CN216005479U - 一种用于超纯水系统的脱氧装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及超纯水处理技术领域，且公开了一种用于超纯水系统的脱氧装置，包括圆筒，所述圆筒的底侧圆形阵列有支腿，且所述圆筒的底部外侧固定有电机，且所述电机的前端铰接有端头位于所述圆筒内腔的转轴，且所述转轴圆形阵列有搅拌杆，所述圆筒的底端固定有水分输送泵，且所述水分输送泵的底端设有与其他设备连接的排放管道，该一种用于超纯水系统的脱氧装置，通过上述，在需要对超纯水进行脱氧处理时，先启动第一水泵，第一水泵通过第一汲取管道汲取超纯水，在沉淀完成后启动脱氧剂排放泵，脱氧剂排放泵通过第三汲取管道汲取脱氧剂，从而降低工作人员的劳动成本，提高工作效率。

Description

一种用于超纯水系统的脱氧装置

技术领域

本实用新型涉及超纯水处理技术领域，具体为一种用于超纯水系统的脱氧装置。

背景技术

超纯水，又称UP水，电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。

然而在超纯水进行脱氧处理时，工作人员难以对超纯水进行处理，因此有必要针对这一技术问题进行解决。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于超纯水系统的脱氧装置，解决了上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于超纯水系统的脱氧装置，包括圆筒，所述圆筒的底侧圆形阵列有支腿，所述圆筒的顶端固定有第一水泵，所述第一水泵的左侧固定有与蓄水池连接的第一汲取管道，所述第一水泵的底端设有穿过所述圆筒顶端的灌输管，所述圆筒的外侧壁固定有真空器，且所述真空器的输出端固定有气体排放管道，所述圆筒内腔垂直阵列有水淋盘，且所述水淋盘圆形阵列有通孔，所述圆筒的外侧壁上固定有脱氧剂灌输器，所述脱氧剂灌输器的侧壁上设有与脱氧剂容器连通的第二汲取管道，且所述脱氧剂灌输器的输出端设有穿过圆筒侧壁的第一输送管，所述圆筒的外侧壁设有与所述脱氧剂灌输器对称的脱氧剂排放泵，且所述脱氧剂排放泵的底端连通有脱氧剂排放管道，且所述脱氧剂排放泵的输入端固定有穿过所述圆筒侧壁的第三汲取管道，且所述圆筒的底部外侧固定有电机，且所述电机的前端铰接有端头位于所述圆筒内腔的转轴，且所述转轴圆形阵列有搅拌杆，所述圆筒的底端固定有水分输送泵，且所述水分输送泵的底端设有与其他设备连接的排放管道。

为了避免外界空气通过气体排放管道进入到圆筒内腔中，优选的，所述真空器与所述气体排放管道的连接处设有止回阀。

为了有效的对超纯水进行导流，优选的，所述水淋盘的顶端设有导流环。

为了有效的避免第一水泵出现脱落，优选的，所述第一水泵的前后两端均对称有与所述圆筒顶端连接的三角板。

为了避免外界杂质进入到真空器内部，优选的，所述气体排放管道的端头上固定有阻隔网。

为了过滤掉超纯水在管道输送中附着的杂质，优选的，所述圆筒内腔顶部固定有过滤网。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于超纯水系统的脱氧装置，具备以下有益效果：

1、该一种用于超纯水系统的脱氧装置，在需要对超纯水进行脱氧处理时，先启动第一水泵，第一水泵通过第一汲取管道汲取超纯水，然后通过灌输管将超纯水灌输至圆筒内腔中，在灌输过程中，超纯水先通过多个水淋盘，然后通过水淋盘上的通孔向圆筒内部的底部进行流动，在超纯水流入至圆筒内腔底部时，启动脱氧剂灌输器，脱氧剂灌输器通过第二汲取管道汲取脱氧剂，并且脱氧剂灌输器再通过第一输送管将脱氧剂灌输至圆筒内腔中，使其脱氧剂与超纯水进行混合，再进行混合的过程中启动真空器，真空器通过气体排放管道将圆筒内腔的空气排放到外界，从而使其圆筒内腔长期保持真空状态，在混合的过程中启动电机，电机通过带动转轴旋转使其超纯水与脱氧剂充分的混合在一起，在混合完成后静置一段时间让脱氧剂进行沉淀，在沉淀完成后启动脱氧剂排放泵，脱氧剂排放泵通过第三汲取管道汲取脱氧剂，并且脱氧剂排放泵再通过脱氧剂排放管道对脱氧剂进行输送，在脱氧剂输送完成后，启动水分输送泵，水分输送泵将圆筒内腔的超纯水通过排放管道输送至存储设备内部进行存储，从而降低工作人员的劳动成本，提高工作效率。

