CN216044257U - 一种具有辅助降温和保护功能的真空系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，包括工作腔室，所述工作腔室的前表面开设有观察窗，且工作腔室的左侧表面安装有腔室门，所述工作腔室的下表面左侧安装有架台，且工作腔室的下表面右侧安装有低温冷阱，所述低温冷阱的内部安装有冷阱隔热板，且低温冷阱的下端安装有超低温冷凝泵，所述超低温冷凝泵的下端安装有水和气供应系统，所述工作腔室的内部安装有腔室内制冷负载结构，本实用新型通过装载在真空系统内部的低温制冷机的输出负载为超低温冷凝泵吸干燥残余气体，并通过专门设计的低温冷阱和冷阱隔热板将残余干燥气体进行降温、同时为低温制冷机提供辐射热隔离保护。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空系统技术领域，具体是一种具有辅助降温和保护功能的真空系统。
背景技术
真空系统广泛应用于电子半导体行业、光电背光模组和机械加工等行业，但是，现有的真空系统没有辅助降温功能，且现有的真空系统没有对真空发生设备进行保护的功能。因此，本领域技术人员提供了一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，以解决上述背景技术中提出的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，包括工作腔室，所述工作腔室的前表面开设有观察窗，且工作腔室的左侧表面安装有腔室门，所述工作腔室的下表面左侧安装有架台，且工作腔室的下表面右侧安装有低温冷阱，所述低温冷阱的内部安装有冷阱隔热板，且低温冷阱的下端安装有超低温冷凝泵，所述超低温冷凝泵的下端安装有水和气供应系统，所述工作腔室的内部安装有腔室内制冷负载结构，且工作腔室的上表面右侧安装有主阀气缸，所述主阀气缸的下端安装有阀盖。
作为本实用新型再进一步的方案：所述工作腔室的右方安装有低真空泵组系统，所述低真空泵组系统的上端连接有第一管道，所述第一管道的左侧表面连接有第二管道。
作为本实用新型再进一步的方案：所述工作腔室的前方安装有电气控制系统，所述真空泵组系统的前方安装有低温制冷机。
作为本实用新型再进一步的方案：所述阀盖位于工作腔室的内部，且阀盖正对于冷阱隔热板，所述腔室内制冷负载结构位于阀盖的左侧。
作为本实用新型再进一步的方案：所述第一管道的一端贯穿连接于工作腔室的右侧表面，所述第二管道的一端贯穿连接于低温冷阱的右侧表面。
作为本实用新型再进一步的方案：所述低温制冷机连接于腔室内制冷负载结构，且低温制冷机连接于冷阱隔热板。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型通过装载在真空系统内部的低温制冷机的输出负载为超低温冷凝泵吸干燥残余气体，并通过专门设计的低温冷阱和冷阱隔热板将残余干燥气体进行降温、同时为低温制冷机提供辐射热隔离保护。
附图说明
图1为一种具有辅助降温和保护功能的真空系统的结构示意图；
图2为一种具有辅助降温和保护功能的真空系统的俯视图；
图3为一种具有辅助降温和保护功能的真空系统的局部连接示意图。
图中：1、工作腔室；2、超低温冷凝泵；3、低真空泵组系统；4、第一管道；5、第二管道；6、腔室门；7、观察窗；8、水和气供应系统；9、阀盖；10、主阀气缸；11、低温冷阱；12、架台；13、冷阱隔热板；14、低温制冷机；15、电气控制系统；16、腔室内制冷负载结构。
具体实施方式
请参阅图1～3，本实用新型实施例中，一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，包括工作腔室1，工作腔室1的前表面开设有观察窗7，且工作腔室1的左侧表面安装有腔室门6，工作腔室1的下表面左侧安装有架台12，且工作腔室1的下表面右侧安装有低温冷阱11，第二管道5的一端贯穿连接于低温冷阱11的右侧表面，低温冷阱11的内部安装有冷阱隔热板13，且低温冷阱11的下端安装有超低温冷凝泵2，超低温冷凝泵2的下端安装有水和气供应系统8，工作腔室1的内部安装有腔室内制冷负载结构16，且工作腔室1的上表面右侧安装有主阀气缸10，主阀气缸10的下端安装有阀盖9，阀盖9位于工作腔室1的内部，且阀盖9正对于冷阱隔热板13，腔室内制冷负载结构16位于阀盖9的左侧，工作腔室1的右方安装有低真空泵组系统3，低真空泵组系统3的上端连接有第一管道4，第一管道4的一端贯穿连接于工作腔室1的右侧表面，第一管道4的左侧表面连接有第二管道5，工作腔室1的前方安装有电气控制系统15，低真空泵组系统3的前方安装有低温制冷机14，低温制冷机14连接于腔室内制冷负载结构16，且低温制冷机14连接于冷阱隔热板13，低温制冷机14制冷效率远高于超低温冷凝泵2，低温制冷机14的输出负载为超低温冷凝泵2吸干燥残余气体，低温冷阱11和冷阱隔热板13将残余干燥气体进行降温、同时为低温制冷机14提供辐射热隔离保护。
