CN216181770U - 一种输送管道和硅片切割装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种输送管道和硅片切割装置，涉及光伏技术领域，以解决输送管道的出液孔出液不均匀，影响切割后的硅片质量的问题。所述输送管道包括：进液管、分流管、第一导流管和至少一个第二导流管。沿着分流管的长度方向，贯穿分流管所具有的管壁开设有多个出液孔，出液孔均位于管壁同一侧的平面上。第一导流管的第一端与分流管连通，第一导流管的第二端与进液管连通。至少一个第二导流管的第一端与进液管连通，至少一个第二导流管的第二端与远离第一导流管并且靠近分流管末端的位置与分流管连通，或者直接与分流管末端连通。第二导流管用于使多个出液孔的出液量相等。本实用新型还提供了一种包括上述技术方案所述的输送管道的硅片切割装置。

Description

一种输送管道和硅片切割装置

技术领域

本实用新型涉及光伏技术领域，尤其涉及一种输送管道和硅片切割装置。

背景技术

在利用金刚线切割硅棒以获得硅片的过程中，需要利用切割液对金刚线进行冷却和润滑。

在实际使用过程中，切割液会经过过滤装置过滤以便于重复利用。但是，由于过滤装置过滤效果的增强，会导致过滤后的切割液从过滤装置中流出的流量减少，进而使进入输送管道(例如砂浆管)的过滤后的切割液的流量减少。基于此，上述输送管道的出液孔会出现出液不均匀的问题，影响切割后的硅片质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种输送管道和硅片切割装置，用于使输送管道的出液孔出液均匀，提高硅片的质量。

为了实现上述目的，第一方面，本实用新型提供了一种输送管道。该输送管道包括：进液管、分流管、至少一个第一导流管和至少一个第二导流管。沿着分流管的长度方向，贯穿分流管所具有的管壁开设有多个出液孔，出液孔均位于管壁同一侧的平面上。至少一个第一导流管的第一端与分流管连通，至少一个第一导流管的第二端与进液管连通。至少一个第二导流管的第一端与进液管连通，至少一个第二导流管的第二端与远离第一导流管并且靠近分流管末端的位置与分流管连通，或者至少一个第二导流管的第二端直接与分流管末端连通。第二导流管用于使多个出液孔的出液量相等。

与现有技术相比，本实用新型提供的输送管道中，由于至少一个第二导流管的第二端与远离第一导流管并且靠近分流管末端的位置与分流管连通，或者至少一个第二导流管的第二端直接与分流管末端连通。当通过进液管向第一导流管和第二导流管中同时通入液体时，第一导流管与分流管连通的位置，以及第二导流管靠近分流管末端并相连通的位置会先充满液体。接着，沿着远离第一导流管与分流管连通位置的方向，分流管中会逐渐充满液体。同时，沿着远离上述第二导流管靠近分流管末端位置的方向，分流管的其他位置也会逐渐充满液体。基于此，上述第二导流管可以辅助液体快速的充满分流管，以使分流管中各处的液体含量相等。此时，可以使分流管两端出液孔的出液量与中间出液孔的出液量大致相同。即可以使每个出液孔的出液量均大致相等，分流管的每个位置出液均匀，进而提高硅片的质量。进一步地，若分流管出现堵塞情况，通过第一导流管流入的液体不能充满分流管每个位置时，第二导流管可以辅助将液体送至分流管未充满液体的位置，进而使每个出液孔均有液体流出，并且每个出液孔的出液量均大致相等。即增大了输送装置的容错性。

在一种实现方式中，出液孔的大小相同或不相同。

采用上述技术方案的情况下，当出液孔的大小相同时，可以进一步确保通过出液孔流出的液体大致相等，分流管的每个位置出液均匀，进而提高硅片的质量。

当出液孔的大小不相同时，分流管上出液孔的大小可以根据实际情况进行设置，增加了出液孔大小的选择性，以使分流管适应不同的应用场景，扩大了输送管道的适用范围。

在一种实现方式中，至少一个第二导流管包括两个第二导流管，第一个第二导流管的第二端与远离第一导流管并且靠近分流管的第一末端的位置连通，或者第一个第二导流管的第二端直接与分流管的第一末端连通。第二个第二导流管的第二端与远离第一导流管并且靠近分流管的第二末端的位置连通，或者第二个第二导流管的第二端直接与分流管的第二末端连通。

采用上述技术方案的情况下，由于两个第二导流管分别与远离第一导流管并且靠近分流管末端的位置连通，或者直接与分流管的末端连通。此时，可以使通过进液管流入的液体更加快速的充满分流管，以缩短液体到达分流管不同位置的时间间隔。基于此，可以使每个出液孔的出液量均相等，分流管的每个位置出液均匀，进而提高硅片的质量。

在一种实现方式中，上述每一第二导流管和分流管均具有中心轴线的情况下，第一个第二导流管的中心轴线与分流管的中心轴线之间的夹角为A1，第二个第二导流管的中心轴线与分流管的中心轴线之间的夹角为A2，夹角A1与夹角A2的大小相等或不相等。

采用上述技术方案的情况下，当夹角A1与夹角A2的大小相等时，表示第一个第二导流管和第二个第二导流管对称设置。此时，不仅可以进一步加快液体充满分流管的速度，进一步缩短液体到达分流管不同位置的时间间隔，以使每个出液孔的出液量均相等，分流管的每个位置出液均匀。同时，还可以降低输送管道的设计和制作的流程，最大程度的保证每个出液孔的出液量均相等。

当夹角A1与夹角A2的大小不相等时，表示上述第一个第二导流管和第二个第二导流管的位置可以根据实际情况进行设置，增加了上述两个第二导流管设置位置的可选性。基于此，可以使输送管道适应不同的应用场景，扩大了输送管道的适用范围。

