CN215952815U - 一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置 - Google Patents
一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN215952815U CN215952815U CN202122547678.XU CN202122547678U CN215952815U CN 215952815 U CN215952815 U CN 215952815U CN 202122547678 U CN202122547678 U CN 202122547678U CN 215952815 U CN215952815 U CN 215952815U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- measuring device
- furnace chamber
- temperature measuring
- detachable
- chamber temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 28
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 7
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 abstract 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011897 real-time detection Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Abstract
为了解决温度传感器处于固定状态，很难实时的检测工件架周围的实际温度，使得温度计的测量不准，这样对于PVD真空镀膜机工作腔室的温度的控制就会不准，会直接影响真空镀膜的效果的问题，本实用新型提出一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，采用大盘固定架上设有可拆卸的炉腔测温装置，炉腔测温装置包括上炉腔测温装置和下炉腔测温装置，上炉腔测温装置安装在大盘的上部，下炉腔测温装置安装在大盘的下部，采用卡箍组件进行固定，同时第一连接杆和第二连接的长度通过模仿刀的直径，可以调节炉腔测温装置与待镀膜工件的位置，调至待镀膜工件的位置的位置，模拟工件实际的温度，测量的温度更加准确，提高了真空镀膜的效果。
Description
技术领域
本实用新型属于表面处理技术领域，较为具体的，涉及到一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置。
背景技术
PVD真空镀膜机在工作时，大盘的上表面固定有一个或者多个工件架，所述的一个或者多个工件架可以在大盘的上表面发生自旋转，大盘的下表面设有转轴，转轴与空心管固定连接，空心管从真空镀膜机工作腔室的内部穿过真空镀膜机的底板，从而延伸到真空镀膜机工作腔室的外部，在空心管的外围固定有齿轮，齿轮的外围包覆有皮带轮，皮带轮在电机的电机轴的带动下发生旋转动作，从而带动大盘发生公转。
PVD真空镀膜的过程中，温度的控制十分重要，目前，现有的PVD真空镀膜机的测温装置为，在真空镀膜机工作腔室的内部固定设有一个或多个温度传感器，温度传感器的传输线从空心管中穿过并延伸至温度较低的空心管的底部，并在空心管的底部固定有温度计，这样可以测量PVD真空镀膜机工作腔室的温度。但是采用这种结构，由于温度传感器处于固定状态，很难实时的检测工件架周围的实际温度，使得温度计的测量不准，这样对于PVD真空镀膜机工作腔室的温度的控制就会不准，会直接影响真空镀膜的效果。
实用新型内容
有鉴于此，为了解决温度传感器处于固定状态，很难实时的检测工件架周围的实际温度，使得温度计的测量不准，这样对于PVD真空镀膜机工作腔室的温度的控制就会不准，会直接影响真空镀膜的效果的问题，本实用新型提出一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，采用大盘固定架3上设有可拆卸的炉腔测温装置4，炉腔测温装置4包括上炉腔测温装置41和下炉腔测温装置46，上炉腔测温装置41安装在大盘的上部，下炉腔测温装置46安装在大盘的下部，采用卡箍组件进行固定，同时第一连接杆42和第二连接的长度通过模仿刀的直径，可以调节炉腔测温装置4与待镀膜工件的位置，调至待镀膜工件的位置的位置，模拟工件实际的温度，测量的温度更加准确，提高了真空镀膜的效果。
一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室内的大盘，大盘包括底盘1和顶盘2，底盘1和顶盘2之间设有大盘固定架3，其特征在于：大盘固定架3上设有可拆卸的炉腔测温装置4。
进一步的，所述大盘固定架3外部设有工件架安装组件，工件架安装组件包括上安装组件51和下安装组件53，所述上安装组件51位于顶盘2的外缘，下安装组件53位于底盘1的外缘，所述上安装组件51由多个上安装件52间隔设置组成，所述下安装组件53由多个下安装件54间隔设置组成，所述上下相邻的上安装件52与下安装件54一一对应设置。
进一步的，工件架与工件架安装组件连接，工件架的上端连接对应的上安装件52，工件架的下端连接对应的下安装件54。