本实用新型的工作原理是：由工作腔室1、超低温冷凝泵2、低真空泵组系统3、第一管道4、第二管道5、腔室门6、观察窗7、水和气供应系统8、阀盖9、主阀气缸10和架台12组成真空形成系统，超低温冷凝泵2需要在一个低真空环境下才能持续稳定工作，真空形成系统通过低真空泵组系统3形成的低真空环境中，仍然会残留大量的不利于超低温冷凝泵2长期工作的水气不能排出工作腔室1，此时开启低温制冷机14驱动腔室内制冷负载结构16进行制冷再生，通过腔室内制冷负载结构16吸附残留在真空形成系统中的水气，当腔室内制冷负载结构16对真空形成系统中的残留水气吸附过程完成后，阀盖9在主阀气缸10的作用下打开，超低温冷凝泵2开始吸附真空形成系统中的其他气体，气体通过低温冷阱11和冷阱隔热板13时会与冷阱隔热板13进行热交换，气体温度降低提高超低温冷凝泵2制冷量的利用效率，提高抽速，在真空形成系统中装载其他功能部件工作时，工作部件产生的热量辐射到超低温冷凝泵2的过程中会被冷阱隔热板13进行隔离，由于为冷阱隔热板13提供制冷量的低温制冷机14制冷效率远高于超低温冷凝泵2，这样就使得加载冷阱隔热板13的系统中低温制冷机14基本不受附加热辐射的影响。
以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，包括工作腔室(1)，其特征在于，所述工作腔室(1)的前表面开设有观察窗(7)，且工作腔室(1)的左侧表面安装有腔室门(6)，所述工作腔室(1)的下表面左侧安装有架台(12)，且工作腔室(1)的下表面右侧安装有低温冷阱(11)，所述低温冷阱(11)的内部安装有冷阱隔热板(13)，且低温冷阱(11)的下端安装有超低温冷凝泵(2)，所述超低温冷凝泵(2)的下端安装有水和气供应系统(8)，所述工作腔室(1)的内部安装有腔室内制冷负载结构(16)，且工作腔室(1)的上表面右侧安装有主阀气缸(10)，所述主阀气缸(10)的下端安装有阀盖(9)。
2.根据权利要求1所述的一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，其特征在于，所述工作腔室(1)的右方安装有低真空泵组系统(3)，所述低真空泵组系统(3)的上端连接有第一管道(4)，所述第一管道(4)的左侧表面连接有第二管道(5)。
3.根据权利要求2所述的一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，其特征在于，所述工作腔室(1)的前方安装有电气控制系统(15)，所述低真空泵组系统(3)的前方安装有低温制冷机(14)。
4.根据权利要求1所述的一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，其特征在于，所述阀盖(9)位于工作腔室(1)的内部，且阀盖(9)正对于冷阱隔热板(13)，所述腔室内制冷负载结构(16)位于阀盖(9)的左侧。
5.根据权利要求2所述的一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，其特征在于，所述第一管道(4)的一端贯穿连接于工作腔室(1)的右侧表面，所述第二管道(5)的一端贯穿连接于低温冷阱(11)的右侧表面。
6.根据权利要求3所述的一种具有辅助降温和保护功能的真空系统，其特征在于，所述低温制冷机(14)连接于腔室内制冷负载结构(16)，且低温制冷机(14)连接于冷阱隔热板(13)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122236228.9U CN216044257U (zh) | 2021-09-15 | 2021-09-15 | 一种具有辅助降温和保护功能的真空系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202122236228.9U CN216044257U (zh) | 2021-09-15 | 2021-09-15 | 一种具有辅助降温和保护功能的真空系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216044257U true CN216044257U (zh) | 2022-03-15 |
Family
ID=80537337
Family Applications (1)
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| CN202122236228.9U Active CN216044257U (zh) | 2021-09-15 | 2021-09-15 | 一种具有辅助降温和保护功能的真空系统 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN216044257U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114392580A (zh) * | 2022-03-24 | 2022-04-26 | 广东盈峰科技有限公司 | 一种冷阱装置 |
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2021
- 2021-09-15 CN CN202122236228.9U patent/CN216044257U/zh active Active
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