在一种实现方式中，至少一个第一导流管包括至少两个第一导流管，每一第一导流管的第一端均与分流管连通，每一第一导流管的第二端均与进液管连通，至少两个第一导流管间隔分布在分流管上。至少一个第二导流管包括至少三个第二导流管，沿着远离至少两个第一导流管的方向，至少三个第二导流管间隔分布在分流管上。

采用上述技术方案的情况下，通过增加与分流管连接的第一导流管和第二导流管的数量，可以使液体快速的充满分流管的不同位置，以进一步确保分流管两端出液孔的出液量与中间出液孔的出液量大致相同，进而使每个出液孔的出液量均大致相等，分流管的每个位置出液均匀，进而提高硅片的质量。

在一种实现方式中，输送管道还包括至少一个第一分液管和至少一个第二分液管。第一分液管的第一端与对应的第一导流管连通，第一分液管的第二端与分流管连通。第二分液管的第一端与对应的第二导流管连通，第二分液管的第二端与分流管连通。第一分液管、第二分液管、第一导流管和第二导流管间隔分布在分流管上。

采用上述技术方案的情况下，通过在第一导流管和第二导流管的侧边再设置一个或多个第一分液管和第二分液管，可以进一步使液体快速的充满分流管的不同位置，使每个出液孔的出液量均大致相等，分流管的每个位置出液均匀。

在一种实现方式中，至少一个第二导流管包括两个第二导流管，并且第一导流管的第一端与分流管的1/2处连通，第一个第二导流管的第二端与分流管的第一末端至分流管的1/4处的任一位置连通，第二个第二导流管的第二端与分流管的3/4处至分流管的第二末端中的任一位置连通。

采用上述技术方案的情况下，由于第一导流管的第一端与分流管的1/2处连通，此时，通过第一导流管的第一端进入分流管中的液体是从分流管的1/2处向两端逐渐扩散。基于此，分流管内液体的含量呈对称分布。

进一步地，由前文描述可知上述两个第二导流管可以对称设置在分流管的两端。此时，不仅可以加快液体充满分流管的速度，缩短液体到达分流管不同位置的时间间隔，使每个出液孔的出液量均相等，分流管的每个位置出液均匀。同时，由进液管进入第一导流管和第二导流管中的液体，可以分别从分流管的三个不同位置流入，并且由于第二导流管的流量不超过第一导流管的流量。基于此，当上述三不同个位置的液体向两端扩散时，充满分流管的时间基本一致或一致，即可以进一步缩短液体到达分流管不同位置的时间间隔，以使每个出液孔的出液量均相等，以及分流管的每个位置出液均匀，进一步提高硅片的质量。

在一种实现方式中，上述夹角A1与夹角A2的大小相等，并且0°＜A1＜90°。

采用上述技术方案的情况下，不仅更加有利于进液管中的液体流入第二导流管中，进而增加第二导流管中的液体流入分流管的量，以使通过第一导流管和第二导流管汇集到分流管中的液体充满分流管的时间基本一致或一致。同时，还有利于第二导流管中的液体平缓的流入分流管中，进而使液体均匀、平缓的向两端扩散。综上，可以进一步确保分流管的每个位置出液大致均匀。

在一种实现方式中，第一导流管的横截面积与第二导流管的横截面积之比为10:(1～10)。和/或，第一导流管或第二导流管上具有流量调节装置。

采用上述技术方案的情况下，一方面，可以避免当第二导流管的横截面积相较于第一导流管的横截面积小很多时，出现通过进液管进入第一导流管和第二导流管的液体流量过大，导致液体产生的压强增大，进而避免使横截面积较小的第二导流管中的液体出现流通不顺畅的情况，以确保分流管中各处液体含量保持一致。另一方面，可以避免当第二导流管的横截面积相较于第一导流管的横截面积大很多时，分流管与第二导流管连通的位置比其他未连通的位置先充满液体，进而确保分流管中各处充满液体的时间基本一致或一致，以确保分流管的每个位置出液均匀。

进一步地，由于第一导流管或第二导流管上具有流量调节装置，此时，第一导流管和第二导流管的横截面积可以根据实际情况进行设置，增加了第一导流管和第二导流管的选择性。基于此，可以使输送管道适应不同的应用场景，扩大了输送管道的适用范围。

在一种实现方式中，多个出液孔中正对或靠近第一导流管第一端的为第一出液孔，沿着远离第一出液孔的方向，相邻两个出液孔之间的间距逐渐减小。多个出液孔中正对或靠近第二导流管第二端的为第二出液孔，沿着远离第二出液孔的方向，相邻两个出液孔之间的间距逐渐减小。或，多个出液孔均匀分布在分流管所具有的管壁上。

采用上述技术方案的情况下，由于沿着远离第一出液孔的方向，相邻两个出液孔之间的间距逐渐减小。因此，沿着远离第一出液孔的方向，分流管上的出液孔逐渐密集，相对而言，靠近第一出液孔或者说靠近第一导流管第一端处的几个出液孔分布稀疏。进一步地，由于沿着远离第二出液孔的方向，相邻两个出液孔之间的间距逐渐减小。因此，沿着远离第二出液孔的方向，分流管上的出液孔逐渐密集，相对而言，靠近第二出液孔或者说靠近第二导流管第二端处的几个出液孔分布稀疏。又由于第二导流管具有为分流管补液的作用。因此，当液体通过第一导流管和第二导流管进入分流管时，即使有液体通过出液孔向外流出，但是由于靠近第一导流管第一端处的出液孔以及靠近第二导流管第二端处的出液孔相对稀疏。此时，通过上述出液孔流出的液体的量比较少。相对的，由于沿着远离第一出液孔和第二出液孔的方向，出液孔逐渐密集。此时，通过上述出液孔流出的液体的量会相对多一些。综上，通过上述稀疏、密集度不同的出液孔可以使分流管各个位置上的出液孔流出的液体的含量基本保持一致或一致，进而使分流管的每个位置出液大致均匀。

