CN216054631U - 硅片悬浮载台及硅片移载机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅片悬浮载台及硅片移载机构，硅片悬浮载台包括载台本体，载台本体内设有相互独立的第一腔和第二腔，载台本体一侧表面设有多个第一孔和多个第二孔，第一孔与第一腔连通，第二孔与第二腔连通，载台本体还设有吹气孔，吹气孔连通第一腔以通过吹气孔向第一腔通入气体；载台本体还设有吸气孔，吸气孔连通第二腔以通过吸气孔往外抽吸第二腔内的气体。本实用新型提供的硅片悬浮载台，载台本体设有第一孔和第二孔的表面既往外吹气，又往内吸气，通过控制吹气和吸气的量即可使硅片悬浮在载台本体表面。如此，通过气浮的方式承载硅片，可以避免硅片与载台本体接触而造成污染。

Description

硅片悬浮载台及硅片移载机构

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，特别是涉及一种硅片悬浮载台及硅片移载机构。

背景技术

太阳能电池在生产过程中通常涉及到硅片(太阳能电池的基础元件)的移载，将硅片从一个加工工位移载到另一个加工工位。其中，硅片通常放置在花篮中进行制绒工序，制绒完成后硅片需要转移到载板中进行镀膜工序，因此，硅片需要从花篮转移到载板中。通常，硅片从花篮中取出后放置到皮带上，通过皮带进行输送，之后再通过移载机构将多个硅片移载到载板上。然而，通过皮带传输硅片时，直接通过皮带承载硅片，皮带与硅片下表面直接接触，从而皮带上的脏污会污染硅片，从而影响硅片的质量。为此，有人提出了采用气浮的方式承载硅片，然而，现有的气浮方式都是在载台的上表面设置出气孔，往外吹出气体将电池片悬浮在载台的上方。该方式只能将硅片悬浮在载台上方，导致载台的应用受到一定限制，适用性较差。

实用新型内容

有鉴于此，有必要提供一种硅片悬浮载台及硅片移载机构，通过气浮的方式承载硅片，且可以根据需要将硅片悬浮在载台本体的上方或下方，提高了该硅片悬浮载台的适用性。

本实用新型提供一种硅片悬浮载台，包括载台本体，所述载台本体内设有相互独立的第一腔和第二腔，所述载台本体一侧表面设有多个第一孔和多个第二孔，所述第一孔与所述第一腔连通，所述第二孔与所述第二腔连通，所述载台本体还设有吹气孔，所述吹气孔连通所述第一腔以通过所述吹气孔向所述第一腔通入气体；所述载台本体还设有吸气孔，所述吸气孔连通所述第二腔以通过所述吸气孔往外抽吸所述第二腔内的气体。

在其中一个实施例中，所述载台本体呈矩形。

在其中一个实施例中，所述载台本体设有挡边部，所述挡边部设置于所述载台本体的两相对的侧边或四条侧边上，所述挡边部用于挡住硅片的边缘。

在其中一个实施例中，所述第一孔朝向所述载台本体的其中一条侧边或其中一个角倾斜设置，以使第一孔吹出的气体推动硅片抵靠在所述挡边部。

在其中一个实施例中，所述第一孔的倾斜角度为45°-80°。

在其中一个实施例中，所述载台本体包括相连接的第一部分和第二部分，所述第一部分呈长方形，所述第二部分设于所述第一部分的长度方向的两侧，且所述第二部分沿所述第一部分的宽度方向远离所述第一部分延伸。

在其中一个实施例中，所述载台本体设有贯穿上下表面的通孔槽，所述通孔槽包括相连通的第一槽部和第二槽部，所述第一槽部沿所述载台本体的长度方向贯穿所述载台本体的两个相对的侧面以将所述载台本体分成两个间隔设置的部分，所述第二槽部设置于所述第一槽部两侧且沿所述载台本体的宽度方向延伸。

在其中一个实施例中，所述载台本体包括相互分离的第一载台和第二载台，第一载台设置有贯通上下表面的第一通孔槽，所述第二载台能够容置于所述第一通孔槽内。

在其中一个实施例中，所述第一载台和所述第二载台中的一者设有第一孔，另一者设有第二孔，或所述第一载台和所述第二载台均设有所述第一孔和所述第二孔。

在其中一个实施例中，所述载台本体还包括与所述第二载台相分离的第三载台，所述第二载台设置有贯通上下表面的第二通孔槽，所述第三载台能够容置于所述第二通孔槽内；所述第三载台设有所述第一孔和所述第二孔。

