CN215896322U - 一种加热系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种加热系统，包括载具单元、加热单元及夹持单元，所述载具单元的数量设置有两个，每个所述载具单元均能够对料件进行承载；所述加热单元包括第一加热件和第二加热件；所述第一加热件能够对位于第一预设位置且未承载有料件的所述载具单元加热至第一预设温度；所述第二加热件能够对位于第二预设位置且承载有料件的所述载具单元加热至第二预设温度；所述夹持单元能够将具有第一预设温度的所述载具单元由第一预设位置推送至第二预设位置，位于所述第二位置且具有第一预设温度的所述载具单元用于承载具有常温的料件。本实用新型至少包括以下优点：采用加热单元的分别且同步加热方式，能够有效提高加热效率，进而缩短加热周期。

Description

一种加热系统

技术领域

本实用新型涉及加热技术领域，具体的是一种加热系统。

背景技术

本部分的描述仅提供与本实用新型公开相关的背景信息，而不构成现有技术。

晶元在上蜡系统中，其中部分工序中需要将晶元加热到预设温度，以便于更好的加工操作。目前生产系统是流水性作业，每个工序之间是持续不断的跟进。对于现有技术中的加热工序，是将晶元放置在载具上后，连同载具一起被加热，其中载具能够将加热组件产生的热量传递至晶元上，从而实现对晶元的加热。

上述工序中，载具和晶元是同时由室温被加热至预设温度的，这样使得加热工序所需要的时间较长，进而影响整体的周期。如何有效提高加热效率，缩短加热周期是急需要解决的技术问题。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型实施例提供了一种加热系统，其采用加热单元的分别且同步加热方式，能够有效提高加热效率，进而缩短加热周期。

本申请实施例公开了：一种加热系统，包括载具单元、加热单元及夹持单元，

所述载具单元的数量设置有两个，每个所述载具单元均能够对料件进行承载，其中一个所述载具单元位于第一预设位置，另一个所述载具单元位于第二预设位置；

所述加热单元包括相对独立运行的第一加热件和第二加热件；

所述第一加热件能够对位于第一预设位置且未承载有料件的所述载具单元加热至第一预设温度；

所述第二加热件能够对位于第二预设位置且承载有料件的所述载具单元加热至第二预设温度；

所述夹持单元能够将具有第一预设温度的所述载具单元由第一预设位置推送至第二预设位置，位于所述第二位置且具有第一预设温度的所述载具单元用于承载具有常温的料件。

进一步地，两个所述载具单元沿竖直方向间隔设置，且两个所述载具单元均包括载具本体，所述第一加热件和第二加热件均与所述载具本体正对设置。

进一步地，所述第一加热件和第二加热件均包括远红外加热板。

进一步地，所述第一加热件还包括承载平台和驱动件，所述远红外加热板设置在所述驱动件上，所述驱动件能够带动所述远红外加热板转动，所述驱动件还能够沿竖直方向将所述远红外加热板从所述承载平台的腔体内顶出。

进一步地，所述夹持单元包括X轴驱动件、Z轴驱动件以及两个夹持件，两个所述夹持件设置在X轴驱动件上且能够分别与所述载具单元的相对两侧抵接，所述Z轴驱动件能够带动两个所述夹持件朝向所述第一加热件移动。

进一步地，所述X轴驱动件包括滚珠丝杆件，两个所述夹持件均设置在所述滚珠丝杆件上且同步背离或相向移动。

进一步地，所述Z轴驱动件包括驱动气缸、与所述驱动气缸配合且沿竖直方向延伸的导轨，所述X轴驱动件滑动设置在所述导轨上。

借由以上的技术方案，本实用新型的有益效果如下：通过第一加热件能够对载具单元进行单独的预热工序；待预热工序完成后，通过夹持单元将具有第一预热温度的载具单元推送至第二预设位置，第二加热件能够持续对具有第一预热温度的载具单元进行加热，同时该载具单元用于对上一工序中传递的常温料件进行承载，进而第二加热件将带有第一预热温度的载具单元和常温的料件加热至第二预设温度；其中值得注意的是，所述第二加热件在对具有第一预热温度的载具单元进行加热的同时，第一加热件能够同步将另一个常温的所述载具单元加热至第一预设温度，这样设置在原工序不改变的情况下，通过第一加热件辅助加热的设置，能够有效缩短第二加热件的加热时间，进而能够缩短加热周期。

为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例中的整体装置结构示意图；

图2是本实用新型实施例中的夹持单元与第一加热件配合的结构示意图；

图3是本实用新型实施例中的夹持单元与第二加热件配合的结构示意图。

以上附图的附图标记：1、载具单元；2、第一加热件；3、第二加热件；4、承载平台；5、驱动件；6、X轴驱动件；7、Z轴驱动件；8、夹持件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的和区别类似的对象，两者之间并不存在先后顺序，也不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