此外，相较于现有技术中采用单独的导流管(即第一导流管或第二导流管)配合改变出液孔的孔径大小的方式，即靠近第一导流管第一端处的出液孔或靠近第二导流管第二端处的出液孔的孔径较小，沿着远离上述位置出液孔的孔径逐渐变大。本实用新型采用至少一个第一导流管和至少一个第二导流管配合的方式，可以使分流管上的出液孔避免出现现有技术中较大孔径的出液孔流出的液体无法聚焦到切割位置，进而不能有效的对金刚线进行冷却和润滑的问题。

在一种实现方式中，上述输送管道还包括分流板。沿着分流板的长度方向，分流板上开设有多个大小相等的分流孔。沿着分流管的长度方向，分流板固定在分流管内。多个分流孔中正对或靠近第一导流管第一端的为第一分流孔，沿着远离第一分流孔的方向，相邻两个分流孔之间的间距逐渐减小。多个分流孔中正对或靠近第二导流管的第二端的为第二分流孔，沿着远离第二分流孔的方向，相邻两个分流孔之间的间距逐渐减小。

采用上述技术方案的情况下，由于沿着远离第一分流孔的方向，相邻两个分流孔之间的间距逐渐减小。因此，沿着远离第一分流孔的方向，分流板上的分流孔逐渐密集，相对而言，靠近第一分流孔或者说靠近第一导流管第一端处的几个分流孔分布稀疏。进一步地，由于沿着远离第二分流孔的方向，相邻两个分流孔之间的间距也逐渐减小。因此，沿着远离第二分流孔的方向，分流板上的分流孔逐渐密集，相对而言，靠近第二分流孔或者说靠近第二导流管第二端处的几个分流孔分布稀疏。又由于第二导流管具有为分流管补液的作用。因此，当液体通过第一导流管和第二导流管进入分流管时，即使有液体通过出液孔向外流出，但是由于靠近第一导流管第一端处的分流孔以及靠近第二导流管第二端处的分流孔相对稀疏。此时，通过上述分流孔和出液孔流出的液体的量比较少。相对的，由于沿着远离第一分流孔和第二分流孔的方向，分流板上的分流孔逐渐密集。此时，通过上述分流孔和出液孔流出的液体的量会相对多一些。综上，经过上述稀疏和密集处的分流孔的二次分流，可以使分流管各个位置上的出液孔流出的液体的含量基本保持一致或一致，进而使分流管的每个位置出液大致均匀。

在一种实现方式中，上述分流板与分流管所在水平面之间的夹角为B，0°＜B＜180°。

采用上述技术方案的情况下，可以确保当液体通过第一导流管和第二导流管进入分流管时，会先经过分流板的分流，之后才会通过出液孔流出。

在一种实现方式中，上述分流管具有相对的第一端口和第二端口，分流管自第一端口向第二端口贯通。输送管道还包括定位组件和悬臂组件。定位组件设置在第一端口时，悬臂组件设置在第二端口。或，定位组件设置在第二端口时，悬臂组件设置在第一端口。

采用上述技术方案的情况下，由于定位组件和悬臂组件设置在分流管上的位置可以随时更换，即定位组件和悬臂组件的位置互换性强。此时，不仅可以根据实际应用情况更换定位组件和悬臂组件的安装位置，以使输送管道适应不同的应用场景，进而扩大输送管道的适用范围。同时，还可以减少不同型号的输送管道的储备，减少库存量。应理解，上述不同型号的输送管道指代，定位组件和悬臂组件的安装位置固定不可随意更换的输送管道。

在一种实现方式中，上述定位组件包括紧固连接的定位件和第一固定件。第一固定件位于定位件的一面，第一固定件用于固定分流板的一端。悬臂组件包括紧固连接的悬臂件和第二固定件。第二固定件位于悬臂件的一面，第二固定件用于固定分流板的另一端。

采用上述技术方案的情况下，利用第一固定件和第二固定件可以进一步固定分流板，以确保设置在分流管内的分流板的稳定性，防止在实际使用过程中，分流板在液体的冲击下与分流管内壁的相对位置发生变化，以确保分流板正常工作，进而确保分流管的每个位置出液均匀。

在一种实现方式中，上述第一固定件和第二固定件均包括至少两个固定块，至少两个固定块之间具有固定槽，固定槽用于固定分流板。

采用上述技术方案的情况下，不仅可以避免损伤分流板的两端，同时组装方式简单易操作，可以提高工作效率。

在一种实现方式中，上述定位组件为一体式定位组件。和/或，悬臂组件为一体式悬臂组件。

采用上述技术方案的情况下，可以不需要对定位组件和/或悬臂组件再进行组装，以减小或消除组装时的误差，进而节省调整时间，提高工作效率。

第二方面，本实用新型还提供了一种硅片切割装置。该硅片切割装置包括上述技术方案所述的输送管道。

与现有技术相比，本实用新型提供的硅片切割装置的有益效果与上述技术方案所述输送管道的有益效果相同，此处不做赘述。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例中一种输送管道的部分结构示意图；

图2为本实用新型实施例中图1的第一视角的示意图；

图3为本实用新型实施例中图1的第二视角的示意图；

图4为本实用新型实施例中另一种输送管道的结构示意图；

图5为本实用新型实施例中分流板的结构示意图；

图6为本实用新型实施例中分流板与进液管的位置关系示意图；

图7为本实用新型实施例中定位组件的结构示意图；

图8为本实用新型实施例中悬臂组件的结构示意图。

附图标记：

1-分流管， 10-出液孔， 11-第一安装端， 12-第二安装端；

2-进液管， 30-第一导流管， 31-第二导流管；

32-第一分液管， 33-第二分液管；

4-分流板， 40-分流孔；

5-定位组件， 50-定位件， 51-第一固定件， 510-固定块；

6-悬臂组件， 60-悬臂件， 61-第二固定件。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

随着世界经济的不断发展，现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料，有着广泛的市场需求。在利用金刚线切割硅棒以获得硅片的过程中，需要利用切割液对金刚线进行冷却和润滑。

