CN215639267U - 一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置，包括干涉仪检测台，所述干涉仪检测台的中部设置有滑轨；气浮平台，其固定安装在所述干涉仪检测台的左侧，所述气浮平台的内部设置有上平面，所述上平面的内部安置有水平仪；测试件，其设置在所述气浮平台的表面；挡板，其安置在所述气浮平台的右侧，所述挡板的下方连接有第一支杆，所述第一支杆的下方安置有第二支杆。该具有固定结构的激光干涉仪调整装置，与现有的装置相比，通过水平仪的使用，使用第一调节件调整气浮平台进行微量调整，调整后水平仪配合调整使其平面保持水平，避免水平面误差使，激光检测仪校准偏差，造成后续产品检测误差过大。

Description

一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置

技术领域

本实用新型涉及调整装置技术领域，具体为一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置。

背景技术

现代干涉测量技术采用激光作为光源并且综合了光学和电子学的最新成就，具有量程大、分辨率高、抗干扰能力强、测量精度高等特点，另外随着科学技术的迅速发展，现在工业对测量要求越来越高，其他方法已难以胜任，因此在现代工业中应用非常广泛。

现有的调整装置，由于传统的激光干涉仪检测大角度产品的对焦装置对使用者操作水平要求很高，使用者的熟练程度决定检测质量，且使用过程中聚焦移动，调整高度较为麻烦的问题，为此，我们提出一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置，以解决上述背景技术中提出由于现有的调整装置，由于传统的激光干涉仪检测大角度产品的对焦装置对使用者操作水平要求很高，使用者的熟练程度决定检测质量，且使用过程中聚焦移动，调整高度较为麻烦的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置，包括：

干涉仪检测台，所述干涉仪检测台的中部设置有滑轨；

气浮平台，其固定安装在所述干涉仪检测台的左侧，所述气浮平台的内部设置有上平面，所述上平面的内部安置有水平仪；

调节杆，其固定在所述上平面的下端面，所述调节杆的表面安装有第一调节件，所述第一调节件的右侧安置有第二调节件，所述第二调节件的一侧安装有千分表；

测试件，其设置在所述气浮平台的表面；

挡板，其安置在所述气浮平台的右侧，所述挡板的下方连接有第一支杆，所述第一支杆的下方安置有第二支杆。

优选的，所述水平仪与上平面之间为固定连接，所述上平面表面的水平度与水平仪水平度一致。

优选的，所述第一支杆贯穿于第二支杆的内部，所述第一支杆的外径小于第二支杆的内径。

优选的，所述第二支杆与滑轨之间构成滑动结构，所述第二支杆与滑轨的外形尺寸相吻合。

优选的，所述挡板还设有：

镜框，其设置在所述挡板的右侧，所述镜框的一侧安置有主镜，所述镜框远离主镜的一侧安置有分光镜；

第一磁块，其设置在所述镜框的内部，所述第一磁块的下方安置有第二磁块；

旋转轴件，其安装在所述第二磁块的下方；

激光源，其设置在所述镜框的右侧。

优选的，所述第一磁块与第二磁块之间为磁吸连接，所述第一磁块的直径大于镜框的直径。

优选的，所述第二磁块与旋转轴件之间为焊接，所述镜框与旋转轴件之间构成旋转结构。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置，具备以下有益效果：该激光干涉仪调整装置通过将测试件放置在气浮平台，并使用水平仪和第一调节件的配合将角度调节平台调至水平，打开激光源移动挡板，使挡板上显示激光反射点，通过调节使挡板上的激光透射点和反射点重合，完成干涉仪工作前的校准，通过聚焦校准方便使用者快速操作使用，降低了对使用的操作使用的要求，提高产品检测效率。

