CN215762429U - 一种分子泵及半导体设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种分子泵及半导体设备。分子泵包括：泵体，具有一腔体；管路，一端连接所述泵体，与所述腔体连通；仪表计，通过密封圈密封安装在所述管路上；以及，过滤装置，安装在所述管路内，并位于所述泵体和所述仪表计之间。在更换仪表计时，利用过滤装置将密封圈挡在腔体的外侧，从而有效避免密封圈被吸入分子泵中，确保分子泵的安全运行。然后，将该分子泵用于半导体设备中，有助于降低生产成本，提高生产效率。

Description

一种分子泵及半导体设备

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种分子泵及半导体设备。

背景技术

半导体制造领域中，需要采用多种半导体加工设备完成半导体的生产，而至少部分加工设备需要利用分子泵，使设备内部形成一个稳定的真空状态。例如，离子注入机必须在高真空状态下运行，因此离子注入机上常常连接有分子泵，使其内部形成高真空状态。同时，在分子泵上安装有多个仪表计，监测分子泵的运行状态，确保分子泵稳定、安全运行，从而有助于确保半导体设备的运行。

生产过程中，若分子泵上连接的仪表计有故障或损害，需要进行及时更换。在更换仪表计时，因分子泵内部为负压状态，导致密封仪表计的密封圈容易被吸入分子泵内。而分子泵是一种高速旋转的机械泵，被吸入的密封圈会对分子泵的叶片造成极大的损坏，从而导致分子泵损坏。同时，密封圈被吸入分子泵，需要将分子泵从半导体设备上拆下来进行维修，而维修需要耗费时间、人力、物力等，增大生产成本，影响生产效率。因此，为了确保生产安全和效率，如何有效避免密封圈被吸入分子泵中，是一个需要解决的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种分子泵及半导体设备，以解决现有技术中更换分子泵上的仪表计时，密封圈容易被吸入分子泵，导致分子泵损坏的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种分子泵，包括：

泵体，具有一腔体；

管路，一端连接所述泵体，与所述腔体连通；

仪表计，通过密封圈密封安装在所述管路上；以及，

过滤装置，安装在所述管路内，并位于所述泵体和所述仪表计之间。

可选的，还包括吸气组件，位于所述腔体内，用于对所述腔体抽真空。

可选的，所述过滤装置包括连接件和过滤网，所述过滤网嵌入所述连接件内，所述连接件与所述管路固定连接。

可选的，所述连接件焊接于所述管路的内壁；或者，所述连接件螺纹连接于所述管路的内壁。

可选的，所述过滤网为金属材质。

可选的，所述过滤网的网孔最大尺寸小于所述密封圈的尺寸。

可选的，所述密封圈为弹性材质。

可选的，所述密封圈为橡胶材质。

可选的，所述仪表计的安装头内嵌至所述管路中，以使所述仪表计在所述管路的内壁上通过所述密封圈安装在所述管路上。

本实用新型还提供一种半导体设备，其特征在于，包括上述的分子泵。

在本实用新型提供的分子泵中，通过在管路内安装过滤装置，使其位于泵体和仪表计之间，使得在更换分子泵上的仪表计时，可将密封圈档在泵体外，有效避免密封圈被吸入分子泵的腔体中，确保分子泵的安全运行。在将该分子泵用于半导体设备中时，有助于降低生产成本，提高生产效率。

附图说明

图1为本实用新型一实施例提供的分子泵的结构示意图。

具体实施方式

如背景技术所述，现有的分子泵上的仪表计在更换时，用于密封仪表计的密封圈容易被吸入分子泵内，导致分子泵损坏。为此，本实施例提供了一种分子泵，可以将密封圈挡在分子泵外，有效避免密封圈被吸入分子泵内。

以下结合附图1和具体实施例对本实用新型提出的分子泵及半导体设备作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

图1为本实用新型一实施例提供的分子泵的结构示意图。如图1所示，分子泵包括泵体100、管路200、仪表计300、密封圈400和过滤装置500。

其中，泵体100具有腔体。所述分子泵用于抽真空时，所述腔体内呈现负压状态，因此在拆卸仪表计300时极易导致密封圈400被吸入，此时即可通过所述过滤装置500将所述密封圈400挡在腔体外，有效避免密封圈被吸入分子泵的腔体中，确保分子泵的安全运行。

进一步的，所述分子泵包括吸气组件，所述吸气组件位于所述腔体内，用于将气体分子从腔体的入口处驱向腔体的排气口，实现对腔体抽真空，此时会使得所述腔体内的气压为负压。具体的，吸气组件包括定子叶片、转子叶片、转动轴和驱动机构等结构，分子泵工作时，转子叶片的叶片端的转速高达数百m/s，接近分子的平均速度，通过和气体分子的碰撞将分子搬运到排气口，从而实现抽真空功能。

继续参考图1所示，所述管路200一端连接所述泵体100，并与所述腔体连通。具体的，所述分子泵的腔体上设置有接口，所述管路200通过接口连接所述腔体。所述管路的端口例如为圆环形，所述泵体100的接口可对应设置为圆环形，以和所述管路的端口相匹配并相互连接。其中，可使所述管路的内口径大于接口的外径，此时所述管路即可套接在接口的外侧，并可通过焊接或螺纹固定等方式与接口固定连接。