在实际使用过程中，切割液会经过过滤装置过滤以便于重复利用。为了提升过滤效果，在利用过滤装置过滤切割液时，通常会将过滤装置的过滤网密集化处理，即过滤网的网孔会减小。此时，可以有效的过滤出切割液中的硅泥浆等杂质。接着，过滤之后的切割液从过滤装置的出口流出进入输送管道(例如砂浆管)中以便于后续使用。但是，由于过滤装置过滤效果的增强，杂质会部分堵塞或全部堵塞网孔，进而导致过滤后的切割液从过滤装置中流出的流量减少，使进入输送管道的过滤后的切割液的流量减少。

现有技术中，当流入输送管道中的液体流量降低到100L/min后，输送管道的出液孔容易出现出液不均匀甚至部分地方断流等情况，影响切割后的硅片质量。

此外，由于在实际使用过程中，输送管道需要安装在应用设备上，并且安装后的两个输送管道呈镜像对称。具体的，当输送管道安装在应用设备上时，输送管道上的定位组件和悬臂组件分别对应固定在应用设备的安装位置处。由于上述定位组件和悬臂组件对应的应用设备上的安装位置不能变动，同时定位组件和悬臂组件对应的输送管道的连接位置也不能变动，进而导致一个输送管道只能用于一个固定方向、固定位置的安装。基于此，需要储存两种不同型号的输送管道，增大了库存量。

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种输送管道。上述输送管道可以用于流通切割液，当然也可以用于其它的液体。在本实用新型实施例中，液体以切割液为例，输送管道以砂浆管为例进行描述，应理解，以下描述仅用于理解，不用于具体限定。

参见图1和图2，该输送管道包括：分流管1、进液管2、至少一个第一导流管30和至少一个第二导流管31。沿着分流管1的长度方向，贯穿分流管1所具有的管壁开设有多个出液孔10，出液孔10均位于管壁同一侧的平面上。至少一个第一导流管30的第一端与分流管1连通，至少一个第一导流管30的第二端与进液管2连通。至少一个第二导流管31的第一端与进液管2连通，至少一个第二导流管31的第二端与远离第一导流管30并且靠近分流管1末端的位置与分流管1连通，或者至少一个第二导流管31的第二端直接与分流管1末端连通。第二导流管31用于使多个出液孔10的出液量相等。

上述分流管、进液管、第一导流管和第二导流管的长度、材质、出液孔的大小，以及相邻出液孔之间的间距均可以根据实际情况进行设置，在此不做具体限定。

参见图1和图2，本实用新型实施例提供的输送管道中，由于至少一个第二导流管31的第二端与远离第一导流管30并且靠近分流管1末端的位置与分流管1连通，或者至少一个第二导流管31的第二端直接与分流管1末端连通。当通过进液管2向第一导流管30和第二导流管31中同时通入液体时，第一导流管30与分流管1连通的位置，以及第二导流管31与靠近分流管1末端并相连通的位置会先充满液体。接着，沿着远离第一导流管30与分流管1连通位置的方向，分流管1中会逐渐充满液体。同时，沿着远离上述第二导流管31靠近分流管1末端位置的方向，分流管1的其他位置也会逐渐充满液体。基于此，上述第二导流管31可以辅助液体快速的充满分流管1，以使分流管1中各处的液体含量相等。此时，可以使分流管1两端出液孔10的出液量与中间出液孔10的出液量大致相同。即可以使每个出液孔10的出液量均大致相等，分流管1的每个位置出液大致均匀，进而提高硅片的质量。进一步地，若分流管1出现堵塞情况，通过第一导流管30流入的液体不能充满分流管1每个位置时，第二导流管31可以辅助将液体送至分流管1未充满液体的位置，进而使每个出液孔10均有液体流出，并且每个出液孔10的出液量均大致相等。即增大了输送装置的容错性。

作为一种可能的实现方式，出液孔的大小可以相同，也可以不相同。当出液孔的大小相同时，可以进一步确保通过出液孔流出的液体大致相等，分流管的每个位置出液均匀，进而提高硅片的质量。当出液孔的大小不相同时，分流管上出液孔的大小可以根据实际情况进行设置，增加了出液孔大小的选择性，以使分流管适应不同的应用场景，扩大了输送管道的适用范围。

示例性的，当出液孔的大小不相同时，与第一导流管和第二导流管正对，或者靠近第一导流管和第二导流管的出液孔较小，远离第一导流管和第二导流管的出液孔较大。此时，靠近或正对第一导流管和第二导流管的出液孔的出液量较少，远离第一导流管和第二导流管的出液孔的出液量较多，进而使每个出液孔的出液量均大致相等，分流管的每个位置出液均匀。

作为一种可能的实现方式，参见图1和图2，当至少一个第二导流管31包括两个第二导流管31时，第一个第二导流管31的第二端与远离第一导流管30并且靠近分流管1的第一末端的位置连通，或者第一个第二导流管31的第二端直接与分流管1的第一末端连通。第二个第二导流管31的第二端与远离第一导流管30并且靠近分流管1的第二末端的位置连通，或者第二个第二导流管31的第二端直接与分流管1的第二末端连通。具体的，由于两个第二导流管31分别与远离第一导流管30并且靠近分流管1末端的位置连通，或者直接与分流管1的末端连通。此时，可以使通过进液管2流入的液体更加快速的充满分流管1，以缩短液体到达分流管1不同位置的时间间隔。基于此，可以使每个出液孔10的出液量均相等，分流管1的每个位置出液均匀，进而提高硅片的质量。