1.本实用新型通过水平仪的使用，使用第一调节件调整气浮平台进行微量调整，调整后水平仪配合调整使其平面保持水平，避免水平面误差使，激光检测仪校准偏差，造成后续产品检测误差过大，通过第一支杆和第二支杆的使用便于随时调整挡板的高度，通过距离与高度位置关系的调整，便于快速对激光干涉仪测试预先准备的调整参考值进行调试，快速完成对其的校准工作；

2.本实用新型通过第二支杆底部在滑轨内部滑动，便于挡板向左或者向右灵活移动，通过滑轨的使用使其位置距离的调整快速进行，且可同步进行其他操作，简化工作流程，通过第一磁块与第二磁块之间的磁吸连接，使镜框能稳定与底座进行连接，保证其连接的稳定性，避免镜框的晃动使主镜与分光镜偏斜，使其校准结构不准，降低检测准确性；

3.本实用新型通过旋转轴件的使用，使镜框实现灵活转动，避免转动角度调整麻烦问题，方便根据使用需求转动镜框，使其进行一定角度的偏转，再通过调节使挡板上的激光透射点和反射点重合，完成干涉仪工作前的校准，通过聚焦校准方便使用者快速操作使用。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型俯视结构示意图；

图3为本实用新型镜框立体结构示意图；

图4为本实用新型气浮平台内部结构示意图；

图5为本实用新型气浮平台剖面结构示意图。

图中：1、干涉仪检测台；2、滑轨；3、气浮平台；4、上平面；5、第一磁块；6、调节杆；7、第一调节件；8、第二磁块；10、第二调节件；11、水平仪；12、千分表；13、测试件；14、挡板；15、第一支杆；16、第二支杆；17、镜框；18、主镜；19、分光镜；20、旋转轴件；21、激光源。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-2、图4-5所示，一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置，包括：干涉仪检测台1，干涉仪检测台1的中部设置有滑轨2，第二支杆16与滑轨2之间构成滑动结构，第二支杆16与滑轨2的外形尺寸相吻合，过第二支杆16底部在滑轨2内部滑动，便于挡板14向左或者向右灵活移动，通过滑轨2的使用使其位置距离的调整快速进行，且可同步进行其他操作，简化工作流程；气浮平台3，其固定安装在干涉仪检测台1的左侧，气浮平台3的内部设置有上平面4，上平面4的内部安置有水平仪11，水平仪11与上平面4之间为固定连接，上平面4表面的水平度与水平仪11水平度一致，通过水平仪11的使用，通过使用第一调节件7调整气浮平台3进行微量调整，调整后水平仪11配合调整使其平面保持水平，避免水平面误差使，激光检测仪校准偏差，造成后续产品检测误差过大；调节杆6，其固定在上平面4的下端面，调节杆6的表面安装有第一调节件7，第一调节件7的右侧安置有第二调节件10，第二调节件10的一侧安装有千分表12；测试件13，其设置在气浮平台3的表面；挡板14，其安置在气浮平台3的右侧，挡板14的下方连接有第一支杆15，第一支杆15的下方安置有第二支杆16，第一支杆15贯穿于第二支杆16的内部，第一支杆15的外径小于第二支杆16的内径，通过第一支杆15和第二支杆16的使用便于随时调整挡板14的高度，通过距离与高度位置关系的调整，便于快速对激光干涉仪测试预先准备的调整参考值进行调试，快速完成对其的校准工作。

如图1-3所示，一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置，包括：挡板14还设有：镜框17，其设置在挡板14的右侧，镜框17的一侧安置有主镜18，镜框17远离主镜18的一侧安置有分光镜19；第一磁块5，其设置在镜框17的内部，第一磁块5的下方安置有第二磁块8，第一磁块5与第二磁块8之间为磁吸连接，第一磁块5的直径大于镜框17的直径，通过第一磁块5与第二磁块8之间的磁吸连接，使镜框17能稳定与底座进行连接，保证其连接的稳定性，避免镜框17的晃动使主镜18与分光镜19偏斜，使其校准结构不准，降低检测准确性；旋转轴件20，其安装在第二磁块8的下方，第二磁块8与旋转轴件20之间为焊接，镜框17与旋转轴件20之间构成旋转结构，通过旋转轴件20的使用，使镜框17实现灵活转动，避免转动角度调整麻烦问题，方便根据使用需求转动镜框17，使其进行一定角度的偏转，再通过调节使挡板14上的激光透射点和反射点重合，完成干涉仪工作前的校准，通过聚焦校准方便使用者快速操作使用；激光源21，其设置在镜框17的右侧。

