CN216161732U - 一种微波器件封装结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种微波器件封装结构,包括陶瓷基板、微波集成电路(MMIC)芯片、金属引线、键合焊盘和盖板,盖板和陶瓷基板焊接形成气密空腔,所述MMIC芯片贴装在气密空腔陶瓷基板上,芯片四周的陶瓷基板设置有电镀铜通孔,电镀铜通孔上连接键合焊盘,所述键合焊盘厚度与贴装后芯片的高度相同,芯片和键合焊盘采用引线互连。本实用新型结构可以缩短芯片与键合焊盘间的引线长度,提高MMIC器件性能,解决MMIC器件高效散热、高频输出、气密保护等封装难题,所述封装结构可采用三维陶瓷基板制备技术,工艺成本低。
Description
技术领域
本实用新型属于微电子封装相关技术领域,更具体地,涉及一种微波器件封装结构。
背景技术
随着5G通信、自动驾驶和其他消费电子产品的快速发展,人们对信号传输速率的要求也越来越高,GHz以下的窄带宽已很难满足未来消费者对移动通信带宽的迫切需求。微波频段由于能够提供更大的通信带宽和更加丰富的频谱资源,已经成为未来互联时代的关键技术。微波通信系统中最重要的组成部分是微波前端收发组件(T/R),它主要完成微波信号的接收和发射功能。随着技术发展,T/R组件功能可以通过单片微波集成电路 (MMIC,Monolithic Microwave Integrated Circuit)来实现,由于MMIC衬底材料(如GaN、GaAs、InP等)禁带宽度宽、工作温度范围大、微波传输性能好,所以MMIC具有电路损耗小、噪声低、频带宽、动态范围大、功率大、附加效率高、抗电磁辐射能力强等特点,广泛应用于卫星通信、移动通信、相控阵雷达、战术导弹等领域。
典型的MMIC器件封装结构如图1所示,MMIC芯片一般采用焊料或导电胶贴装在基板上,并通过引线键合实现电互连。技术要求如下:1)由于 MMIC芯片发热量大,因此封装基板一般选用导热性能良好的陶瓷基板,例如氮化铝基板,并且在陶瓷基板内置金属通孔,实现电互连,同时提高基板散热性能;2)由于MMIC对于静电较为敏感,为了避免运输、储存、使用过程中静电损伤的危险,MMIC封装一般采用含腔体结构的气密/准封装技术;3)由于MMIC器件工作频率高(一般可从1GHz到100GHz),必须降低微波信号的引出损耗。从图1可以看出,MMIC封装主要采用引线键合(Wire Bonding)实现电互连,由于引线在微波频段等效为一较大的电感,串联于射频前端芯片的输入/输出端,导致微波射频前端芯片的输入/ 输出端阻抗不匹配,且频率越高,引线长度越长,则阻抗越大,引线过长会严重影响射频芯片的电性能。
为此,业内提出了制备含多层结构的陶瓷基板,从而缩短引线长度,降低阻抗,同时保持了MMIC芯片与盖板间距,提高了MMIC器件性能,如图2,但是多层陶瓷基板制备提高了封装成本,工艺复杂。
实用新型内容
针对现有技术的以上缺陷或改进需求,本实用新型提供了一种微波器件封装结构,采用图形电镀技术,局部增加引线键合区的焊盘高端,从而降低引线长度和封装成本,同时解决MMIC器件高效散热、高频输出、气密保护等封装难题。
具体而言,本实用新型提供了一种微波器件封装结构,包括陶瓷基板、 MMIC芯片、金属引线、键合焊盘和盖板,盖板和陶瓷基板间焊接形成气密空腔。所述MMIC芯片贴装在气密空腔内的陶瓷基板上,芯片四周的陶瓷基板内设置有电镀铜通孔,电镀铜通孔上连接键合焊盘,所述键合焊盘厚度与贴装后芯片的高度相同,芯片和键合焊盘采用金属引线实现电互连。
优选地,所述MMIC芯片采用焊料或者导电胶贴装在陶瓷基板上。
优选地,所述MMIC芯片正下方的陶瓷基板内置有金属通孔,实现电互连,同时提高基板散热性能。