本实用新型还提供一种硅片移载机构，包括如上所述的硅片悬浮载台。

本实用新型提供的硅片悬浮载台及硅片移载机构，其载台本体包括相互独立的第一腔和第二腔，第一腔和第二腔可以用于分别向第一孔吹出气体和通过第二孔吸进气体，从而载台本体设有第一孔和第二孔的表面既能够往外吹气，又能够往内吸气，通过控制吹气和吸气的量即可使硅片精准悬浮在载台本体表面。如此，通过气浮的方式承载硅片，可以避免硅片与载台本体接触而造成硅片污染。并且，可以根据需要将载台本体设置有第一孔和第二孔的表面朝上或朝下设置，从而可将硅片悬浮在载台本体的上方或者下方。如此，提高了该硅片悬浮载台的适用性，从而该硅片悬浮载台可适用于更多场景。

附图说明

图1为本实用新型硅片悬浮载台的实施例一的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例的硅片悬浮载台的剖面结构示意图；

图3为本实用新型硅片悬浮载台的实施例二的结构示意图；

图4为本实用新型的硅片悬浮载台的一实施例的气孔分布示意图；

图5为本实用新型的硅片悬浮载台的另一实施例的气孔分布示意图；

图6为本实用新型的硅片悬浮载台的又一实施例的气孔分布示意图；

图7为本实用新型一实施例的硅片悬浮载台上承载有硅片的俯视图；

图8为本实用新型一实施例的硅片悬浮载台的局部剖视图；

图9为本实用新型硅片悬浮载台的实施例三的结构示意图；

图10为本实用新型硅片悬浮载台的实施例四的结构示意图；

图11为本实用新型硅片悬浮载台的实施例五的结构示意图；

图12为图11所示硅片悬浮载台的应用场景示意图；

图13为图12所示硅片悬浮载台的部分结构示意图。

附图标记：100、载台本体；101、第一腔；102、第二腔；103、第一孔；104、第二孔；105、吹气孔；106、吸气孔；107、挡边部；121、第一部分；122、第二部分；130、通孔槽；131、第一槽部；132、第二槽部；151、第一载台；1511、第一通孔槽；152、第二载台；1521、第二通孔槽；153、第三载台；200、移动机构；800、花篮；900、硅片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当元件被称为“设于”另一个元件，它可以直接设在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“设置于”另一个元件，它可以是直接设置在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被认为是“固定于”另一个元件，它可以是直接固定在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1和图2，本实用新型提供一种硅片悬浮载台，包括载台本体100，载台本体100内设有相互独立的第一腔101和第二腔102。载台本体100一侧表面设有多个第一孔103和多个第二孔104，第一孔103与第一腔101连通，第二孔104与第二腔102连通。载台本体100还设有吹气孔105，吹气孔105连通第一腔101以通过吹气孔105向第一腔101通入气体。由于第一腔101连通第一孔103，因此，通过吹气孔105向第一腔101通入气体时，气体会从第一孔103吹出。载台本体100还设有吸气孔106，吸气孔106连通第二腔102以通过吸气孔106往外抽吸第二腔102内的气体。由于第二腔102连通第二孔104，因此，通过吸气孔106往外抽吸气体时，外界的气体会从第二孔104进入第二腔102。也就是说，载台本体100设有第一孔103和第二孔104的表面既能够往外吹气，又能够往内吸气，通过控制吹气和吸气的量即可使硅片900悬浮在载台本体100表面。如此，通过气浮的方式承载硅片900，可以避免硅片900与载台本体100接触而造成污染。

当载台本体100设有第一孔103和第二孔104的表面朝上设置时，第一孔103往外吹气的力等于第二孔104往内吸气的力加上硅片900的重力，即可使得硅片900悬浮在载台本体100上方。当载台本体100设有第一孔103和第二孔104的表面朝下设置时，第二孔104往内吸气的力等于第一孔103往外吹气的力加上硅片900的重力，即可使得硅片900悬浮在载台本体100下方。由此可见，本实用新型提供的硅片悬浮载台，通过设置第一孔103和第二孔104，使得载台本体100表面既能够往外吹气，又能够往内吸气，从而可根据需要将载台本体100设置有第一孔103和第二孔104的表面朝上或朝下设置，则硅片900可悬浮在载台本体100的上方或者下方。如此，提高了该硅片悬浮载台的适用性，从而该硅片悬浮载台可适用于更多场景。

