CN216192658U - 一种清洁设备 - Google Patents

Abstract

本公开实施例提供一种清洁设备，该清洁设备包括第一输送泵，第一输送泵的第一输入端通过第一管道与蒸镀腔室的第一出气口连通，第一输送泵的输出端通过第二管道与蒸镀腔室的进气口连通，用于将蒸镀腔室中的空气从第一出气口循环输送至进气口；过滤装置，设置在第一输送泵的输出端与第二管道之间，用于过滤空气中的颗粒物。本公开实施例的技术方案可以有效提高蒸镀腔室的洁净度，从而提升产品良率。

Description

一种清洁设备

技术领域

本公开涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种清洁设备。

背景技术

由于蒸镀腔室的内部容易产生颗粒物，使得颗粒物在蒸镀过程中容易附着在镀膜对象上，这会降低产品良率。

实用新型内容

本公开实施例提供一种清洁设备，以解决或缓解现有技术中的一项或更多项技术问题。

本公开实施例提供一种清洁设备，包括：

第一输送泵，第一输送泵的第一输入端通过第一管道与蒸镀腔室的第一出气口连通，第一输送泵的输出端通过第二管道与蒸镀腔室的进气口连通，用于将蒸镀腔室中的空气从第一出气口循环输送至进气口；

过滤装置，设置在第一输送泵的输出端与第二管道之间，用于过滤空气中的颗粒物。

在一种实施方式中，该清洁设备还包括：

布气装置，邻近进气口设置于蒸镀腔室的内部，布气装置的出气端朝向第一出气口设置。

在一种实施方式中，该清洁设备还包括：

第二输送泵，设置在过滤装置的输出端与第二管道之间。

在一种实施方式中，进气口位于蒸镀腔室的顶部，第一出气口位于蒸镀腔室的底部，布气装置包括多个布气板，多个布气板沿蒸镀腔室的竖直方向间隔设置，各布气板均开设有多个布气孔，以形成出气端。

在一种实施方式中，各布气板的多个布气孔均匀分布，相邻的布气板的布气孔交错设置，多个布气板上布气孔的孔径沿进气口至第一出气口的方向减小。

在一种实施方式中，过滤装置包括多个过滤芯，多个过滤芯沿空气的输送方向依次设置，多个过滤芯的孔径沿空气的输送方向减小。

在一种实施方式中，该清洁设备还包括：

第一检测装置，设置在第一输送泵的第一输入端，用于检测从蒸镀腔室中输出的空气的颗粒物浓度；

第二检测装置，设置在第二输送泵的输出端，用于检测过滤装置过滤后的空气的颗粒物浓度。

在一种实施方式中，该清洁设备还包括：

容纳装置，具有容纳腔室，容纳腔室分别与第一管道和第二管道连通，用于容纳第一检测装置、第一输送泵、过滤装置、第二输送泵和第二检测装置。

在一种实施方式中，蒸镀腔室还包括第二出气口，第二出气口通过第三管道与第一输送泵的第二输入端连通；第二出气口与第一出气口相对设置。

在一种实施方式中，进气口、第一出气口和第二出气口分别设置有真空阀。

本公开实施例的清洁设备，第一输送泵将蒸镀腔室的内部的空气依次经蒸镀腔室的第一出气口、第一管道、第二管道和进气口进行循环输送，使得过滤装置能够循环过滤空气中的颗粒物，提高蒸镀腔室的洁净度，减少颗粒物的附着，有利于提升产品良率。

上述概述仅仅是为了说明书的目的，并不意图以任何方式进行限制。除上述描述的示意性的方面、实施方式和特征之外，通过参考附图和以下的详细描述，本公开进一步的方面、实施方式和特征将会是容易明白的。

附图说明

在附图中，除非另外规定，否则贯穿多个附图相同的附图标记表示相同或相似的部件或元素。这些附图不一定是按照比例绘制的。应该理解，这些附图仅描绘了根据本公开公开的一些实施方式，而不应将其视为是对本公开范围的限制。

图1示出根据本公开实施例的清洁设备的结构示意图；

图2示出根据本公开实施例的清洁设备的一种清洁过程的示意图。

附图标记说明：

100-清洁设备；

110-蒸镀腔室；111-第一出气口；112-进气口；113-第二出气口；

120-第一输送泵；120A-第一输入端；120B-第二输入端；

121-第一管道；122-第二管道；123-第三管道；

130-过滤装置；131-第一过滤芯；132-第二过滤芯；133-第三过滤芯；

210-布气装置；211-第一布气板；211A-第一布气孔；212-第二布气板；212A-第二布气孔；213-集气室；

220-第二输送泵；

230-第一检测装置；

240-第二检测装置；

250-容纳装置；251-容纳腔室；252-第一通孔；253-第二通孔；

260-真空阀。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本公开的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