本实施例中，仅示意的示出了管路200为圆环柱体结构，然而其他实施例中，所述管路还可具有弯折的部分，以适应其使用环境。

继续参考图1所示，所述仪表计300设置在所述管路200上，以用于对分子泵的相关参数进行检测。例如，所述仪表计300为真空计，则可用于对分子泵中的真空状态进行检测。具体的，真空计例如可采用热阴极电离真空计，可测量10¹～10^-6Pa范围内的压力。或者，所述仪表计300为气体流量计，可用于测量分子泵的抽速。

具体的，所述仪表计300通过密封圈400安装于所述管路200上。即，所述密封圈400位于所述管路200与所述仪表计300之间，用于确保仪表计300有较好的密封性。其中，所述密封圈为O型密封圈，为弹性材质，例如可为橡胶材质。

可选的方案中，所述仪表计300具有安装头，所述仪表计300的安装头嵌入至所述管路200中，以使所述仪表计300在所述管路200的内壁上通过所述密封圈400安装在所述管路200上。应当认识到，通过将所述仪表计300的安装头嵌入至管路中，将有利于提高对管路内的状态的准确测量，然而也会使得密封圈容易被吸入，为此，本实施例中通过设置过滤装置，以克服这一问题。

本实施例中，所述仪表计300设置在所述管路200的端部，用于测量分子泵内部的相关参数。然而其他实施例中，所述仪表计300可设置在所述管路200的管体上的任意位置，只要使所述仪表计300和所述腔体分设在过滤装置500的两侧即可。

进一步的，所述过滤装置500安装在所述管路200内，位于所述泵体100和所述仪表计300之间。其中，所述过滤装置可抵抗所述腔体内产生的负压吸力，因此即使受到腔体内的负压吸力，所述过滤装置仍能够稳固的固定在所述管路内。

进一步的，所述过滤装置500包括连接件和过滤网，所述过滤网嵌入所述连接件内，所述连接件与所述管路固定连接。

具体的，所述连接件焊接于所述管路的内壁；或者，所述连接件螺纹连接于所述管路的内壁。如此，以使所述过滤装置在所述管路内具有较大的固定强度，以抵抗腔体内产生的负压吸力。例如，所述连接件具有贴合于管路内壁的安装片，所述安装片和所述管路之间利用螺纹连接。又或者，还可将所述过滤装置设置在所述管路靠近所述腔体的端口上，有利于所述过滤装置的安装和更换。

进一步的，所述过滤网为金属材质，例如为不锈钢、铝。由于金属材质具有较大的硬度，因此可以较好的抵抗负压吸力。

进一步的，所述过滤网的网孔最大尺寸小于所述密封圈的尺寸。本实施例中，所述过滤网的网孔密集分布，不仅可用于防止密封圈被吸入至腔体内，还可用于防止例如螺钉、螺帽等物质被吸入至腔体内。

本实施例还提供了一种半导体设备，包括上述的分子泵，有助于降低生产成本，提高生产效率。所述半导体设备例如包括离子注入机、刻蚀设备等。

以离子注入机为例，在离子注入过程，离子注入机的工艺腔室需要维持在极低的真空状态下，避免要注入的离子束在腔室的移动过程中被其他粒子干扰。因此，离子注入机上需要安装分子泵，对离子注入机的工艺腔室进行抽气，使工艺腔室保持在极低的真空状态。其中，离子注入机例如可为中电流注入机。

综上可见，在本实用新型实施例提供的分子泵中，通过在管路内安装过滤装置，使其位于泵体和仪表计之间，使得在更换分子泵上的仪表计时，可将密封圈档在泵体外，有效避免密封圈被吸入分子泵的腔体中，确保分子泵的安全运行。在该分子泵用于半导体设备中时，有助于降低生产成本，提高生产效率。

Claims (10)

1.一种分子泵，其特征在于，包括：

泵体，具有一腔体；

管路，一端连接所述泵体，与所述腔体连通；

仪表计，通过密封圈密封安装在所述管路上；以及，

过滤装置，安装在所述管路内，并位于所述泵体和所述仪表计之间。

2.如权利要求1所述的分子泵，其特征在于，还包括吸气组件，位于所述腔体内，用于对所述腔体抽真空。

3.如权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述过滤装置包括连接件和过滤网，所述过滤网嵌入所述连接件内，所述连接件与所述管路固定连接。

4.如权利要求3所述的分子泵，其特征在于，所述连接件焊接于所述管路的内壁；或者，所述连接件螺纹连接于所述管路的内壁。

5.如权利要求3所述的分子泵，其特征在于，所述过滤网为金属材质。

6.如权利要求3所述的分子泵，其特征在于，所述过滤网的网孔最大尺寸小于所述密封圈的尺寸。

7.如权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述密封圈为弹性材质。

8.如权利要求7所述的分子泵，其特征在于，所述密封圈为橡胶材质。

9.如权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述仪表计的安装头内嵌至所述管路中，以使所述仪表计在所述管路的内壁上通过所述密封圈安装在所述管路上。

10.一种半导体设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的分子泵。

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