CN216064746U - 一种晶棒用自动擦拭装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶棒用自动擦拭装置,涉及硅片生产设备领域,包括支架,支架包括两竖直布置的侧板,两侧板之间水平布设有擦拭辊,擦拭辊两端通过两连接块与两侧板相连,连接块一端与侧板铰连,另一端套设在擦拭辊端部的转轴上,同侧的侧板和连接块上均设有挂钩,两挂钩之间固定连接有弹簧;擦拭辊表面布设有一层擦拭布。本实用新型中增设一个擦拭棍,实现物料流转时擦拭棍自动擦拭晶棒。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片生产设备领域,尤其涉及一种晶棒用自动擦拭装置。
背景技术
切方后的晶棒需要粘结在中空板上,为了使粘结的牢固,一般需要将晶棒擦拭干净,现有的工艺中采用人工擦拭,在自动化生产的流水线中,工人劳动强度大,工作效率无法匹配流水线的生产。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种晶棒用自动擦拭装置。
本实用新型的创新点在于增设一个擦拭棍,实现物料流转时擦拭棍自动擦拭晶棒。
为实现上述实用新型目的,本实用新型的技术方案是:一种晶棒用自动擦拭装置,其特征在于,包括支架,支架包括两竖直布置的侧板,两侧板之间水平布设有擦拭辊,擦拭辊两端通过两连接块与两侧板相连,连接块一端与侧板铰连,另一端套设在擦拭辊端部的转轴上,同侧的侧板和连接块上均设有挂钩,两挂钩之间固定连接有弹簧;擦拭辊表面布设有一层擦拭布。晶棒被机械手抓取输送时,晶棒底面碰上擦拭辊时,擦拭棍绕着连接块与侧板的铰连点转动,弹簧被压缩或者拉伸,擦拭布紧贴晶棒底面进行擦拭,擦拭完成后,弹簧复位,弹簧的弹力使擦拭棍能够紧贴晶棒底面,从而实现自动擦拭,该装置结构简单,擦拭效果好。
进一步地,擦拭辊高于两侧板顶端。擦拭辊擦拭晶棒底面时,避免晶棒与支架相撞。
进一步地,两侧板之间固定连接有水平布设的清洗管,清洗管上固定有若干开口朝上的清洗喷头,清洗管位于擦拭辊的一侧,清洗喷头顶部低于擦拭辊。在擦拭辊与晶棒接触前,清洗喷头先喷出清洗液体,擦拭效果更好。
进一步地,清洗管与酒精罐管道连通。清洗喷头喷出酒精,酒精具有更好的溶解性,且挥发快残留少。
进一步地,两侧板之间固定连接有水平布设的曝气管,曝气管上设有若干开口朝上的气嘴,曝气管位于擦拭辊远离清洗喷头一侧,气嘴顶部低于擦拭辊。气嘴向晶棒底面喷出气体,加速清洗喷头喷洒在晶棒底面清洗液体挥发。
进一步地,擦拭辊表面以及擦拭布背面均设有魔术贴。使用一端时间后,擦拭布需要更换时,撕下擦拭布即可。
进一步地,侧板包括上侧板和下侧板,下侧板上设有若干竖直布置的腰形孔,上侧板外侧紧贴下侧边内侧,上侧板上设有螺纹孔,螺钉穿过腰形孔和螺纹孔将上侧板和下侧板固定一体。通过腰形孔调节上侧板与下侧板的相对位置,从而调节擦拭辊的高度。
本实用新型的有益效果是 :
1. 本实用新型中擦拭辊与弹簧动作配合,实现了晶棒在流转时底面被自动擦拭。
本实用新型中在擦拭辊与晶棒接触前,清洗喷头先喷出清洗液体,擦拭效果更好。
本实用新型中通过腰形孔调节上侧板与下侧板的相对位置,从而调节擦拭辊的高度。
附图说明
图1为本实用新型的正视图。