2、该一种用于超纯水系统的脱氧装置，所述止回阀可以在真空器停止工作时，避免外界空气通过气体排放管道进入到圆筒内腔中，所述导流环可以避免超纯水堆积在水淋盘上，可以有效的对超纯水进行导流，所述三角板可以有效的避免第一水泵出现脱落，所述阻隔网可以有效的避免外界杂质进入到真空器内部，所述过滤网可以过滤掉超纯水在管道输送中附着的杂质。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型剖面结构示意图。

图中：1、圆筒；2、第一水泵；3、第一汲取管道；4、真空器；5、气体排放管道；6、水淋盘；7、通孔；8、脱氧剂灌输器；9、第二汲取管道；10、第一输送管；11、脱氧剂排放泵；12、脱氧剂排放管道；13、第三汲取管道；14、电机；15、转轴；16、水分输送泵；17、排放管道；18、止回阀；19、导流环；20、三角板；21、阻隔网；22、过滤网。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：包括圆筒1，所述圆筒1的底侧圆形阵列有支腿，所述圆筒1的顶端固定有第一水泵2，所述第一水泵2的左侧固定有与蓄水池连接的第一汲取管道3，所述第一水泵2的底端设有穿过所述圆筒1顶端的灌输管，所述圆筒1的外侧壁固定有真空器4，且所述真空器4的输出端固定有气体排放管道5，所述圆筒1内腔垂直阵列有水淋盘6，且所述水淋盘6圆形阵列有通孔7，所述圆筒1的外侧壁上固定有脱氧剂灌输器8，所述脱氧剂灌输器8的侧壁上设有与脱氧剂容器连通的第二汲取管道9，且所述脱氧剂灌输器8的输出端设有穿过圆筒1侧壁的第一输送管10，所述圆筒1的外侧壁设有与所述脱氧剂灌输器8对称的脱氧剂排放泵11，且所述脱氧剂排放泵11的底端连通有脱氧剂排放管道12，且所述脱氧剂排放泵11的输入端固定有穿过所述圆筒1侧壁的第三汲取管道13，且所述圆筒1的底部外侧固定有电机14，且所述电机14的前端铰接有端头位于所述圆筒1内腔的转轴15，且所述转轴15圆形阵列有搅拌杆，所述圆筒1的底端固定有水分输送泵16，且所述水分输送泵16的底端设有与其他设备连接的排放管道17，通过上述，在需要对超纯水进行脱氧处理时，先启动第一水泵2，第一水泵2通过第一汲取管道3汲取超纯水，然后通过灌输管将超纯水灌输至圆筒1内腔中，在灌输过程中，超纯水先通过多个水淋盘6，然后通过水淋盘6上的通孔7向圆筒1内部的底部进行流动，在超纯水流入至圆筒1内腔底部时，启动脱氧剂灌输器8，脱氧剂灌输器8通过第二汲取管道9汲取脱氧剂，并且脱氧剂灌输器8再通过第一输送管10将脱氧剂灌输至圆筒1内腔中，使其脱氧剂与超纯水进行混合，再进行混合的过程中启动真空器4，真空器4通过气体排放管道5将圆筒1内腔的空气排放到外界，从而使其圆筒1内腔长期保持真空状态，在混合的过程中启动电机14，电机14通过带动转轴15旋转使其超纯水与脱氧剂充分的混合在一起，在混合完成后静置一段时间让脱氧剂进行沉淀，在沉淀完成后启动脱氧剂排放泵11，脱氧剂排放泵11通过第三汲取管道13汲取脱氧剂，并且脱氧剂排放泵11再通过脱氧剂排放管道12对脱氧剂进行输送，在脱氧剂输送完成后，启动水分输送泵16，水分输送泵16将圆筒1内腔的超纯水通过排放管道17输送至存储设备内部进行存储，从而降低工作人员的劳动成本，提高工作效率。

在本实用新型中，所述真空器4与所述气体排放管道5的连接处设有止回阀18，通过上述，所述止回阀18可以在真空器4停止工作时，避免外界空气通过气体排放管道5进入到圆筒1内腔中。