进一步的，大盘固定架3由多根间隔平行的固定杆31组成，固定杆31的一端垂直连接顶盘2，固定杆31的另一端垂直连接底盘1，多根固定杆31形成一个圆周。
进一步的，炉腔测温装置4包括上炉腔测温装置41和下炉腔测温装置46，上炉腔测温装置41安装在大盘的上部，下炉腔测温装置46安装在大盘的下部。
进一步的，上炉腔测温装置41由上卡箍组件和上温度传感器45组成，上温度传感器45位于上卡箍组件的一端，上卡箍组件的另一端与大盘其中一根固定杆31可拆卸垂直连接。
进一步的，下炉腔测温装置46由下卡箍组件和下温度传感器43组成，下温度传感器43位于下卡箍组件的一端，下卡箍组件的另一端与大盘其中一根固定杆31可拆卸垂直连接。
进一步的，上卡箍组件由第一连接杆42和第一连接块44组成，所述第一连接杆42的一端连接上温度传感器45，所述第一连接杆42的另一端设有第一圆弧凹槽，所述第一连接块44对应位置设有第二圆弧凹槽，第一圆弧凹槽、第二圆弧凹槽相对于固定杆31抱箍锁紧，当需要上下移动位置时，拆开第一连接杆42和第一连接块44就可以随意调节上卡箍组件的高度。
进一步的，下卡箍组件由第二连接杆47和第二连接块48组成，所述第二连接杆47的一端连接下温度传感器43，所述第二连接杆47的另一端设有第三圆弧凹槽，所述第二连接块48对应位置设有第四圆弧凹槽，第三圆弧凹槽、第四圆弧凹槽相对于固定杆31抱箍锁紧，当需要上下移动位置时，拆开第二连接杆47和第二连接块48就可以随意调节上卡箍组件的高度。
进一步的，底盘1中部设有空心管55，空心管55下部设有连接端子6，上温度传感器45和下温度传感器43的传输线穿过空心管55连接连接端子6的上端，连接端子6的下端连接外部的电源线的电源端子。
本实用新型提出一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，采用大盘固定架3上设有可拆卸的炉腔测温装置4，炉腔测温装置4包括上炉腔测温装置41和下炉腔测温装置46，上炉腔测温装置41安装在大盘的上部，下炉腔测温装置46安装在大盘的下部，采用卡箍组件进行固定，同时第一连接杆42和第二连接的长度通过模仿刀的直径，可以调节炉腔测温装置4与待镀膜工件的位置，调至待镀膜工件的位置的位置，模拟工件实际的温度，测量的温度更加准确，提高了真空镀膜的效果。
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型的权利要求。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、同等替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围内。
附图说明
图1为本实用新型的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置的立体结构示意图。
图2为本实用新型的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置的结构示意图。
图3为传统的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置的底盘的剖视图。
主要元件符号说明：
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
如图1所示，为本实用新型的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置的立体结构示意图；如图2所示，为本实用新型的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置的结构示意图；如图3所示，为传统的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置的底盘的剖视图。
一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室内的大盘，大盘包括底盘1和顶盘2，底盘1和顶盘2之间设有大盘固定架3，其特征在于：大盘固定架3上设有可拆卸的炉腔测温装置4。
所述大盘固定架3外部设有工件架安装组件，工件架安装组件包括上安装组件51和下安装组件53，所述上安装组件51位于顶盘2的外缘，下安装组件53位于底盘1的外缘，所述上安装组件51由多个上安装件52间隔设置组成，所述下安装组件53由多个下安装件54间隔设置组成，所述上下相邻的上安装件52与下安装件54一一对应设置。
所述工件架与工件架安装组件连接，工件架的上端连接对应的上安装件52，工件架的下端连接对应的下安装件54。
所述大盘固定架3由多根间隔平行的固定杆31组成，固定杆31的一端垂直连接顶盘2，固定杆31的另一端垂直连接底盘1，多根固定杆31形成一个圆周。
所述炉腔测温装置4包括上炉腔测温装置41和下炉腔测温装置46，上炉腔测温装置41安装在大盘的上部，下炉腔测温装置46安装在大盘的下部。
所述上炉腔测温装置41由上卡箍组件和上温度传感器45组成，上温度传感器45位于上卡箍组件的一端，上卡箍组件的另一端与大盘其中一根固定杆31可拆卸垂直连接。
所述下炉腔测温装置46由下卡箍组件和下温度传感器43组成，下温度传感器43位于下卡箍组件的一端，下卡箍组件的另一端与大盘其中一根固定杆31可拆卸垂直连接。
所述上卡箍组件由第一连接杆42和第一连接块44组成，所述第一连接杆42的一端连接上温度传感器45，所述第一连接杆42的另一端设有第一圆弧凹槽，所述第一连接块44对应位置设有第二圆弧凹槽，第一圆弧凹槽、第二圆弧凹槽相对于固定杆31抱箍锁紧，当需要上下移动位置时，拆开第一连接杆42和第一连接块44就可以随意调节上卡箍组件的高度。