图2为本实用新型的截面图。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例1:如图1、2所示,一种晶棒用自动擦拭装置,包括支架1,支架包括两竖直布置的侧板1.1,侧板包括上侧板1.11和下侧板1.12,下侧板1.12上设有若干竖直布置的腰形孔1.121,上侧板1.11外侧紧贴下侧边1.12内侧,上侧板1.11上设有螺纹孔1.111,螺钉1.13穿过腰形孔1.121和螺纹孔1.111将上侧板1.11和下侧板1.12固定一体,两侧板1.1之间水平布设有擦拭辊2,擦拭辊2高于两侧板1.1顶端,擦拭辊2两端通过两连接块3与两侧板1.1相连,连接块3一端与侧板1.1铰连,另一端套设在擦拭辊2端部的转轴2.1上,同侧的侧板1.1和连接块3上均设有挂钩4,两挂钩4之间固定连接有弹簧5;擦拭辊2表面布设有一层擦拭布6,擦拭辊2表面以及擦拭布6背面均设有魔术贴,两侧板1.1之间固定连接有水平布设的清洗管7,清洗管7上固定有若干开口朝上的清洗喷头7.1,清洗管7位于擦拭辊2的一侧,清洗喷头顶部7.1低于擦拭辊2,清洗管7与酒精罐管道连通;两侧板1.1之间固定连接有水平布设的曝气管8,曝气管8上布设有若干开口朝上的气嘴8.1,曝气管8位于擦拭辊2远离清洗喷头7.1一侧,气嘴8.1顶部低于擦拭辊2。
工作时,拧动螺钉,调节螺钉在下侧板1.21的腰形孔1.121内的位置,擦拭辊2上贴上擦拭布6,晶棒被机械手抓取输送至清洗喷头7.1上方时,清洗喷头7.1喷出酒精,晶棒碰上擦拭辊2,擦拭辊2绕着连接块3与侧板1.1铰连点转动,弹簧5被拉伸,擦拭布6擦拭移动的晶棒,同时气嘴8.1喷出气体,吹干酒精。
所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
Claims (7)
1.一种晶棒用自动擦拭装置,其特征在于,包括支架,支架包括两竖直布置的侧板,两侧板之间水平布设有擦拭辊,擦拭辊两端通过两连接块与两侧板相连,连接块一端与侧板铰连,另一端套设在擦拭辊端部的转轴上,同侧的侧板和连接块上均设有挂钩,两挂钩之间固定连接有弹簧;擦拭辊表面布设有一层擦拭布。
2.根据权利要求1所述的晶棒用自动擦拭装置,其特征在于,所述擦拭辊高于两侧板顶端。
3.根据权利要求1所述的晶棒用自动擦拭装置,其特征在于,所述两侧板之间固定连接有水平布设的清洗管,清洗管上固定有若干开口朝上的清洗喷头,清洗管位于擦拭辊的一侧,清洗喷头顶部低于擦拭辊。
4.根据权利要求3所述的晶棒用自动擦拭装置,其特征在于,所述清洗管与酒精罐管道连通。
5.根据权利要求1所述的晶棒用自动擦拭装置,其特征在于,所述两侧板之间固定连接有水平布设的曝气管,曝气管上设有若干开口朝上的气嘴,曝气管位于擦拭辊远离清洗喷头一侧,气嘴顶部低于擦拭辊。
6.根据权利要求1所述的晶棒用自动擦拭装置,其特征在于,所述擦拭辊表面以及擦拭布背面均设有魔术贴。
7.根据权利要求1所述的晶棒用自动擦拭装置,其特征在于,所述侧板包括上侧板和下侧板,下侧板上设有若干竖直布置的腰形孔,上侧板外侧紧贴下侧边内侧,上侧板上设有螺纹孔,螺钉穿过腰形孔和螺纹孔将上侧板和下侧板固定一体。
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