CN215766927U - 一种基于光谱共焦的芯片表面形貌测量装置 - Google Patents
一种基于光谱共焦的芯片表面形貌测量装置 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及一种基于光谱共焦的芯片表面形貌测量装置，包括基座、二维电动位移平台、立柱支架、升降板、Z向高度调节机构、点激光位移传感器、光谱共焦传感器和传感器夹具，在所述基座的一侧安装有立柱支架，所述的Z向高度调节机构固定安装在所述的立柱支架上，与基座之间形成间距；所述的升降板安装在的Z向高度调节机构上，通过Z向高度调节机构驱动；在所述升降板的外侧安装有点激光位移传感器，内侧安装有传感器夹具。本实用新型的优点是：先通过点激光位移传感器进行粗对焦后，再使用Z向高度调整机构进行精确对焦，便于实现自动化操作，提高了检测效率，保证了测量精度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种基于光谱共焦的芯片表面形貌测量装置，涉及精密测量技术领域。
背景技术
在进行芯片测量时，由于用于测量表面形貌的光谱共焦传感器，为保证测量的精度，往往选用的量程很小(最小可以到0.1mm)，使用传统手动对焦很难调整样品到光谱共焦传感器的量程范围内。
实用新型内容
为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种基于光谱共焦的芯片表面形貌测量装置，本实用新型的技术方案是：
一种基于光谱共焦的芯片表面形貌测量装置，包括基座、二维电动位移平台、立柱支架、升降板、Z向高度调节机构、点激光位移传感器、光谱共焦传感器和传感器夹具，在所述基座的一侧安装有立柱支架，所述的Z向高度调节机构固定安装在所述的立柱支架上，与基座之间形成间距；所述的升降板安装在Z向高度调节机构上，通过Z 向高度调节机构驱动；在所述升降板的外侧安装有点激光位移传感器，内侧安装有传感器夹具，该传感器夹具上安装有沿竖直方向设置的光谱共焦传感器；在所述Z向高度调节机构下部的基座上安装有二维电动位移平台。
所述二维电动位移平台的载物台与所述的点激光位移传感器以及光谱共焦传感器相对应。
所述的基座呈矩形设置。
本实用新型的优点是：先通过点激光位移传感器进行粗对焦后，再使用Z向高度调整机构进行精确对焦，便于实现自动化操作，提高了检测效率，保证了测量精度。
附图说明
图1是本实用新型的主体结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例来进一步描述本实用新型，本实用新型的优点和特点将会随着描述而更为清楚。但这些实施例仅是范例性的，并不对本实用新型的范围构成任何限制。本领域技术人员应该理解的是，在不偏离本实用新型的精神和范围下可以对本实用新型技术方案的细节和形式进行修改或替换，但这些修改和替换均落入本实用新型的保护范围内。
参见图1，本实用新型涉及一种基于光谱共焦的芯片表面形貌测量装置，包括基座1、二维电动位移平台3、立柱支架2、升降板7、 Z向高度调节机构6、点激光位移传感器8、光谱共焦传感器10和传感器夹具9，在所述基座1的一侧安装有立柱支架2，所述的Z向高度调节机构6(现有技术，为沿Z向驱动的丝杠驱动机构)固定安装在所述的立柱支架2上，与基座1之间形成间距；所述的升降板7安装在Z向高度调节机构6上，通过Z向高度调节机构6驱动；在所述升降板7的外侧安装有点激光位移传感器8，内侧安装有传感器夹具9，该传感器夹具9上安装有沿竖直方向设置的光谱共焦传感器10；在所述Z向高度调节机构6下部的基座1上安装有二维电动位移平台 3。
所述二维电动位移平台3的载物台4与所述的点激光位移传感器8 以及光谱共焦传感器10相对应。
所述的基座1呈矩形设置。
本实用新型的工作原理是：待测样品放置在二维电动位移平台的载物台5上，由二维电动位移平台带动样品进行X方向和Y方向的平面运动。实际测量时，由于为保证Z向测量的高精度，光谱共焦传感器的量程往往很小，量程满足样品表面形貌的波峰波谷极限值即可。首先由点激光位移传感器大致测量待测样品距离光谱共焦传感器的距离，然后移动Z向高度调整机构，使待测样品表面形貌的波峰波谷位于光谱共焦传感器量程范围之内。二维电动位移平台记录待测样品的X方向和Y方向位移值，光谱共焦传感器记录Z方向位移值，通过控制器保证进给X位移值和Y位移值与Z位移值一一对应，从而形成待测样品的三维点云，后续通过分析样品的表面形貌信息。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种基于光谱共焦的芯片表面形貌测量装置，其特征在于，包括基座、二维电动位移平台、立柱支架、升降板、Z向高度调节机构、点激光位移传感器、光谱共焦传感器和传感器夹具，在所述基座的一侧安装有立柱支架，所述的Z向高度调节机构固定安装在所述的立柱支架上，与基座之间形成间距；所述的升降板安装在Z向高度调节机构上，通过Z向高度调节机构驱动；在所述升降板的外侧安装有点激光位移传感器，内侧安装有传感器夹具，该传感器夹具上安装有沿竖直方向设置的光谱共焦传感器；在所述Z向高度调节机构下部的基座上安装有二维电动位移平台。
2.根据权利要求1所述的一种基于光谱共焦的芯片表面形貌测量装置，其特征在于，所述二维电动位移平台的载物台与所述的点激光位移传感器以及光谱共焦传感器相对应。
3.根据权利要求1或2所述的一种基于光谱共焦的芯片表面形貌测量装置，其特征在于，所述的基座呈矩形设置。
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| CN202121784527.XU CN215766927U (zh) | 2021-08-02 | 2021-08-02 | 一种基于光谱共焦的芯片表面形貌测量装置 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN114593679A (zh) * | 2022-02-24 | 2022-06-07 | 苏州东辉光学有限公司 | 一种智能化高精密测高设备及其测高方法 |
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2021
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Cited By (2)
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| CN114593679A (zh) * | 2022-02-24 | 2022-06-07 | 苏州东辉光学有限公司 | 一种智能化高精密测高设备及其测高方法 |
| CN114593679B (zh) * | 2022-02-24 | 2023-08-08 | 苏州东辉光学有限公司 | 一种智能化高精密测高设备及其测高方法 |
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