在一种可选方式中，参见图1至图3，上述至少一个第二导流管31包括两个第二导流管31，并且第一导流管30的第一端与分流管1的1/2处连通。接着，第一个第二导流管31的第二端与分流管1的第一末端至分流管1的1/4处的任一位置连通，第二个第二导流管31的第二端与分流管1的3/4处至分流管1的第二末端中的任一位置连通。例如，第一个第二导流管31的第二端可以与分流管1的1/5处连通，第二个第二导流管31的第二端可以与分流管1的4/5处连通。

参见图1至图3，由于第一导流管30的第一端与分流管1的1/2处连通，此时，通过第一导流管30的第一端进入分流管1中的液体是从分流管1的1/2处向两端逐渐扩散。基于此，分流管1内液体的含量呈对称分布。进一步地，由前文描述可知上述两个第二导流管31可以对称设置在分流管1的两端。此时，不仅可以加快液体充满分流管1的速度，缩短液体到达分流管1不同位置的时间间隔，使每个出液孔10的出液量均相等，分流管1的每个位置出液均匀。同时，由进液管2进入第一导流管30和第二导流管31中的液体，可以分别从分流管1的三个不同位置流入，并且由于第二导流管31的流量不超过第一导流管30的流量。基于此，当上述三个不同位置的液体向两端扩散时，充满分流管1的时间基本一致或一致，即可以进一步缩短液体到达分流管1不同位置的时间间隔，以使每个出液孔10的出液量均相等，以及分流管1的每个位置出液均匀，进一步提高硅片的质量。

作为一种可能的实现方式，参见图1至图3，上述每一第二导流管31和分流管1均具有中心轴线的情况下，第一个第二导流管31的中心轴线与分流管1的中心轴线之间的夹角为A1，第二个第二导流管31的中心轴线与分流管1的中心轴线之间的夹角为A2，夹角A1与夹角A2的大小相等或不相等。

参见图1至图3，当夹角A1与夹角A2的大小相等时，表示第一个第二导流管31和第二个第二导流管31对称设置。此时，不仅可以进一步加快液体充满分流管1的速度，进一步缩短液体到达分流管1不同位置的时间间隔，以使每个出液孔10的出液量均相等，分流管1的每个位置出液均匀。同时，还可以降低输送管道的设计和制作的流程，最大程度的保证每个出液孔10的出液量均相等。

在一种实现方式中，参见图1至图3，当夹角A1与夹角A2的大小相等时，0°＜A1＜90°。例如，A1可以是5°、17°、18.5°或90°。此时，不仅更加有利于进液管2中的液体流入第二导流管31中，进而增加第二导流管31中的液体流入分流管1的量，以使通过第一导流管30和第二导流管31汇集到分流管1中的液体充满分流管1的时间基本一致或一致。同时，还有利于第二导流管31中的液体平缓的流入分流管1中，进而使液体均匀、平缓的向两端扩散。综上，可以进一步确保分流管1的每个位置出液均匀。

在一种示例中，参见图1至图3，上述分流管1的长度可以是721mm。此时，第一个第二导流管31的第二端和第二个第二导流管31的第二端分别设置在距离分流管1端面151mm至152mm处。第一个第二导流管31的第一端和第二个第二导流管31的第一端设置在进液管2上后，第一端与分流管1的中心轴线之间的垂直距离为68mm至69mm。例如，第一个第二导流管31的第二端和第二个第二导流管31的第二端可以分别设置在距离分流管1端面151.54mm处。第一个第二导流管31的第一端和第二个第二导流管31的第一端与分流管1的中心轴线之间的垂直距离为68.12mm。此时，夹角A1与夹角A2的大小均为17.43°。此外，上述分流管1所具有的管壁开设的69个出液孔10，上述出液孔10的直径均为3mm，相邻两个出液孔10之间的间距为10mm。

当夹角A1与夹角A2的大小不相等时，表示上述第一个第二导流管和第二个第二导流管的位置可以根据实际情况进行设置，增加了上述两个第二导流管设置位置的可选性。基于此，可以使输送管道适应不同的应用场景，扩大了输送管道的适用范围。

作为一种可能的实现方式，至少一个第一导流管包括至少两个第一导流管，每一第一导流管的第一端均与分流管连通，每一第一导流管的第二端均与进液管连通，至少两个第一导流管间隔分布在分流管上。至少一个第二导流管包括至少三个第二导流管，沿着远离至少两个第一导流管的方向，至少三个第二导流管间隔分布在分流管的上。通过增加与分流管连接的第一导流管和第二导流管的数量，可以使液体快速的充满分流管的不同位置，以进一步确保分流管两端出液孔的出液量与中间出液孔的出液量大致相同，进而使每个出液孔的出液量均大致相等，分流管的每个位置出液均匀，进而提高硅片的质量。

示例性的，上述输送管道可以包括两个第一导流管和三个第二导流管，上述两个第一导流管和三个第二导流管一端与进液管连通，另一端与分流管的不同位置连通。当然，上述第一导流管和第二导流管的数量可以根据实际情况进行设置，在此不做具体限定。

作为另一种可能的实现方式，输送管道还可以包括至少一个第一分液管和至少一个第二分液管。第一分液管的第一端与对应的第一导流管连通，第一分液管的第二端与分流管连通。第二分液管的第一端与对应的第二导流管连通，第二分液管的第二端与分流管连通。第一分液管、第二分液管、第一导流管和第二导流管间隔分布在分流管上。通过在第一导流管和第二导流管的侧边再设置第一分液管和第二分液管，可以进一步使液体快速的充满分流管的不同位置，使每个出液孔的出液量均大致相等，分流管的每个位置出液均匀。

示例性的，参见图4，当输送管道包括一个第一导流管30和两个第二导流管31时，上述第一导流管30的一侧还可以设置一个第一分液管32，每个第二导流管31的两侧还分别设置有一个第二分液管33。即，上述输送管道还可以包括一个第一分液管32和四个第二分液管33。至于第一分液管32的横截面积和第二分液管33的横截面积可以根据实际情况进行设置，在此不做具体限定。

