CN215876915U - 一种在线高纯氮气超声波加湿系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型揭示了一种在线高纯氮气超声波加湿系统，包括固定架以及固定安装在所述固定架上的加湿管件，所述加湿管件底面上设置有用于注入干燥氮气的输气接口，所述加湿管件顶面上设置有用于加注纯水的注水接口，所述加湿管件侧面的上部连接有用于排放加湿氮气的输送管道，所述加湿管件内壁的底部固定安装有用于分散氮气的扩散板。本实用新型结构设计合理，通过扩散板实现了氮气与纯水之间的充分接触，进而使得该湿度下的氮气能够有效解决研磨液结晶的问题，大大提升了研磨质量以及研磨效率，具有结构简单、安装方便的特点。
Description
技术领域
本实用新型涉及气体加湿领域，特别是涉及一种在线高纯氮气超声波加湿系统。
背景技术
研磨液输送过程需持续补充氮气以保证桶内压力保存平衡，因氮气干燥容易导致研磨液结晶，故需要对氮气进行加湿处理，研磨液对氮气的要求较高，需保证氮气的湿度为95％RH以上，氮气从装置底部进入通过扩散板充分的与纯水接触，使干燥的氮气经过纯水加湿后湿度为95％RH以上，从而达到满足工艺机台要求。
目前的高纯氮气加湿系统结构较为复杂并且安装流程较为繁琐，大大降低了高纯氮气的加湿效率以及加湿效果，存在一定的缺陷。
实用新型内容
本实用新型的目的在于，提供一种在线高纯氮气超声波加湿系统，提升高纯氮气的湿度，同时兼具结构简单、安装方便的特点。
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种在线高纯氮气超声波加湿系统，包括固定架以及固定安装在所述固定架上的加湿管件，所述加湿管件底面上设置有用于注入干燥氮气的输气接口，所述加湿管件顶面上设置有用于加注纯水的注水接口，所述加湿管件侧面的上部连接有用于排放加湿氮气的输送管道，所述加湿管件内壁的底部固定安装有用于分散氮气的扩散板。
进一步的，所述加湿管件顶部侧壁上设置有用于检测纯水深度的液位传感器，且所述液位传感器固定安装在所述固定架上。
进一步的，所述加湿管件为透明管件。
进一步的，所述扩散板包括板体，所述板体上贯穿且均匀设置有若干用于分散氮气排出的分散孔。
进一步的，所述加湿管件底面与所述输送管道之间连接有排液管道，且所述排液管道上设置有排液阀。
附图说明
图1为本实用新型一种在线高纯氮气超声波加湿系统的整体结构示意图；
图2为本实用新型一种在线高纯氮气超声波加湿系统的左视结构示意图；
图3为本实用新型一种在线高纯氮气超声波加湿系统的扩散板俯视结构示意图。
具体实施方式
下面将结合示意图对本实用新型的在线高纯氮气超声波加湿系统进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
如图1至图3所示，本实用新型实施例提出了一种在线高纯氮气超声波加湿系统，包括固定架1以及固定安装在所述固定架1上的加湿管件2，所述加湿管件2底面上设置有用于注入干燥氮气的输气接口3，所述加湿管件2顶面上设置有用于加注纯水的注水接口4，所述加湿管件2侧面的上部连接有用于排放加湿氮气的输送管道5，所述加湿管件2内壁的底部固定安装有用于分散氮气的扩散板6。
所述加湿管件2顶部侧壁上设置有用于检测纯水深度的液位传感器7，且所述液位传感器7固定安装在所述固定架1上。在本实施方式中，液位传感器7的设置，能够对加湿管件2内的纯水量进行精确控制，进而保证加湿后的氮气满足研磨液输送的需求。
所述加湿管件2为透明管件。在本实施方式中，加湿管件2采用透明管件，能够直观的观察到氮气送入的速度，进而方便根据氮气的需求量进行氮气送入流速的调节。
所述扩散板6包括板体8，所述板体8上贯穿且均匀设置有若干用于分散氮气排出的分散孔9。在本实施方式中，氮气从加湿管件2底部送入后进入到纯水当中，在经过扩散板6时，氮气被分散成一个个的小气泡，进而增大了氮气与纯水之间的接触面积，从而使得加湿后的氮气能够满足研磨液输送过程中对湿度的要求。
所述加湿管件2底面与所述输送管道5之间连接有排液管道10，且所述排液管道10上设置有排液阀11。在本实施方式中，排液管道10以及排液阀11的设置，能够将加湿管件2内的纯水进行排出，进而方便加湿系统在后期的维护工作。
以下列举所述在线高纯氮气超声波加湿系统的较优实施例，以清楚的说明本实用新型的内容，应当明确的是，本实用新型的内容并不限制于以下实施例，其他通过本领域普通技术人员的常规技术手段的改进亦在本实用新型的思想范围之内。
本实用新型实施例提出了一种在线高纯氮气超声波加湿系统的使用方法，具体的使用方法为：
用于氮气加湿的纯水从注水接口4加注到加湿管件2内，待纯水液位到达液位传感器7的安装位置时，停止加注纯水，随后打开氮气管道与输气接口3之间的控制阀，氮气从加湿管件2底部进入到加湿管件2内的纯水中，随着氮气的上升，氮气被扩散板6分散成细小的气泡，增大了氮气与纯水之间的接触面积，同时可配合超声波的高频振动来增加氮气与水的接触程度，进而使得加湿后的氮气能够满足研磨液输送过程中的湿度要求，最终加湿后的氮气从输送管道5输送至研磨桶内，避免了研磨液发生结晶现象，进而保证研磨操作的顺利进行。
综上所述，本实用新型结构设计合理，通过扩散板实现了氮气与纯水之间的充分接触，进而使得该湿度下的氮气能够有效解决研磨液结晶的问题，大大提升了研磨质量以及研磨效率，具有结构简单、安装方便的特点。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (5)
1.一种在线高纯氮气超声波加湿系统，其特征在于，包括固定架以及固定安装在所述固定架上的加湿管件，所述加湿管件底面上设置有用于注入干燥氮气的输气接口，所述加湿管件顶面上设置有用于加注纯水的注水接口，所述加湿管件侧面的上部连接有用于排放加湿氮气的输送管道，所述加湿管件内壁的底部固定安装有用于分散氮气的扩散板。
2.如权利要求1所述的在线高纯氮气超声波加湿系统，其特征在于，所述加湿管件顶部侧壁上设置有用于检测纯水深度的液位传感器，且所述液位传感器固定安装在所述固定架上。
3.如权利要求1所述的在线高纯氮气超声波加湿系统，其特征在于，所述加湿管件为透明管件。
4.如权利要求1所述的在线高纯氮气超声波加湿系统，其特征在于，所述扩散板包括板体，所述板体上贯穿且均匀设置有若干用于分散氮气排出的分散孔。
5.如权利要求1所述的在线高纯氮气超声波加湿系统，其特征在于，所述加湿管件底面与所述输送管道之间连接有排液管道，且所述排液管道上设置有排液阀。
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