蒸镀腔室用于容纳镀膜材料和待镀膜对象，在蒸镀过程中，镀膜材料在蒸镀腔室的内部熔化或升华为气态粒子(包括原子、分子或原子团)并沉积在待镀膜对象上。由于每次蒸镀生产之前需要人员进入蒸镀腔室的内部更换防着板、添加镀膜材料、对待镀膜对象进行点检等，人员频繁进出蒸镀腔室会产生很多颗粒物。此外，在更换防着板的过程中，粘附在防着板上的镀膜颗粒容易发生脱落，脱落的镀膜颗粒也成为颗粒物。这些颗粒物悬浮在蒸镀腔室的内部，致使蒸镀腔室的内部洁净度较低。在蒸镀过程中，大量颗粒物粘附在待镀膜对象的表面会降低产品良率。

虽然相关技术在蒸镀生产前会利用真空泵将蒸镀腔室的内部的空气排出，使得蒸镀腔室的内部形成真空环境，但是，因为仅有部分颗粒物会随空气排出，所以蒸镀腔室的洁净度仍然较低，也会降低产品良率。

为解决上述技术问题，本公开实施例提供了一种清洁设备，如图1所示，该清洁设备100可以包括：第一输送泵120和过滤装置130。第一输送泵120的第一输入端120A通过第一管道121与蒸镀腔室110的第一出气口111连通，第一输送泵120的输出端(图中未标记出)通过第二管道122与蒸镀腔室110的进气口112连通，用于将蒸镀腔室110中的空气从第一出气口111循环输送至进气口112。示例性地，第一输送泵120可以为干式真空泵。过滤装置130设置在第一输送泵120的输出端与第二管道122之间，用于过滤空气中的颗粒物。

本公开的清洁设备100，第一输送泵120将蒸镀腔室110的内部的空气依次经蒸镀腔室110的第一出气口111、第一管道121、第二管道122和进气口112进行循环输送，使得过滤装置130能够循环过滤空气中的颗粒物，提高蒸镀腔室110的洁净度，减少颗粒物的附着，有利于提升产品良率。

在一种实施方式中，该清洁设备100还可以包括布气装置210。布气装置210邻近进气口112设置于蒸镀腔室110的内部，布气装置210的出气端朝向第一出气口111设置。布气装置210用于将过滤装置130过滤后的空气喷向第一出气口111，利用过滤后的空气形成高速气流，可以立即将悬浮在蒸镀腔室110中的颗粒物吹向第一出气口111，有利于保持蒸镀腔室110的内部的整体洁净度。此外，高速气流还可以将堆积在第一出气口111附近的颗粒物扬起，以便第一输送泵120将颗粒物从第一出气口111随空气一起输送至过滤装置130进行循环过滤，提高了空气的过滤效率。

在一种实施方式中，该清洁设备100还可以包括第二输送泵220，第二输送泵220设置在过滤装置130的输出端(图中未标记出)与第二管道122之间。

示例性地，第二输送泵220的输入端(图中未标记出)与过滤装置130的输出端(图中未标记出)连通，第二输送泵220的输出端(图中未标记出)与第二管道122的输入端(图中未标记出)连通。可选地，第二输送泵220可以是气体增压泵。

第二输送泵220可以增加过滤后的空气的气压，使得过滤后的空气能够高速从蒸镀腔室110的进气口112输入，可方便地形成高速气流。

在一种实施方式中，进气口112位于蒸镀腔室110的顶部，第一出气口111位于蒸镀腔室110的底部，布气装置210包括多个布气板，多个布气板沿蒸镀腔室110的竖直方向间隔设置，各布气板均开设有多个布气孔，以形成出气端。

在一个示例中，各布气板与其布气孔垂直布置，进气口112位于蒸镀腔室110的顶部的中心位置，多个布气板与进气口112水平布置，使得各布气板上的布气孔朝向第一出气口111。

过滤后的空气沿进气口112至第一出气口111的方向依次通过多个布气板，多个布气板依次对过滤后的空气进行布气，能够逐步提升过滤后空气喷出的均匀性，使得过滤后的空气最终均匀地朝向第一出气口111喷出，有利于提升颗粒物的吹起效率，从而提高空气的过滤效率。

