CN216156009U - 一种防止拉晶界面气流波动的导流筒 - Google Patents
一种防止拉晶界面气流波动的导流筒 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种防止拉晶界面气流波动的导流筒,包括导流筒本体(1),其内壁包括相连的垂直段(11)和坡面段(12),坡面段(12)的内径由上至下逐渐减小,且其下端向内折弯形成平直段(13),平直段(13)设为导流筒本体(1)的底部,且其上设有一个通孔(1a);平直段(13)的宽度L小于10mm,且坡面段(12)与平直段(13)之间设有圆弧状的倒角(2)。本实用新型的优点是使气流能够快速流通,不存在涡流和液面抖动情况,生长界面平稳,头部成晶有明显改善。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏制造技术领域,尤其涉及一种防止拉晶界面气流波动的导流筒。
背景技术
单晶生产与热场设计有主要关系,导流筒又称热屏,在拉晶过程中起热屏蔽作用,同时中部导流作用,炉内氩气经顶部吹下,经过导流筒中部从底部液面位置流出,经底部排气孔排出。
目前,主流设计导流筒底部为平底,拉晶过程中,导流筒底部距离溶硅界面距离较近,气流流通对平稳的生长界面造成波动,平底导流筒底部液面距离导流筒下口距离固定,横向空间路径较长,气流横向流动过程中,局部会存在小涡流,造成液面波动。
实用新型内容
本实用新型目的就是为了解决现有导流筒易造成气流波动的问题,提供了一种防止拉晶界面气流波动的导流筒,使气流能够快速流通,不存在涡流和液面抖动情况,生长界面平稳,头部成晶有明显改善。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种防止拉晶界面气流波动的导流筒,包括导流筒本体,导流筒本体的内壁包括相连的垂直段和坡面段,坡面段的内径由上至下逐渐减小,且其下端向内折弯形成平直段,平直段设为导流筒本体的底部,且其上设有一个通孔,以用于生长晶棒穿过;
平直段的宽度L小于10mm,且坡面段与平直段之间设有圆弧状的倒角,以便于加快气流流通、保证生长界面气流平稳。
进一步地,所述倒角为半径大于10mm的圆角。
进一步地,所述垂直段和坡面段之间采用圆滑过渡连接。
进一步地,所述通孔的中心与导流筒本体的轴线重合。
进一步地,所述坡面段的倾角为30°~40°。
与现有技术相比,本实用新型的优点具体在于:
(1)导流筒底部设计成>R10的圆角,减小底部外口到内口的横向距离,当横向距离小,气流经过圆角位置时纵向空间变大,可加快气流流通股,生长界面气流平稳,氩气吹扫对液面的负作用明显减少;
(2)底部结构设计成圆角结构,横向尺寸减少,有效解决气流路径长和局部涡流对界面造成波动,稳定的生长界面,更有利于单晶生长。
附图说明
图1为本实用新型的防止拉晶界面气流波动的导流筒结构示意图;
图2为本实用新型的导流筒在坩埚硅液面上的装配示意图。
具体实施方式
实施例1
为使本实用新型更加清楚明白,下面结合附图对本实用新型的一种防止拉晶界面气流波动的导流筒进一步说明,此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
参见图1,一种防止拉晶界面气流波动的导流筒,包括导流筒本体1,其特征在于;
导流筒本体1的内壁包括相连的垂直段11和坡面段12,垂直段11和坡面段12之间采用圆滑过渡连接;
参见图1和图2,坡面段12的内径由上至下逐渐减小,且其下端向内折弯形成平直段13,平直段13设为导流筒本体1的底部,且其上设有一个通孔1a,通孔1a的中心与导流筒本体1的轴线重合,以用于生长晶棒穿过;
平直段13的宽度L小于10mm,且坡面段12与平直段13之间设有圆弧状的倒角2,倒角2为半径大于10mm的圆角,以便于加快气流流通、保证生长界面气流平稳。
本实施例中,坡面段的倾角为35°,导流筒底部设计成>R10的圆角,减小底部外口到内口的横向距离,当横向距离小,气流经过圆角位置时纵向空间变大,可加快气流流通股,生长界面气流平稳,氩气吹扫对液面的负作用明显减少;本实用新型的圆角设计有效解决气流路径长和局部涡流对界面造成波动,稳定的生长界面,更有利于单晶生长。
除上述实施例外,本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案,均落在本实用新型要求的保护范围。
Claims (5)
1.一种防止拉晶界面气流波动的导流筒,包括导流筒本体(1),其特征在于:
导流筒本体(1)的内壁包括相连的垂直段(11)和坡面段(12),坡面段(12)的内径由上至下逐渐减小,且其下端向内折弯形成平直段(13),平直段(13)设为导流筒本体(1)的底部,且其上设有一个通孔(1a);
平直段(13)的宽度L小于10mm,且坡面段(12)与平直段(13)之间设有圆弧状的倒角(2)。
2.根据权利要求1所述的防止拉晶界面气流波动的导流筒,其特征在于:
所述倒角(2)为半径大于10mm的圆角。
3.根据权利要求1或2所述的防止拉晶界面气流波动的导流筒,其特征在于:
所述垂直段(11)和坡面段(12)之间采用圆滑过渡连接。
4.根据权利要求1或2所述的防止拉晶界面气流波动的导流筒,其特征在于:
所述通孔(1a)的中心与导流筒本体(1)的轴线重合。
5.根据权利要求1或2所述的防止拉晶界面气流波动的导流筒,其特征在于:
所述坡面段(12)的倾角为30°~40°。
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