再在一种示例中，上述输送管道还可以包括两个第一导流管和三个第二导流管，每一个第一导流管两侧还可以分别设置有一个第一分液管，每个第二导流管的两侧还分别设置有一个第二分液管。上述第一分液管、第二分液管、第一导流管和第二导流管间隔分布在分流管上。应理解，上述“间隔分布”可以是等间隔分布，也可以是不等间隔分布，在此不做具体限定。

作为一种可能的实现方式，第一导流管的横截面积与第二导流管的横截面积之比为10:(1～10)。示例性的，上述分流管的横截面可以为圆环形，第二导流管的横截面也可以为圆环形时，分流管的内径与第二导流管的内径之比为10:(1～10)。和/或，第一导流管或第二导流管上具有流量调节装置。

此时，一方面，可以避免当第二导流管的横截面积相较于第一导流管的横截面积小很多时，出现通过进液管进入第一导流管和第二导流管的液体流量过大，导致液体产生的压强增大，进而避免使横截面积较小的第二导流管中的液体出现流通不顺畅的情况，以确保分流管中各处液体含量保持一致。另一方面，可以避免当第二导流管的横截面积相较于第一导流管的横截面积大很多时，分流管与第二导流管连通的位置比其他未连通的位置先充满液体，进而确保分流管中各处充满液体的时间基本一致或一致，以确保分流管的每个位置出液均匀。在本实用新型实施例中，上述分流管的内径可以是24mm，第二导流管的内径可以是14mm。进一步地，由于第一导流管或第二导流管上具有流量调节装置，此时，第一导流管和第二导流管的横截面积可以根据实际情况进行设置，增加了第一导流管和第二导流管的选择性。基于此，可以使输送管道适应不同的应用场景，扩大了输送管道的适用范围。

上述分流管所具有的管壁开设的出液孔的分布规律有多种，下面以可能的两种实现方式为例进行描述，应理解，以下描述仅用于理解，不用于具体限定。

示例一，多个出液孔中正对或靠近第一导流管第一端的为第一出液孔，沿着远离第一出液孔的方向，相邻两个出液孔之间的间距逐渐减小。多个出液孔中正对或靠近第二导流管第二端的为第二出液孔，沿着远离第二出液孔的方向，相邻两个出液孔之间的间距逐渐减小。

此时，由于沿着远离第一出液孔的方向，相邻两个出液孔之间的间距逐渐减小。因此，沿着远离第一出液孔的方向，分流管上的出液孔逐渐密集，相对而言，靠近第一出液孔或者说靠近第一导流管第一端处的几个出液孔分布稀疏。进一步地，由于沿着远离第二出液孔的方向，相邻两个出液孔之间的间距逐渐减小。因此，沿着远离第二出液孔的方向，分流管上的出液孔逐渐密集，相对而言，靠近第二出液孔或者说靠近第二导流管第二端处的几个出液孔分布稀疏。又由于第二导流管具有为分流管补液的作用。因此，当液体通过第一导流管和第二导流管进入分流管时，即使有液体通过出液孔向外流出，但是由于靠近第一导流管第一端处的出液孔以及靠近第二导流管第二端处的出液孔相对稀疏。此时，通过上述出液孔流出的液体的量比较少。相对的，由于沿着远离第一出液孔和第二出液孔的方向，出液孔逐渐密集。此时，通过上述出液孔流出的液体的量会相对多一些。综上，通过上述稀疏、密集度不同的出液孔可以使分流管各个位置上的出液孔流出的液体的含量基本保持一致或一致，进而使分流管的每个位置出液大致均匀。

此外，相较于现有技术中采用单独的导流管(即第一导流管或第二导流管)配合改变出液孔的孔径大小的方式，即靠近第一导流管第一端处的出液孔或靠近第二导流管第二端处的出液孔的孔径较小，沿着远离上述位置出液孔的孔径逐渐变大。本实用新型采用至少一个第一导流管和至少一个第二导流管配合的方式，可以使分流管上的出液孔避免出现现有技术中较大孔径的出液孔流出的液体无法聚焦到切割位置，进而不能有效的对金刚线进行冷却和润滑的问题。

示例二，上述多个出液孔均匀分布在分流管所具有的管壁上。

作为一种可能的实现方式，参见图1至图5，上述输送管道还可以包括分流板4。沿着分流板4的长度方向，分流板4上开设有多个大小相等的分流孔40。沿着分流管1的长度方向，分流板4固定在分流管1内。多个分流孔40中正对或靠近第一导流管30第一端的为第一分流孔，沿着远离第一分流孔的方向，相邻两个分流孔40之间的间距逐渐减小。多个分流孔40中正对或靠近第二导流管31第二端的为第二分流孔，沿着远离第二分流孔的方向，相邻两个分流孔40之间的间距逐渐减小。

参见图1至图5，由于沿着远离第一分流孔的方向，相邻两个分流孔40之间的间距逐渐减小。因此，沿着远离第一分流孔的方向，分流板4上的分流孔40逐渐密集，相对而言，靠近第一分流孔或者说靠近第一导流管30第一端处的几个分流孔40分布稀疏。进一步地，由于沿着远离第二分流孔的方向，相邻两个分流孔40之间的间距也逐渐减小。因此，沿着远离第二分流孔的方向，分流板4上的分流孔40逐渐密集，相对而言，靠近第二分流孔或者说靠近第二导流管31的第二端处的几个分流孔40分布稀疏。又由于第二导流管31具有为分流管1补液的作用。因此，当液体通过第一导流管30和第二导流管31进入分流管1时，即使有液体通过出液孔10向外流出，但是由于靠近第一导流管30第一端处的分流孔40以及靠近第二导流管31的第二端处的分流孔40相对稀疏。此时，通过上述分流孔40和出液孔10流出的液体的量比较少。相对的，由于沿着远离第一分流和第二分流孔的方向，分流板4上的分流孔40逐渐密集。此时，通过上述分流孔40和出液孔10流出的液体的量会相对多一些。综上，经过上述稀疏和密集处的分流孔40的二次分流，可以使分流管1各个位置上的出液孔10流出的液体的含量基本保持一致或一致，进而使分流管1的每个位置出液大致均匀。