所述下卡箍组件由第二连接杆47和第二连接块48组成，所述第二连接杆47的一端连接下温度传感器43，所述第二连接杆47的另一端设有第三圆弧凹槽，所述第二连接块48对应位置设有第四圆弧凹槽，第三圆弧凹槽、第四圆弧凹槽相对于固定杆31抱箍锁紧，当需要上下移动位置时，拆开第二连接杆47和第二连接块48就可以随意调节上卡箍组件的高度。
所述底盘1中部设有空心管55，空心管55下部设有连接端子6，上温度传感器45和下温度传感器43的传输线穿过空心管55连接连接端子6的上端，连接端子6的下端连接外部的电源线的电源端子。
本实用新型提出一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，采用大盘固定架3上设有可拆卸的炉腔测温装置4，炉腔测温装置4包括上炉腔测温装置41和下炉腔测温装置46，上炉腔测温装置41安装在大盘的上部，下炉腔测温装置46安装在大盘的下部，采用卡箍组件进行固定，同时第一连接杆42和第二连接的长度通过模仿刀的直径，可以调节炉腔测温装置4与待镀膜工件的位置，调至待镀膜工件的位置的位置，模拟工件实际的温度，测量的温度更加准确，提高了真空镀膜的效果。
以上所述实施例，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室内的大盘，大盘包括底盘(1)和顶盘(2)，底盘(1)和顶盘(2)之间设有大盘固定架(3)，其特征在于：大盘固定架(3)上设有可拆卸的炉腔测温装置(4)。
2.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：所述大盘固定架(3)外部设有工件架安装组件，工件架安装组件包括上安装组件(51)和下安装组件(53)，所述上安装组件(51)位于顶盘(2)的外缘，下安装组件(53)位于底盘(1)的外缘，所述上安装组件(51)由多个上安装件(52)间隔设置组成，所述下安装组件(53)由多个下安装件(54)间隔设置组成，所述上下相邻的上安装件(52)与下安装件(54)一一对应设置。
3.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：工件架与工件架安装组件连接，工件架的上端连接对应的上安装件(52)，工件架的下端连接对应的下安装件(54)。
4.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：大盘固定架(3)由多根间隔平行的固定杆(31)组成，固定杆(31)的一端垂直连接顶盘(2)，固定杆(31)的另一端垂直连接底盘(1)，多根固定杆(31)形成一个圆周。
5.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：炉腔测温装置(4)包括上炉腔测温装置(41)和下炉腔测温装置(46)，上炉腔测温装置(41)安装在大盘的上部，下炉腔测温装置(46)安装在大盘的下部。
6.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：上炉腔测温装置(41)由上卡箍组件和上温度传感器(45)组成，上温度传感器(45)位于上卡箍组件的一端，上卡箍组件的另一端与大盘其中一根固定杆(31)可拆卸垂直连接。
7.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：下炉腔测温装置(46)由下卡箍组件和下温度传感器(43)组成，下温度传感器(43)位于下卡箍组件的一端，下卡箍组件的另一端与大盘其中一根固定杆(31)可拆卸垂直连接。
8.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：上卡箍组件由第一连接杆(42)和第一连接块(44)组成，所述第一连接杆(42)的一端连接上温度传感器(45)，所述第一连接杆(42)的另一端设有第一圆弧凹槽，所述第一连接块(44)对应位置设有第二圆弧凹槽，第一圆弧凹槽、第二圆弧凹槽相对于固定杆(31)抱箍锁紧，当需要上下移动位置时，拆开第一连接杆(42)和第一连接块(44)就可以随意调节上卡箍组件的高度。
9.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：下卡箍组件由第二连接杆(47)和第二连接块(48)组成，所述第二连接杆(47)的一端连接下温度传感器(43)，所述第二连接杆(47)的另一端设有第三圆弧凹槽，所述第二连接块(48)对应位置设有第四圆弧凹槽，第三圆弧凹槽、第四圆弧凹槽相对于固定杆(31)抱箍锁紧，当需要上下移动位置时，拆开第二连接杆(47)和第二连接块(48)就可以随意调节上卡箍组件的高度。
10.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：底盘(1)中部设有空心管(55)，空心管(55)下部设有连接端子(6)，上温度传感器(45)和下温度传感器(43)的传输线穿过空心管(55)连接连接端子(6)的上端，连接端子(6)的下端连接外部的电源线的电源端子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122547678.XU CN215952815U (zh) | 2021-10-22 | 2021-10-22 | 一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122547678.XU CN215952815U (zh) | 2021-10-22 | 2021-10-22 | 一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215952815U true CN215952815U (zh) | 2022-03-04 |