综上，在使用该具有固定结构的激光干涉仪调整装置时，将气浮平台3与挡板14之间的位置关系进行初步调整，然后通过水平仪11和第一调节件7与调节杆6的配合将气浮平台3调至水平，千分表12调整完毕后将测试件13放置于上平面4，移动气浮平台3使其位于合适的待校准位置范围，打开激光源21，激光穿过镜框17一侧分光镜19，并由另一侧主镜18透过，镜框17通过第一磁块5和第二磁块8保障稳定连接，并使用旋转轴件20可灵活进行一定角度调节，通过调节第一支杆15；和第二支杆16之间的高度对挡板14高度关系进行调整，并使用第二支杆16在滑轨2的内部滑动，缓慢移动挡板14，调整挡板14上显示激光反射点，调节杆6分布呈正三角形结构，使用第二调节件10使上平面4的前端靠近挡板14，使用第一调节件7使上平面4后端远离挡板14，通过干涉仪检测台1等工具完成校准工作。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置，其特征在于，包括：

干涉仪检测台(1)，所述干涉仪检测台(1)的中部设置有滑轨(2)；

气浮平台(3)，其固定安装在所述干涉仪检测台(1)的左侧，所述气浮平台(3)的内部设置有上平面(4)，所述上平面(4)的内部安置有水平仪(11)；

调节杆(6)，其固定在所述上平面(4)的下端面，所述调节杆(6)的表面安装有第一调节件(7)，所述第一调节件(7)的右侧安置有第二调节件(10)，所述第二调节件(10)的一侧安装有千分表(12)；

测试件(13)，其设置在所述气浮平台(3)的表面；

挡板(14)，其安置在所述气浮平台(3)的右侧，所述挡板(14)的下方连接有第一支杆(15)，所述第一支杆(15)的下方安置有第二支杆(16)。

2.根据权利要求1所述的一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置，其特征在于，所述水平仪(11)与上平面(4)之间为固定连接，所述上平面(4)表面的水平度与水平仪(11)水平度一致。

3.根据权利要求1所述的一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置，其特征在于，所述第一支杆(15)贯穿于第二支杆(16)的内部，所述第一支杆(15)的外径小于第二支杆(16)的内径。

4.根据权利要求1所述的一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置，其特征在于，所述第二支杆(16)与滑轨(2)之间构成滑动结构，所述第二支杆(16)与滑轨(2)的外形尺寸相吻合。

5.根据权利要求1所述的一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置，其特征在于：所述挡板(14)还设有：

镜框(17)，其设置在所述挡板(14)的右侧，所述镜框(17)的一侧安置有主镜(18)，所述镜框(17)远离主镜(18)的一侧安置有分光镜(19)；

第一磁块(5)，其设置在所述镜框(17)的内部，所述第一磁块(5)的下方安置有第二磁块(8)；

旋转轴件(20)，其安装在所述第二磁块(8)的下方；

激光源(21)，其设置在所述镜框(17)的右侧。

6.根据权利要求5所述的一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置，其特征在于，所述第一磁块(5)与第二磁块(8)之间为磁吸连接，所述第一磁块(5)的直径大于镜框(17)的直径。

7.根据权利要求5所述的一种具有固定结构的激光干涉仪调整装置，其特征在于，所述第二磁块(8)与旋转轴件(20)之间为焊接，所述镜框(17)与旋转轴件(20)之间构成旋转结构。

Images