进一步地，现有技术中，分流板上的分流孔采用的是单独的导流管配合渐变孔径(即靠近第一导流管第一端的分流孔的直径较小，远离第一导流管第一端的分流孔的直径较大)的方式。但是，上述渐变孔径的方式，会使出液孔的出液均匀性随着液体流量大小的变化而变化，即无法在任意液体流量下均保证出液孔的出液均匀性。但是，本实用新型实施例提供的分流板受液体流量的影响较小或不受液体流量的影响。

在本实用新型实施例中，上述分流管的长度可以是721mm，分流板的长度可以是718mm。

参见图5，在本实用新型实施例中，上述分流板4上开设有51个分流孔40，分流孔的直径也为3mm。为了便于理解，将上述51个分流孔40按照坐标的方式进行表示，位于51个分流孔40中最中间的分流孔40的坐标定义为(0，0)。下面展示了位于坐标系正半轴的分流孔40的坐标。

表1位于坐标系正半轴的分流孔的坐标。

在一种可选方式中，参见图6，上述分流板4与分流管所在水平面之间的夹角为B，0°＜B＜180°。应理解，上述夹角B的大小与分流板4和进液管2的相对位置有关系。当夹角B的大小一定时，通过调整分流板4和进液管2的相对位置，以使液体通过第一导流管和第二导流管进入分流管时，先经过分流板4的分流，之后再通过出液孔流出。示例性的，上述夹角B可以是30°、45°、90°、130°或170°。在本实用新型实施例中，上述分流板4与分流管所在水平面之间的夹角B为45°。

作为一种可能的实现方式，参见图1、图2、图7和图8，上述分流管1具有相对的第一端口和第二端口，分流管1自第一端口向第二端口贯通。上述输送管道还可以包括定位组件5和悬臂组件6。定位组件5设置在第一端口时，悬臂组件6设置在第二端口。或，定位组件5设置在第二端口时，悬臂组件6设置在第一端口。

参见图1、图2、图7和图8，具体的，由于定位组件5和悬臂组件6设置在分流管1上的位置可以随时更换，即定位组件5和悬臂组件6的位置互换性强。此时，不仅可以根据实际应用情况更换定位组件5和悬臂组件6的安装位置，以使输送管道适应不同的应用场景，进而扩大输送管道的适用范围。同时，还可以减少不同型号的输送管道的储备，减少库存量。应理解，上述不同型号的输送管道指代，定位组件5和悬臂组件6的安装位置固定不可随意更换的输送管道。

参见图1、图2、图7和图8，上述定位组件5和悬臂组件6与分流管1紧固连接的方式多种多样，例如，可以是螺栓连接、卡接或粘结等。在本实用新型实施例中，定位组件5和悬臂组件6均采用螺栓的方式与分流管1紧固连接，并且螺栓的孔位一致，以便于后期定位组件5和悬臂组件6更换位置。例如，定位组件5可以与第一安装端11螺栓连接，悬臂组件6可以与第二安装端12螺栓连接。

在一种可选方式中，参见图1、图2、图7和图8，上述定位组件5可以包括紧固连接的定位件50和第一固定件51。第一固定件51位于定位件50的一面，第一固定件51用于固定分流板4的一端。悬臂组件6包括紧固连接的悬臂件60和第二固定件61。第二固定件61位于悬臂件60的一面，第二固定件61用于固定分流板4的另一端。此时，利用第一固定件51和第二固定件61可以进一步固定分流板4，以确保设置在分流管1内的分流板4的稳定性，防止在实际使用过程中，分流板4在液体的冲击下与分流管内壁的相对位置发生变化，以确保分流板4正常工作，进而确保分流管1的每个位置出液均匀。上述定位件50和悬臂件60的具体结构根据实际应用设备的安装位置进行设置。

在一种可选方式中，参见图1、图2、图7和图8，上述第一固定件51和第二固定件61均可以包括至少两个固定块510，至少两个固定块510之间具有固定槽，固定槽用于固定分流板。此时，不仅可以避免损伤分流板的两端，同时组装方式简单易操作，可以提高工作效率。

上述第一固定件和第二固定件的结构相同，下面以第一固定件的组成结构为例进行描述。应理解，以下描述仅用于理解，不用于具体限定。

参见图7和图8，在本实用新型实施例中，上述第一固定件51包括四个固定块510，四个固定块510大小相等、形状相同，均为扇形固定块。四个固定块510间隔设置在定位件50的同一面上，形成一个横截面为圆形的结构，并且四个固定块510之间形成有一个十字型槽。上述十字型槽用于固定分流板的一端。应理解，上述第一固定件51也可以是由一个圆柱形的固定块510分割形成的四个扇形的固定块510组成的，在分割圆柱形的固定块510的过程中，在固定块510中间的内壁上铣有一个十字型槽。

在一种可选方式中，参见图7和图8，上述定位组件5为一体式定位组件。和/或，悬臂组件6为一体式悬臂组件。即，仅是上述定位组件5为一体式定位组件。或者，仅是悬臂组件6为一体式悬臂组件。或者，不仅定位组件5为一体式定位组件，同时悬臂组件6也为一体式悬臂组件。基于此，可以不需要对定位组件5和/或悬臂组件6再进行组装，以减小或消除组装时的误差，进而节省调整时间，提高工作效率。