Family
ID=80413877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122547678.XU Active CN215952815U (zh) | 2021-10-22 | 2021-10-22 | 一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215952815U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116497321A (zh) * | 2023-03-24 | 2023-07-28 | 苏州星蓝纳米技术有限公司 | 一种便于刀具镀膜的上料输送车 |
-
2021
- 2021-10-22 CN CN202122547678.XU patent/CN215952815U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116497321A (zh) * | 2023-03-24 | 2023-07-28 | 苏州星蓝纳米技术有限公司 | 一种便于刀具镀膜的上料输送车 |
| CN116497321B (zh) * | 2023-03-24 | 2023-10-13 | 苏州星蓝纳米技术有限公司 | 一种便于刀具镀膜的上料输送车 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN215952815U (zh) | 一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置 | |
| CN201569402U (zh) | 一种导叶片装配槽圆弧量具 | |
| CN206557244U (zh) | 一种基于成对弱光栅的振动传感装置 | |
| CN203083555U (zh) | 一种平面度自动测量仪 | |
| CN105136453A (zh) | 一种变速器换挡拨叉强度测试系统 | |
| CN203981156U (zh) | 轴承内外套圈圆度测量装置 | |
| CN116007783A (zh) | 一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置 | |
| CN210922487U (zh) | 一种曲轴轴颈接触面积检具 | |
| CN204165470U (zh) | 用于发动机前支撑安装孔的专用检具 | |
| CN208751428U (zh) | 一种用于模块载板生产的测试治具 | |
| CN204065067U (zh) | 全自动羽绒蓬松度测定仪 | |
| CN211061075U (zh) | 温控探温辅助装置 | |
| CN203405392U (zh) | 粉煤灰料浆扩散度快速检测装置 | |
| CN220525171U (zh) | 锻造转炉炉温均匀性测量装置 | |
| CN220829157U (zh) | 一种具有定位夹持功能的锅炉内壁厚度测量仪 | |
| CN213579040U (zh) | 一种测量曲轴不同角度扇板高度的装置 | |
| CN220356245U (zh) | 一种汽车双联屏中控支架孔位检具 | |
| CN218240073U (zh) | 一种大型水轮发电机组测速探头可调节固定装置 | |
| CN221464504U (zh) | 检测摩托车车架龙骨检具 | |
| CN213543419U (zh) | 一种波形弹片自由高度测量量具 | |
| CN219037822U (zh) | 一种快速检测旋锻机锤头模具的装置 | |
| CN218934853U (zh) | 一种包括面风速均匀性控制装置的风机过滤机组 | |
| CN208704566U (zh) | 一种手动测量环状锻件错移的量具 | |
| CN116752953B (zh) | 一种油田抽油机示功图智能测量装置 | |
| CN212807289U (zh) | 机械振动参数检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: No. 8 Maoyuan Road, Jiangling Street, Wujiang District, Suzhou City, Jiangsu Province 215000 Patentee after: SUZHOU SHINELAND NANO TECHNOLOGY CO.,LTD. Country or region after: China Address before: 215000 Building 5, No. 70, Tingnan Road, Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province Patentee before: SUZHOU SHINELAND NANO TECHNOLOGY CO.,LTD. Country or region before: China |