结合图1至图3所示，本实施例中公开了一种加热系统，其特征在于，包括载具单元1、加热单元及夹持单元，

所述载具单元1的数量设置有两个，每个所述载具单元1均能够对料件进行承载，其中一个所述载具单元1位于第一预设位置，另一个所述载具单元1位于第二预设位置；

所述加热单元包括相对独立运行的第一加热件2和第二加热件3；

所述第一加热件2能够对位于第一预设位置且未承载有料件的所述载具单元1加热至第一预设温度；

所述第二加热件3能够对位于第二预设位置且承载有料件的所述载具单元1加热至第二预设温度；

所述夹持单元能够将具有第一预设温度的所述载具单元1由第一预设位置推送至第二预设位置，位于所述第二位置且具有第一预设温度的所述载具单元1用于承载具有常温的料件。

通过第一加热件2能够对载具单元1进行单独的预热工序；待预热工序完成后，通过夹持单元将具有第一预热温度的载具单元1推送至第二预设位置，第二加热件3能够持续对具有第一预热温度的载具单元1进行加热，同时该载具单元1用于对上一工序中传递的常温料件进行承载，进而第二加热件3将带有第一预热温度的载具单元1和常温的料件加热至第二预设温度。

其中值得注意的是，所述第二加热件3在对具有第一预热温度的载具单元1进行加热的同时，第一加热件2能够同步将另一个常温的所述载具单元1加热至第一预设温度，这样设置在原工序不改变的情况下，通过第一加热件2辅助加热的设置，能够有效缩短第二加热件3的加热时间，进而能够缩短加热周期。

本实施方式中，两个所述载具单元1沿竖直方向间隔设置，具体地，两个所述载具单元1均包括载具本体，所述载具本体呈板材状且其工作表面位于水平面内。优选地，每个所述载具本体上能够承载有多个料件，该料件可以为晶元。该载具本体可以采用热传导性较好的材料制成，以便于有效提高加热效率以及导热效率。

本实施方式中，所述第一加热件2和第二加热件3均包括远红外加热板，其中所述第一加热件2位于所述第二加热件3的上方且与第二加热件3正对设置。其中两个所述载具单元1在上下方向上位于所述第一加热件2和第二加热件3之间，且所述第一加热件2和第二加热件3均与两个所述载具本体正对设置，以能够更加适配，有效提高加热效率。

其中所述第一加热件2还包括承载平台4和驱动件5，其中所述承载平台4位于所述水平面内，且具有容置所述第二加热件3的腔体。所述驱动件5位于所述承载平台4的下方且与所述远红外加热板传动设置，所述驱动件5能够带动所述远红外加热板转动，所述驱动件5还能够沿竖直方向将所述远红外加热板从所述承载平台4的腔体内顶出。

本实施方式中，所述夹持单元包括X轴驱动件6、Z轴驱动件7以及两个夹持件8。具体地，所述X轴驱动件6包括滚珠丝杆件，两个所述夹持件8均设置在所述滚珠丝杆件上且同步背离或相向移动，以能够有效地对其中一个所述载具本体进行夹持或释放。其中所述Z轴驱动件7包括驱动气缸，所述X轴驱动件6设置在所述驱动气缸上。通过上述的设置方式，其中一个所述载具本体能够向上运动至第一预设位置，以与所述第一加热件2对应设置；被加热至第一预设温度的所述载具本体向下运动至第二预设位置，以在所述第二加热件3持续加热的同时，用于承载前一工序传递的常温状态下的晶元。

优选地，所述Z轴驱动件7还包括与所述驱动气缸配合且沿竖直方向延伸的导轨，所述X轴驱动件6滑动设置在所述导轨上。上述的设置方式，在所述载具本体上、下运动过程中，能够保持更好的精度。

本实用新型中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (7)

1.一种加热系统，其特征在于，包括载具单元、加热单元及夹持单元，

所述载具单元的数量设置有两个，每个所述载具单元均能够对料件进行承载，其中一个所述载具单元位于第一预设位置，另一个所述载具单元位于第二预设位置；

所述加热单元包括相对独立运行的第一加热件和第二加热件；

所述第一加热件能够对位于第一预设位置且未承载有料件的所述载具单元加热至第一预设温度；

所述第二加热件能够对位于第二预设位置且承载有料件的所述载具单元加热至第二预设温度；

所述夹持单元能够将具有第一预设温度的所述载具单元由第一预设位置推送至第二预设位置，位于第二位置且具有第一预设温度的所述载具单元用于承载具有常温的料件。

2.如权利要求1所述的加热系统，其特征在于，两个所述载具单元沿竖直方向间隔设置，且两个所述载具单元均包括载具本体，所述第一加热件和第二加热件均与所述载具本体正对设置。

3.如权利要求1所述的加热系统，其特征在于，所述第一加热件和第二加热件均包括远红外加热板。

4.如权利要求3所述的加热系统，其特征在于，所述第一加热件还包括承载平台和驱动件，所述远红外加热板设置在所述驱动件上，所述驱动件能够带动所述远红外加热板转动，所述驱动件还能够沿竖直方向将所述远红外加热板从所述承载平台的腔体内顶出。

5.如权利要求1所述的加热系统，其特征在于，所述夹持单元包括X轴驱动件、Z轴驱动件以及两个夹持件，两个所述夹持件设置在X轴驱动件上且能够分别与所述载具单元的相对两侧抵接，所述Z轴驱动件能够带动两个所述夹持件朝向所述第一加热件移动。

6.如权利要求5所述的加热系统，其特征在于，所述X轴驱动件包括滚珠丝杆件，两个所述夹持件均设置在所述滚珠丝杆件上且同步背离或相向移动。

7.如权利要求6所述的加热系统，其特征在于，所述Z轴驱动件包括驱动气缸、与所述驱动气缸配合且沿竖直方向延伸的导轨，所述X轴驱动件滑动设置在所述导轨上。

Images