在一种实施方式中，各布气板的多个布气孔均匀分布，能够提升布气的均匀性。相邻的布气板的布气孔交错设置，使得相邻的布气板之间能够形成集气室，集气室能够起到集气作用，有利于保证过滤后的空气具有足够的流速。多个布气板上布气孔的孔径沿进气口112至第一出气口111的方向减小，可以使过滤后的空气的流速沿进气口112至第一出气口111的方向增大，以便形成高速气流。

示例性地，如图1所示，多个布气板包括第一布气板211和第二布气板212，第一布气板211邻近进气口112设置，第二布气板212位于第一布气板211背离进气口112的一侧，第二布气板212与第一布气板211之间形成集气室213。第一布气板211开设有多个第一布气孔211A，第一布气孔211A与第一布气板211垂直。第二布气板212开设有多个第二布气孔212A，第二布气孔212A与第二布气板212垂直。第二布气孔212A与第一布气孔211A交错设置，且第二布气孔212A的孔径小于第一布气孔211A的孔径。第一布气板211对过滤后的空气起到均匀布气作用，第二布气板212能够进一步增加过滤后的空气的均匀性，并且因第二布气孔212A的孔径小于第一布气孔211A的孔径，第二布气板212还能增加过滤后的空气的流速。

可以理解的，布气板的数量可以根据实际需要进行选择和调整，本公开实施例对布气板的数量不作限制。

在一种实施方式中，过滤装置130包括多个过滤芯，多个过滤芯沿空气的输送方向依次设置，多个过滤芯的孔径沿空气的输送方向减小。

在一个示例中，如图1所示，多个过滤芯包括第一过滤芯131、第一过滤芯132和第三过滤芯133。第一过滤芯131的孔径为30μm，第一过滤芯132的孔径为10μm，第三过滤芯133的孔径为5μm。空气依次通过第一过滤芯131、第一过滤芯132和第三过滤芯133后，可以依次滤除粒径大于或等于30μm的颗粒物、粒径大于或等于10μm的颗粒物以及粒径大于或等于5μm的颗粒物，使得蒸镀腔室110的内部仅仅存在粒径小于5μm的颗粒物，而粒径小于5μm的颗粒物对产品良率的影响较小。再者，利用过滤装置130对蒸镀腔室110的内部的空气进行循环过滤，可以减小蒸镀腔室110中空气的颗粒物的浓度，将蒸镀腔室110的洁净度提升至百级(每立方米的空间中粒径大于或等于0.1μm的颗粒物的数量不大于100个)，从而保证蒸镀腔室110的洁净度。这样能有效提高产品良率。

可以理解的，多个过滤芯的数量以及各过滤芯的孔径可以根据实际需要进行选择和调整，本公开实施例对此不做限制。

在一种实施方式中，该清洁设备100还可以包括：第一检测装置230和第二检测装置240。第一检测装置230设置在第一输送泵120的第一输入端120A，用于检测从蒸镀腔室110中输出的空气的颗粒物浓度。第二检测装置240设置在第二输送泵220的输出端，用于检测过滤装置130过滤后的空气的颗粒物浓度。

示例性地，第一检测装置230可以显示从蒸镀腔室110中输出的空气的颗粒物浓度，第二检测装置240可以显示过滤装置130过滤后的空气的颗粒物浓度，不仅能实时监测蒸镀腔室110的洁净度，而且能实时监测过滤装置130的过滤效果，以便及时更换滤芯。

在一种实施方式中，该清洁设备100还可以包括容纳装置250。该容纳装置250具有容纳腔室251，容纳腔室251分别与第一管道121和第二管道122连通。示例性地，容纳装置250开设有与容纳腔室251连通的第一通孔252和第二通孔253。第一通孔252与第一管道121连通，第二通孔253与第二管道122连通。容纳腔室251用于容纳第一检测装置230、第一输送泵120、过滤装置130、第二输送泵220和第二检测装置240，以保证清洁设备100的密封性能。

在一种实施方式中，蒸镀腔室110还包括第二出气口113，第二出气口113通过第三管道123与第一输送泵120的第二输入端120B连通；第二出气口113与第一出气口111相对设置。通过增设第二出气口113，可以提升空气的流动性，便于提高空气的过滤效率。