以下实施例均以第一孔103和第二孔104设置于载台本体100上表面为例。

请参阅图1，一实施例中，载台本体100呈矩形。可以理解的是，矩形包括正方形和长方形。如图1所示，载台本体100呈正方向；如图3所示，载台本体100呈长方形。进一步地，第一孔103和第二孔104呈矩阵分布。如此，结构简单，容易加工。第一孔103和第二孔104的布置方式可以有多种。为了方便区分第一孔103和第二孔104，图4至图6中的第一孔103均添加有图案“十”。请结合图4所示，一实施例中，载台本体100上设置有多排第一孔103和多排第二孔104，每排第一孔103和每排第二孔104依次交叉布置，也就是说，从载台本体100的一端至另一端，分别设有一排第一孔103、一排第二孔104、一排第一孔103、一排第二孔104……以此类推。请结合图5所示，一实施例中，载台本体100上设有多圈第一孔103和多圈第二孔104，每圈第一孔103和每圈第二孔104依次交叉布置，也就是说，从载台本体100的边缘至中心，分别设有一圈第一孔103、一圈第二孔104、一圈第一孔103、一圈第二孔104……以此类推。请结合图6所示，一实施例中，多个第一孔103集中分布于载台本体100的中心区域，多个第二孔104分布于载台本体100的外周区域。第一孔103和第二孔104的布置方式不局限于以上所述，还可以有其他多种布置方式。

第一腔101和第二腔102的布置方式可以有多种。一实施例中，请结合图2，由载台本体100的一侧至另一侧依次设有一个第一腔101、一个第二腔102以及一个第一腔101。在另一实施例中(未图示)，由载台本体100的一侧至另一侧一次设有一个第二腔102、一个第一腔101以及一个第二腔102。在又一实施例中(未图示)，载台本体100内的中心区域设置有一个第一腔101，第一腔101的外周设置有一个环形的第二腔102或多个第二腔102。第一腔101和第二腔102的布置方式可以有多种，只要满足第一腔101和第二腔102独立设置，且第一腔101与第一孔103连通，第二腔102与第二孔104连通即可。

进一步地，请参阅图1和图3，载台本体100设于挡边部107，挡边部107设置于载台本体100的两相对的侧边或四条侧边上，挡边部107用于挡住硅片900的边缘。如此，硅片900能够被限位在载台本体100的上方，从而当载台本体100移动时，通过挡边部107的限位可以带着硅片900一起移动。从而，该硅片悬浮载台可以用于将硅片900悬浮在一个位置，并且，该硅片悬浮载台还可以用于将硅片900从一个位置移动到另一个位置，并且，在移动过程中，硅片900可以始终保持悬浮状态，从而有利于保持硅片900的洁净。

一实施例中，第一孔103朝向载台本体100的其中一条侧边或其中一个角倾斜设置，以使第一孔103吹出的气体推动硅片900抵靠在挡边部107。如此，有利于硅片900的准确定位。请参阅图7和图8所示，本实施例中，第一孔103朝向载台本体100的其中一个角倾斜设置，从而，第一孔103吹出的气体能够推动硅片900朝载台本体100的其中一个角移动，从而硅片900的边缘能够抵靠在载台本体100的其中两条相邻的侧边上的挡边部107，如图7所示。

如图8所示，进一步地，第一孔103的倾斜角度a为45°-80°。倾斜角度如果太小，则吹向硅片900的气体较少，不利于硅片900的悬浮；倾斜角度如果太大，则不利于推动硅片900朝一侧移动。45°-80°的倾斜角度有利于气体吹向硅片900使硅片900悬浮且有利于气体推动硅片900朝向一侧移动。

当然，在其他实施例中，第一孔103也可以垂直于载台本体100的上表面，如图2所示。

第二孔104的设置方式可以参照第一孔103设置。具体地，第二孔104也可以朝向载台本体100的其中一条侧边或其中一个角倾斜设置。或者，第二孔104也可以垂直于载台本体100的上表面。

