高度方向上，所述溢流口高于所述出样口，所述溢流口不低于所述进样口或所述进样管的所述第二端。

10.如权利要求9所述的在线计数装置，其特征在于，所述溢流口以及所述进样口均开设于所述除泡容器的顶部，所述出样口开设于所述除泡容器的顶部与底部之间的侧壁上。

11.如权利要求9所述的在线计数装置，其特征在于，还包括：

储液容器，所述储液容器经由所述溢流口与所述除泡容器连通，且与所述粒子计数器连通；

其中，在所述除泡容器的高度方向上，所述除泡容器高于所述储液容器。

12.如权利要求11所述的在线计数装置，其特征在于，还包括：

溢流管，所述溢流管一端连通所述除泡容器，另一端连通所述储液容器。

13.如权利要求12所述的在线计数装置，其特征在于，所述溢流管包括：

液封段；

第一溢流段，所述第一溢流段一端经由所述溢流口连通所述除泡容器，另一端连通所述液封段；

第二溢流段，所述第二溢流段两端分别连通所述液封段与所述储液容器；

其中，在所述除泡容器的高度方向上，所述第一溢流段与所述液封段的连通位置高于所述液封段的最低储液位置，所述第二溢流段与所述液封段的连通位置也高于所述液封段的最低储液位置。

14.如权利要求8所述的在线计数装置，其特征在于，在所述除泡容器的高度方向上，所述除泡容器与所述粒子计数器平齐。

15.如权利要求8所述的在线计数装置，其特征在于，还包括：

控制装置，所述控制装置与所述粒子计数器电性连接。

16.如权利要求15所述的在线计数装置，其特征在于，还包括：

电源，所述电源分别与所述控制装置以及所述粒子计数器电性连接。

17.如权利要求16所述的在线计数装置，其特征在于，还包括：

壳体，所述壳体具有第一置物腔以及第二置物腔；其中，所述除泡容器、粒子计数器以及所述控制装置设置于所述第一置物腔内，所述电源以及储液容器设置于所述第二置物腔内。

18.如权利要求17所述的在线计数装置，其特征在于，所述第一置物腔和所述第二置物腔在所述壳体内自上而下依此设置。

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