优选地,所述陶瓷基板材料为氮化铝、氧化铝或氮化硅等。
优选地,所述键合焊盘采用图形电镀技术来增加厚度。
优选地,所述电镀铜通孔外接输入/输出焊盘(I/O)。
本实用新型结构可以缩短芯片与焊盘间的金属引线长度,提高MMIC 器件性能,解决MMIC器件高效散热、高频输出、气密保护等封装难题,更重要的是该封装结构可采用电镀陶瓷基板(DPC)制备技术,工艺成本低。具体而言,本实用新型采用图形电镀技术,局部增加引线键合区的焊盘高端,从而降低引线长度和封装成本,提高微波器件性能。
附图说明
图1为现有典型的MMIC器件封装结构。
图2为采用多层陶瓷基板结构的MMIC器件封装结构。
图3为改进的MMIC器件封装结构。
其中1-盖板,2-金属引线,3-MMIC芯片,4-键合焊盘,5-电镀铜通孔, 6-陶瓷基板,7-输入/输出焊盘。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式,对本实用新型作进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
本实用新型提供了一种微波器件封装结构,包括陶瓷基板(6)、MMIC 芯片(3)、金属引线(2)、键合焊盘(4)和盖板(1),盖板(1)和陶瓷基板(6)焊接形成气密空腔。所述MMIC芯片(3)贴装在气密空腔内的陶瓷基板上,芯片四周的陶瓷基板内设置有电镀铜通孔(5),电镀铜通孔上连接键合焊盘(4),所述键合焊盘(4)厚度与贴装后芯片的高度相同,芯片和键合焊盘采用金属引线实现电互连。
优选地,所述MMIC芯片采用焊料或者导电胶贴装在陶瓷基板上。
优选地,所述MMIC芯片正下方的陶瓷基板内置有金属微通孔,实现电互连,同时提高基板散热性能。
优选地,所述陶瓷基板材料为氮化铝、氧化铝或氮化硅等。
优选地,所述键合焊盘采用图形电镀技术来增加厚度。
优选地,所述电镀铜通孔外接输入/输出焊盘(7)。
本实用新型结构可以缩短芯片与键合焊盘间的引线长度,提高MMIC 器件性能,解决MMIC器件高效散热、高频输出、气密保护等封装难题,更重要地是该封装结构可采用电镀陶瓷基板制备技术,工艺成本低。
本实用新型采用图形电镀技术,局部增加引线键合区的焊盘高端,从而降低引线长度和封装成本,提高微波器件性能。
以上实施例仅用于说明本实用新型的技术方案,并非对本实用新型保护范围的限制,本领域普通技术人员应当理解,任何对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换,均属于本实用新型技术方案的实质保护范围。
Claims (6)
1.一种微波器件封装结构,其特征在于:包括陶瓷基板、MMIC芯片、金属引线、键合焊盘和盖板,盖板和陶瓷基板间焊接形成气密空腔,所述MMIC芯片贴装在气密空腔内的陶瓷基板上,MMIC芯片四周的陶瓷基板上设置电镀铜通孔,电镀铜通孔在空腔内连接键合焊盘,所述键合焊盘厚度与贴装后芯片的高度相同,MMIC芯片和键合焊盘间采用金属引线互连。
2.如权利要求1所述的微波器件封装结构,其特征在于:所述MMIC芯片采用焊料或者导电胶贴装在陶瓷基板上。
3.如权利要求1或2所述的微波器件封装结构,其特征在于:所述MMIC芯片正下方的陶瓷基板内置有金属通孔,实现电互连,同时提高散热性能。
4.如权利要求1或2所述的微波器件封装结构,其特征在于:所述陶瓷基板材料为氧化铝、氮化铝或氮化硅。
5.如权利要求1或2所述的微波器件封装结构,其特征在于:所述键合焊盘采用图形电镀技术制备。
6.如权利要求1或2所述的微波器件封装结构,其特征在于:所述电镀铜通孔外接输入/输出焊盘。
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