请参阅图9，一实施例中，载台本体100包括相连的第一部分121和第二部分122，第一部分121呈长方形，第二部分122设于第一部分121的长度方向的两侧，且第二部分122沿第一部分121的宽度方向远离第一部分121延伸。如此，载台本体100形状规则，有利于承载硅片900。进一步地，第二部分122对称设置于第一部分121的两侧。本实施例中，第一部分121的两侧均设有两个第二部分122。第一孔103和第二孔104可以分别设置于第一部分121和第二部分122。具体地，多个第一孔103设置于第一部分121，多个第二孔104设置于第二部分122，相应地，第一部分121设有第一腔101，第二部分122设有第二腔102，每个第二部分122上的第二腔102独立设置。如此，载台本体100结构简单，容易加工。当然，也可以是，多个第一孔103设置于第二部分122，多个第二孔104设置于第一部分121，相应地，第一部分121设有第二腔102，第二部分122设有第一腔101，每个第二部分122上的第一腔101独立设置。如此，载台本体100结构同样非常简单，容易加工。

请参阅图10，一实施例中，载台本体100设有贯穿上下表面的通孔槽130。通孔槽130包括相连通的第一槽部131和第二槽部132，第一槽部131沿载台本体100的长度方向贯穿载台本体100的两个相对的侧面以将载台本体100分成两个间隔设置的部分。第二槽部132设置于第一槽部131两侧且沿载台本体100的宽度方向延伸。如此，通孔槽130可用于容纳其他硅片900悬浮载台，从而便于将其他位置的硅片900移载到该载台本体100上方，或将该载台本体100上方的硅片900移载到其他位置。本实施例中，第一槽部131的两侧均设有两个第二槽部132。

请参阅图11，一实施例中，载台本体100包括相互分离的第一载台151和第二载台152，第一载台151设置有贯通上下表面的第一通孔槽1511，第二载台152能够容置于第一通孔槽1511内。如此，第一载台151和第二载台152可以分开使用也可以组合使用。由于第一通孔槽1511贯通第一载台151的上下表面，因此，第二载台152可以从第一载台151的上表面移入第一通孔槽1511内并从第一载台151的下表面移出第一通孔槽1511，从而可将第二载台152上承载的硅片900转移到第一载台151上，或者，第二载台152可以从第一载台151的下表面移入第一通孔槽1511内并从第一载台151的上表面移出第一通孔槽1511，从而可将第一载台151上承载的硅片900转移到第二载台152上。进一步地，请结合图12和图13所示，第二载台152可以连接有移动机构200，通过移动机构200控制第二载台152移动，从而第二载台152可以将别处的硅片900转移到第一载台151上，或者将硅片900从一个第一载台151转移到另一个第一载台151上。如此，实现了硅片悬浮载台对硅片900的悬浮移载。

进一步地，第一载台151和第二载台152中的一者设有第一孔103，另一者设有第二孔104，如此，第一载台151和第二载台152组合使用时，可以同时对硅片900吹气和吸气，通过控制吹气和吸气的量即可使硅片900悬浮在第一载台151和第二载台152上方。当然，在其他实施例中，第一载台151和第二载台152可以均设有第一孔103和第二孔104。如此，第一载台151和第二载台152分开使用时均可以同时对硅片900吹气和吸气，使用非常方便。

进一步地，载台本体100还包括与第二载台152相分离的第三载台153，第二载台152设置有贯通上下表面的第二通孔槽1521，第三载台153能够容置于第二通孔槽1521内。如此，第二载台152和第三载台153可以分开使用也可以组合使用。由于第二通孔槽1521贯通第二载台152的上下表面，因此，第三载台153可以从第二载台152的上表面移入第二通孔槽1521内并从第二载台152的下表面移出第二通孔槽1521，从而可将第三载台153上承载的硅片900转移到第二载台152上。进一步地，请结合图12和图13所示，第三载台153可以连接有移动机构200，通过移动机构200控制第三载台153移动，从而第三载台153可以将别处的硅片900转移到第二载台152上。如此，实现了硅片悬浮载台对硅片900的悬浮移载。由于第二载台152能够容置于第一通孔槽1511，第三载台153能够容置于第二通孔槽1521，因此，第三载台153也可以容置于第一通孔槽1511，从而第三载台153可以将别处的硅片900转移到第一载台151上。

第三载台153设有第一孔103和第二孔104，如此，可以同时对硅片900吹气和吸气，通过控制吹气和吸气的量即可使硅片900悬浮在第三载台153上方。如此，便于第三载台153移载硅片900。

