CN216099035U - 一种实现正压密封检修环境的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种实现正压密封检修环境的装置，包括密闭套筒、置换系统和手套，所述置换系统包括进气阀、单向排气阀、尾气处理装置和储气罐，所述密闭套筒一侧设有进气口、另一侧设有出气口，所述进气口借助进气管道与储气罐相连，所述进气阀位于进气管道上，所述出气口借助出气管道与尾气处理装置相连，所述单向排气阀位于出气管道上；所述密闭套筒侧面设有操作口，所述操作口与手套密封连接。本实用新型结构简单，有效的避免了管道检修时因暴露在空气环境中，被空气中水分、灰尘等杂质污染；避免了管道内存有的微量工艺介质在拆开管道时直接排放到大气中，对环境造成污染；有效地实现检修作业密闭隔离操作，避免作业人员受到伤害。

Description

一种实现正压密封检修环境的装置

技术领域

本实用新型属于工业生产检修装置技术领域，具体地涉及一种实现正压密封检修环境的装置。

背景技术

随着半导体工业和微电子工业的迅猛发展，面对巨大的市场和利润空间，国内多家企业逐渐开始通过与国外公司合作或自主研发的方式进入到电子特种气体生产领域。在超高纯电子气体的生产过程中，常用的管道连接件，如法兰连接、螺纹连接等，不可避免需要拆、接等检修。实现检修过程中管道及设备与空气隔绝，避免空气中水分、灰尘等杂质对系统产生污染，对快速恢复生产、降低生产成本和环境保护有重要作用。

发明内容

有鉴于此，本实用型新提供了一套正压密闭检修环境的装置，能够克服现有超高纯电子气体生产装置管道检修时，管道因暴露于空气环境中，被空气中的水分、灰尘等杂质污染，造成检修后系统洁净处理时间长、能耗高，生产效率低，成本高的问题。

为了解决上述技术问题，本发明是这样实现的。

本实用新型采用的技术方案为：一种实现正压密封检修环境的装置，其特征在于：包括密闭套筒、置换系统和手套，所述置换系统包括进气阀、单向排气阀、尾气处理装置和储气罐，所述密闭套筒一侧设有进气口、另一侧设有出气口，所述进气口通过进气管道与储气罐相连，所述进气阀位于进气管道上，所述出气口通过出气管道与尾气处理装置相连，所述单向排气阀位于出气管道上；所述密闭套筒侧面设有操作口，所述操作口与手套密封连接，手套位于密闭套筒内部；所述密闭套筒由柔性透明材料制成，密闭套筒两端有缩口，缩口处采用卡套紧固密封，所述密闭套筒筒体纵向设有可开启和密封的迷宫式密封结构。

优选地，所述密闭套筒和手套由柔性透明材料制成。

优选地，所述柔性材料为PTFE、PE或PET。

优选地，所述密闭套筒的迷宫式密封结构开启后，可将密闭套筒从所需密封检修的对象上移除；当需要形成密封检修环境时，将密闭套筒覆盖在所需密封检修的对象外周，通过迷宫式密封连接成筒状，筒体两端为缩口状，通过卡套紧固密封。

优选地，所述进气阀与储气罐间的进气管道上设有压力检测装置。

优选地，所述储气罐内的气体为高纯惰性气体。

优选地，所述高纯惰性气体为氮气、氦气或氩气。

本实用新型获得的有益效果为：本实用新型结构简单，有效的避免了管道检修时因暴露在空气环境中，被空气中水分、灰尘等杂质污染；避免了管道内存有的微量工艺介质在拆开管道时直接排放到大气中，对环境造成污染；有效地实现检修作业密闭隔离操作，避免作业人员受到伤害。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型实施例1结构示意图；

图3为本实用新型实施例2结构示意图；

其中，1-出气管道，2-单向排气阀，3-密闭套筒，4-卡套密封结构，5-进气阀，6-压力监测装置，7-进气管道，8-手套，9-迷宫式密封结构。

具体实施方式

下面结合附图并举实施例，对本发明进行详细描述。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

如图1所示，一种实现正压密封检修环境的装置，包括密闭套筒3、置换系统和手套8，所述置换系统包括进气阀5、单向排气阀2、尾气处理装置和储气罐，所述密闭套筒3一侧设有进气口、另一侧设有出气口，所述进气口借助进气管道7与储气罐相连，所述进气阀5位于进气管道7上，所述出气口借助出气管道1与尾气处理装置相连，所述单向排气阀2位于出气管道1上；所述密闭套筒3侧面设有操作口，所述操作口与手套8密封连接，手套8位于密闭套筒3内部；所述密闭套筒3两端设有卡套式密封结构4。所述密闭套筒3由一种柔性透明材料制成，两侧长边设有迷宫式密封部，两侧长边环绕对折后，迷宫式密封部组合形成迷宫式密封结构9，从而通过迷宫式密封连接成筒状。迷宫式密封结构9一直延伸到卡套式密封结构4处。当需要形成密封检修环境时，将迷宫式密封结构和卡套式密封结构4打开，从套筒侧面开口将管件需要检修的部分置入到密闭套筒3内部，令密闭套筒覆盖在所需密封检修的管件外周，管件其他部分暴露在套筒外。利用卡套式密封结构4将密闭套筒3紧固在管件外表面，并关闭迷宫式密封结构，从而将管件需要检修的部分封闭在密闭套筒3内。所述密闭套筒3的迷宫式密封结构9开启后，可将密闭套筒3从所需密封检修的对象上移除。卡套式密封结构4可以为卡箍，卡箍具有一处开口，或者卡箍由两个半圆组成。