在一种实施方式中，进气口112、第一出气口111和第二出气口113分别设置有真空阀260。在第一输送泵120运行时，真空阀260开启，使得蒸镀腔室110的内部的空气能够从蒸镀腔室110的第一出气口111至进气口112循环输送；在第一输送泵120停止运行时，真空阀260关闭，使得蒸镀腔室110的内部维持真空环境。

本公开实施例的清洁设备100适用于制备OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)等半导体的有机蒸镀腔室的清洁。在一种应用场景中，通常采用蒸镀工艺在基板上形成OLED器件的功能层，采用本公开实施例的清洁设备100对有机蒸镀腔室进行清洁，可以提升有机蒸镀腔室的洁净度，从而提升OLED器件的产品良率。

图2示出根据本公开的清洁设备100的一种清洁过程的示意图。如图1和图2所示，清洁过程中，第一输送泵120将蒸镀腔室110的内部的空气依次经第一出气口111、第一管道121和第二管道122循环输送至蒸镀腔室110的进气口112，从蒸镀腔室110输出的空气依次经过第一检测装置230、过滤装置130、第二输送泵220和第二检测装置240。其中，第一检测装置230检测蒸镀腔室110输出的空气的颗粒物浓度，过滤装置130过滤空气中的颗粒物，第二输送泵220增加过滤后的空气的气压，第二检测装置240检测过滤装置130过滤后的空气中的颗粒物浓度。接着，过滤后的空气经进气口112输送至布气装置210，布气装置210朝向第一出气口111喷出过滤后的空气，使得空气继续从第一出气口111输出。采用本公开实施例的清洁设备100对蒸镀腔室110进行清洁，能够有效提高蒸镀腔室110的洁净度，从而提升产品良率。

上述实施例的清洁设备100的其他构成可以采用于本领域普通技术人员现在和未来知悉的各种技术方案，这里不再详细描述。

在本说明书的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。在本公开的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本公开中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。

在本公开中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

上文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本公开的不同结构。为了简化本公开的公开，上文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本公开。此外，本公开可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。

以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到其各种变化或替换，这些都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种清洁设备，其特征在于，包括：

第一输送泵，所述第一输送泵的第一输入端通过第一管道与蒸镀腔室的第一出气口连通，所述第一输送泵的输出端通过第二管道与所述蒸镀腔室的进气口连通，用于将所述蒸镀腔室中的空气从所述第一出气口循环输送至所述进气口；

过滤装置，设置在所述第一输送泵的输出端与所述第二管道之间，用于过滤空气中的颗粒物。

2.根据权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，还包括：

布气装置，邻近所述进气口设置于所述蒸镀腔室的内部，所述布气装置的出气端朝向所述第一出气口设置。

3.根据权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述清洁设备还包括：

第二输送泵，设置在所述过滤装置的输出端与所述第二管道之间。

4.根据权利要求2所述的清洁设备，其特征在于，所述进气口位于所述蒸镀腔室的顶部，所述第一出气口位于所述蒸镀腔室的底部，所述布气装置包括多个布气板，多个所述布气板沿所述蒸镀腔室的竖直方向间隔设置，各所述布气板均开设有多个布气孔，以形成所述出气端。

5.根据权利要求4所述的清洁设备，其特征在于，各所述布气板的多个布气孔均匀分布，相邻的布气板的布气孔交错设置，多个所述布气板上布气孔的孔径沿所述进气口至所述第一出气口的方向减小。

6.根据权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述过滤装置包括多个过滤芯，多个所述过滤芯沿所述空气的输送方向依次设置，多个所述过滤芯的孔径沿所述空气的输送方向减小。

7.根据权利要求3所述的清洁设备，其特征在于，还包括：

第一检测装置，设置在所述第一输送泵的第一输入端，用于检测从所述蒸镀腔室中输出的空气的颗粒物浓度；

第二检测装置，设置在所述第二输送泵的输出端，用于检测所述过滤装置过滤后的空气的颗粒物浓度。

8.根据权利要求7所述的清洁设备，其特征在于，还包括：

容纳装置，具有容纳腔室，所述容纳腔室分别与所述第一管道和所述第二管道连通，用于容纳所述第一检测装置、所述第一输送泵、所述过滤装置、所述第二输送泵和所述第二检测装置。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的清洁设备，其特征在于，所述蒸镀腔室还包括第二出气口，所述第二出气口通过第三管道与所述第一输送泵的第二输入端连通；所述第二出气口与所述第一出气口相对设置。

10.根据权利要求9所述的清洁设备，其特征在于，所述进气口、所述第一出气口和所述第二出气口分别设置有真空阀。

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