请结合图12和图13所示，本实施例中，第一载台151、第二载台152和第三载台153一起配合使用，首先，第三载台153从花篮800中获取硅片900，并将硅片900移载到第一载台151上方，然后，第二载台152可以将硅片900从一个第一载台151移载到另一个第一载台151上。由此可见，通过第一载台151、第二载台152和第三载台153的配合，可以将硅片900从花篮800中移出，并移动到不同的第一载台151上，也就是实现了硅片900的输送，且输送的过程均能保持硅片900处于悬浮状态，从而可避免硅片900被污染，保持硅片900的洁净。

本实用新型还提供一种硅片移载机构，包括以上任意一个实施例所述的硅片悬浮载台。

以上所述实施方式的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施方式中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本实用新型，而并非用作为对本实用新型的限定，只要在本实用新型的实质精神范围内，对以上实施方式所作的适当改变和变化都落在本实用新型要求保护的范围内。

Claims (11)

1.一种硅片悬浮载台，其特征在于，包括载台本体(100)，所述载台本体(100)内设有相互独立的第一腔(101)和第二腔(102)，

所述载台本体(100)一侧表面设有多个第一孔(103)和多个第二孔(104)，所述第一孔(103)与所述第一腔(101)连通，所述第二孔(104)与所述第二腔(102)连通，

所述载台本体(100)还设有吹气孔(105)，所述吹气孔(105)连通所述第一腔(101)以通过所述吹气孔(105)向所述第一腔(101)通入气体；

所述载台本体(100)还设有吸气孔(106)，所述吸气孔(106)连通所述第二腔(102)以通过所述吸气孔(106)往外抽吸所述第二腔(102)内的气体。

2.根据权利要求1所述的硅片悬浮载台，其特征在于，所述载台本体(100)呈矩形。

3.根据权利要求2所述的硅片悬浮载台，其特征在于，所述载台本体(100)设有挡边部(107)，所述挡边部(107)设置于所述载台本体(100)的两相对的侧边或四条侧边上，所述挡边部(107)用于挡住硅片的边缘。

4.根据权利要求3所述的硅片悬浮载台，其特征在于，所述第一孔(103)朝向所述载台本体(100)的其中一条侧边或其中一个角倾斜设置，以使第一孔(103)吹出的气体推动硅片抵靠在所述挡边部(107)。

5.根据权利要求4所述的硅片悬浮载台，其特征在于，所述第一孔(103)的倾斜角度为45°-80°。

6.根据权利要求1所述的硅片悬浮载台，其特征在于，所述载台本体(100)包括相连接的第一部分(121)和第二部分(122)，所述第一部分(121)呈长方形，所述第二部分(122)设于所述第一部分(121)的长度方向的两侧，且所述第二部分(122)沿所述第一部分(121)的宽度方向远离所述第一部分(121)延伸。

7.根据权利要求1所述的硅片悬浮载台，其特征在于，所述载台本体(100)设有贯穿上下表面的通孔槽(130)，所述通孔槽(130)包括相连通的第一槽部(131)和第二槽部(132)，所述第一槽部(131)沿所述载台本体(100)的长度方向贯穿所述载台本体(100)的两个相对的侧面以将所述载台本体(100)分成两个间隔设置的部分，所述第二槽部(132)设置于所述第一槽部(131)两侧且沿所述载台本体(100)的宽度方向延伸。

8.根据权利要求1所述的硅片悬浮载台，其特征在于，所述载台本体(100)包括相互分离的第一载台(151)和第二载台(152)，第一载台(151)设置有贯通上下表面的第一通孔槽(1511)，所述第二载台(152)能够容置于所述第一通孔槽(1511)内。

9.根据权利要求8所述的硅片悬浮载台，其特征在于，所述第一载台(151)和所述第二载台(152)中的一者设有第一孔(103)，另一者设有第二孔(104)，

或所述第一载台(151)和所述第二载台(152)均设有所述第一孔(103)和所述第二孔(104)。

10.根据权利要求8所述的硅片悬浮载台，其特征在于，所述载台本体(100)还包括与所述第二载台(152)相分离的第三载台(153)，所述第二载台(152)设置有贯通上下表面的第二通孔槽(1521)，所述第三载台(153)能够容置于所述第二通孔槽(1521)内；

所述第三载台(153)设有所述第一孔(103)和所述第二孔(104)。

11.一种硅片移载机构，其特征在于，包括如权利要求1-10任一项所述的硅片悬浮载台。

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