本实用新型实施例还提供了一种硅片切割装置。该硅片切割装置包括上述技术方案所述的输送管道。

本实用新型实施例提供的硅片切割装置的有益效果与上述技术方案所述输送管道的有益效果相同，此处不做赘述。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (12)

1.一种输送管道，其特征在于，包括：进液管、分流管、至少一个第一导流管和至少一个第二导流管；

沿着所述分流管的长度方向，贯穿所述分流管所具有的管壁开设有多个出液孔，所述出液孔均位于所述管壁同一侧的平面上；

至少一个所述第一导流管的第一端与所述分流管连通，至少一个所述第一导流管的第二端与所述进液管连通；

至少一个所述第二导流管的第一端与所述进液管连通，至少一个所述第二导流管的第二端与远离所述第一导流管并且靠近所述分流管末端的位置与所述分流管连通，或者至少一个所述第二导流管的第二端直接与所述分流管末端连通；所述第二导流管用于使多个所述出液孔的出液量相等。

2.根据权利要求1所述的输送管道，其特征在于，所述出液孔的大小相同或不相同。

3.根据权利要求1所述的输送管道，其特征在于，至少一个所述第二导流管包括两个第二导流管，第一个所述第二导流管的第二端与远离所述第一导流管并且靠近所述分流管的第一末端的位置连通，或者第一个所述第二导流管的第二端直接与所述分流管的第一末端连通；第二个所述第二导流管的第二端与远离所述第一导流管并且靠近所述分流管的第二末端的位置连通，或者第二个所述第二导流管的第二端直接与所述分流管的第二末端连通；和/或，

每一所述第二导流管和所述分流管均具有中心轴线的情况下，第一个所述第二导流管的中心轴线与所述分流管的中心轴线之间的夹角为A1，第二个所述第二导流管的中心轴线与所述分流管的中心轴线之间的夹角为A2，所述夹角A1与所述夹角A2的大小相等或不相等。

4.根据权利要求1所述的输送管道，其特征在于，至少一个所述第一导流管包括至少两个所述第一导流管，每一所述第一导流管的第一端均与所述分流管连通，每一所述第一导流管的第二端均与所述进液管连通，至少两个所述第一导流管间隔分布在所述分流管上；至少一个所述第二导流管包括至少三个所述第二导流管，沿着远离至少两个所述第一导流管的方向，至少三个所述第二导流管间隔分布在所述分流管上；和/或，

所述输送管道还包括至少一个第一分液管和至少一个第二分液管；所述第一分液管的第一端与对应的所述第一导流管连通，所述第一分液管的第二端与所述分流管连通，所述第二分液管的第一端与对应的所述第二导流管连通，所述第二分液管的第二端与所述分流管连通；所述第一分液管、第二分液管、第一导流管和第二导流管间隔分布在所述分流管上。

5.根据权利要求3所述的输送管道，其特征在于，至少一个所述第二导流管包括两个第二导流管，并且所述第一导流管的第一端与所述分流管的1/2处连通，第一个所述第二导流管的第二端与所述分流管的第一末端至所述分流管的1/4处的任一位置连通，第二个所述第二导流管的第二端与所述分流管的3/4处至所述分流管的第二末端中的任一位置连通；和/或，

所述夹角A1与所述夹角A2的大小相等，并且0°＜A1＜90°。

6.根据权利要求1所述的输送管道，其特征在于，所述第一导流管的横截面积与所述第二导流管的横截面积之比为10:(1～10)；和/或，所述第一导流管或所述第二导流管上具有流量调节装置。

7.根据权利要求1所述的输送管道，其特征在于，多个所述出液孔中正对或靠近所述第一导流管第一端的为第一出液孔，沿着远离所述第一出液孔的方向，相邻两个所述出液孔之间的间距逐渐减小；多个所述出液孔中正对或靠近所述第二导流管第二端的为第二出液孔，沿着远离所述第二出液孔的方向，相邻两个所述出液孔之间的间距逐渐减小；或，

多个所述出液孔均匀分布在所述分流管所具有的管壁上。

8.根据权利要求1所述的输送管道，其特征在于，所述输送管道还包括分流板；沿着所述分流板的长度方向，所述分流板上开设有多个大小相等的分流孔；沿着所述分流管的长度方向，所述分流板固定在所述分流管内；多个所述分流孔中正对或靠近所述第一导流管第一端的为第一分流孔，沿着远离所述第一分流孔的方向，相邻两个所述分流孔之间的间距逐渐减小；多个所述分流孔中正对或靠近所述第二导流管第二端的为第二分流孔，沿着远离所述第二分流孔的方向，相邻两个所述分流孔之间的间距逐渐减小；和/或，

所述分流板与所述分流管所在水平面之间的夹角为B，0°＜B＜180°。

9.根据权利要求8所述的输送管道，其特征在于，所述分流管具有相对的第一端口和第二端口，所述分流管自所述第一端口向所述第二端口贯通；

所述输送管道还包括定位组件和悬臂组件；

所述定位组件设置在所述第一端口时，所述悬臂组件设置在所述第二端口；或，所述定位组件设置在所述第二端口时，所述悬臂组件设置在所述第一端口。

10.根据权利要求9所述的输送管道，其特征在于，所述定位组件包括紧固连接的定位件和第一固定件；所述第一固定件位于所述定位件的一面，所述第一固定件用于固定所述分流板的一端；

所述悬臂组件包括紧固连接的悬臂件和第二固定件；所述第二固定件位于所述悬臂件的一面，所述第二固定件用于固定所述分流板的另一端；

所述第一固定件和所述第二固定件均包括至少两个固定块，至少两个所述固定块之间具有固定槽，所述固定槽用于固定所述分流板。

11.根据权利要求9或10所述的输送管道，其特征在于，所述定位组件为一体式定位组件；和/或，所述悬臂组件为一体式悬臂组件。

12.一种硅片切割装置，其特征在于，包括权利要求1至11任一项所述的输送管道。

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