所述进气阀5与储气罐间的进气管道7上设有压力检测装置6。所述密闭套筒3和手套8的材质均为柔性透明材料。所述储气罐内的气体为高纯惰性气体，所述高纯惰性气体为氮气、氦气或氩气中的一种。

实施例1：利用本装置更换损坏的法兰垫片，如图2所示；

步骤一：待检修管道泄压至常压0.0—0.02MPa，先从纵向的迷宫式密封结构9处将密闭套筒3打开，卡套式密封结构4打开或者取下，将检修用的扳手、垫片、螺栓及螺母等工具、备件放置到密闭套筒3内，将卡套式密封结构4固定到密闭套筒3两端，卡住密闭套筒3和管道，从而将密闭套筒3与管道密封，将密闭套筒3的纵向迷宫式密封结构9封闭。

步骤二：将保护气体氦气气源接至密闭套筒3的进气管道7，观察进气口压力为0.01—0.03MPa；将尾气排放出气管道1接至尾气处理装置；缓慢开启进气阀5和单向排气阀2，用保护气对密闭套筒3吹除置换5-10min，关闭单向排气阀2，从而将密闭套筒3内的空气置换合格；

步骤三：操作人员双手通过隔离检修手套8，利用密闭套筒3内的扳手等工具将待检修的连接件法兰螺栓拆开，更换垫片，上紧螺栓，完成检修任务。

步骤四：将被检修的管道进行打压检漏，确认连接件法兰无泄漏后，关闭进气阀5，拆除保护气气源储气罐和尾气处理系统，拆除密闭套筒，将工具及检修备件回收至指定位置，完成检修任务。

实施例2：利用本装置更换损坏的VCR垫片，如图3所示；

步骤一：待检修管道泄压至常压0.0—0.02MPa，先从纵向的迷宫式密封结构9处将密闭套筒3打开，将检修用的扳手、垫片、螺栓及螺母等工具、备件放置到密闭套筒3内，利用密闭套筒3两端卡套式密封结构4，将密闭套筒3与管道密封，将密闭套筒3的纵向迷宫式密封结构9封闭。

步骤二：将保护气体氮气气源储气罐接至密闭套筒3的进气管道7，观察进气口压力为0.01—0.03MPa；将尾气排放出气管道1接至尾气处理装置；缓慢开启进气阀5和单向排气阀2，用保护气对密闭套筒3吹除置换5-10min，将密闭套筒3内的空气置换合格，关闭单向排气阀2；

步骤三：操作人员双手通过隔离检修手套8，利用密闭套筒3内的扳手等工具将待检修的VCR连接件拆开，更换垫片并上紧，完成检修任务。

步骤四：将被检修的管道进行打压检漏，确认连接件法兰无泄漏后，关闭进气阀5，拆除保护气气源储气罐和尾气处理装置，拆除密闭套筒3，将工具及检修备件回收至指定位置，完成检修任务。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种实现正压密封检修环境的装置，其特征在于：包括密闭套筒(3)、置换系统和手套(8)，所述置换系统包括进气阀(5)、单向排气阀(2)、尾气处理装置和储气罐，所述密闭套筒(3)一侧设有进气口、另一侧设有出气口，所述进气口通过进气管道(7)与储气罐相连，所述进气阀(5)位于进气管道(7)上，所述出气口通过出气管道(1)与尾气处理装置相连，所述单向排气阀(2)位于出气管道(1)上；所述密闭套筒(3)侧面设有操作口，所述操作口与手套(8)密封连接，手套(8)位于密闭套筒(3)内部；所述密闭套筒(3)由柔性透明材料制成，密闭套筒两端有缩口，缩口处采用卡套紧固密封(4)，所述密闭套筒(3)筒体纵向设有可开启和密封的迷宫式密封结构(9)。

2.根据权利要求1所述一种实现正压密封检修环境的装置，其特征在于：所述密闭套筒(3)和手套(8)由柔性透明材料制成。

3.根据权利要求2所述一种实现正压密封检修环境的装置，其特征在于：所述柔性材料为PTFE、PE或PET。

4.根据权利要求1所述一种实现正压密封检修环境的装置，其特征在于：所述密闭套筒(3)的迷宫式密封结构(9)开启后，可将密闭套筒(3)从所需密封检修的对象上移除；当需要形成密封检修环境时，将密闭套筒覆盖在所需密封检修的对象外周，通过迷宫式密封连接成筒状，筒体两端为缩口状，通过卡套紧固密封(4)。

5.根据权利要求1所述一种实现正压密封检修环境的装置，其特征在于：所述进气阀(5)与储气罐间的进气管道(7)上设有压力检测装置(6)。

6.根据权利要求1所述一种实现正压密封检修环境的装置，其特征在于：所述储气罐内的气体为高纯惰性气体。

7.根据权利要求6所述一种实现正压密封检修环境的装置，其特征在于：所述高纯惰性气体为氮气、氦气或氩气。

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