在本实用新型中，所述水淋盘6的顶端设有导流环19，通过上述，所述导流环19可以避免超纯水堆积在水淋盘6上，可以有效的对超纯水进行导流。

在本实用新型中，所述第一水泵2的前后两端均对称有与所述圆筒1顶端连接的三角板20，通过上述，所述三角板20可以有效的避免第一水泵2出现脱落。

在本实用新型中，所述气体排放管道5的端头上固定有阻隔网21，通过上述，所述阻隔网21可以有效的避免外界杂质进入到真空器4内部。

在本实用新型中，所述圆筒1内腔顶部固定有过滤网22，通过上述，所述过滤网22可以过滤掉超纯水在管道输送中附着的杂质。

综上所述，该一种用于超纯水系统的脱氧装置，通过上述，在需要对超纯水进行脱氧处理时，先启动第一水泵2，第一水泵2通过第一汲取管道3汲取超纯水，然后通过灌输管将超纯水灌输至圆筒1内腔中，在灌输过程中，超纯水先通过多个水淋盘6，然后通过水淋盘6上的通孔7向圆筒1内部的底部进行流动，在超纯水流入至圆筒1内腔底部时，启动脱氧剂灌输器8，脱氧剂灌输器8通过第二汲取管道9汲取脱氧剂，并且脱氧剂灌输器8再通过第一输送管10将脱氧剂灌输至圆筒1内腔中，使其脱氧剂与超纯水进行混合，再进行混合的过程中启动真空器4，真空器4通过气体排放管道5将圆筒1内腔的空气排放到外界，从而使其圆筒1内腔长期保持真空状态，在混合的过程中启动电机14，电机14通过带动转轴15旋转使其超纯水与脱氧剂充分的混合在一起，在混合完成后静置一段时间让脱氧剂进行沉淀，在沉淀完成后启动脱氧剂排放泵11，脱氧剂排放泵11通过第三汲取管道13汲取脱氧剂，并且脱氧剂排放泵11再通过脱氧剂排放管道12对脱氧剂进行输送，在脱氧剂输送完成后，启动水分输送泵16，水分输送泵16将圆筒1内腔的超纯水通过排放管道17输送至存储设备内部进行存储，从而降低工作人员的劳动成本，提高工作效率，所述止回阀18可以在真空器4停止工作时，避免外界空气通过气体排放管道5进入到圆筒1内腔中，所述导流环19可以避免超纯水堆积在水淋盘6上，可以有效的对超纯水进行导流，所述三角板20可以有效的避免第一水泵2出现脱落，所述阻隔网21可以有效的避免外界杂质进入到真空器4内部，所述过滤网22可以过滤掉超纯水在管道输送中附着的杂质。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

电机型号：Y80M1-2、Y90L-2、Y132S2-2、Y180M-2、Y225M-2。

Claims (6)

1.一种用于超纯水系统的脱氧装置，其特征在于：包括圆筒(1)，所述圆筒(1)的底侧圆形阵列有支腿，所述圆筒(1)的顶端固定有第一水泵(2)，所述第一水泵(2)的左侧固定有与蓄水池连接的第一汲取管道(3)，所述第一水泵(2)的底端设有穿过所述圆筒(1)顶端的灌输管，所述圆筒(1)的外侧壁固定有真空器(4)，且所述真空器(4)的输出端固定有气体排放管道(5)，所述圆筒(1)内腔垂直阵列有水淋盘(6)，且所述水淋盘(6)圆形阵列有通孔(7)，所述圆筒(1)的外侧壁上固定有脱氧剂灌输器(8)，所述脱氧剂灌输器(8)的侧壁上设有与脱氧剂容器连通的第二汲取管道(9)，且所述脱氧剂灌输器(8)的输出端设有穿过圆筒(1)侧壁的第一输送管(10)，所述圆筒(1)的外侧壁设有与所述脱氧剂灌输器(8)对称的脱氧剂排放泵(11)，且所述脱氧剂排放泵(11)的底端连通有脱氧剂排放管道(12)，且所述脱氧剂排放泵(11)的输入端固定有穿过所述圆筒(1)侧壁的第三汲取管道(13)，且所述圆筒(1)的底部外侧固定有电机(14)，且所述电机(14)的前端铰接有端头位于所述圆筒(1)内腔的转轴(15)，且所述转轴(15)圆形阵列有搅拌杆，所述圆筒(1)的底端固定有水分输送泵(16)，且所述水分输送泵(16)的底端设有与其他设备连接的排放管道(17)。

2.根据权利要求1所述的一种用于超纯水系统的脱氧装置，其特征在于：所述真空器(4)与所述气体排放管道(5)的连接处设有止回阀(18)。

3.根据权利要求1所述的一种用于超纯水系统的脱氧装置，其特征在于：所述水淋盘(6)的顶端设有导流环(19)。

4.根据权利要求1所述的一种用于超纯水系统的脱氧装置，其特征在于：所述第一水泵(2)的前后两端均对称有与所述圆筒(1)顶端连接的三角板(20)。

5.根据权利要求1所述的一种用于超纯水系统的脱氧装置，其特征在于：所述气体排放管道(5)的端头上固定有阻隔网(21)。

6.根据权利要求1所述的一种用于超纯水系统的脱氧装置，其特征在于：所述圆筒(1)内腔顶部固定有过滤网(22)。

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