CN209656573U - 一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，包括激光干涉仪，所述激光干涉仪的一侧设有带倾斜面的检测支架，所述倾斜面上固设有反射镜，所述检测支架的上部固设有基片放置平台，所述基片放置平台上可拆卸设置有放置待测基片的基片放置夹具，所述倾斜面与水平面形成的锐角大小等于所述激光干涉仪发射的入射光线射向反射镜时形成的入射角大小，所述入射光线经过反射镜反射形成的反射光线与所述待测基片的中心轴线重合，所述基片放置夹具上与待测基片接触面均匀布设有若干用于承载待测基片的钢珠，利用待测基片的自身重力来放置固定基片，方便简洁，同时避免基片多处受力影响面型参数及镜面的光洁度，避免基片被刮花，且提高了检测效率。

Description

一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置

技术领域

本实用新型属于光学透镜检测技术领域，具体涉及一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置。

背景技术

光学元件中的透镜和平面镜，往往需要使用激光平面干涉仪和激光球面干涉仪检测面型、反射波前等光学指标，在检测的过程中主要是通过竖直放置的夹具对每一片透镜和平面镜进行夹紧，同时通过手动调制其反射像点，使入射光线和反射光线重合产生干涉条纹，这样的检测装置主要缺点有：1、需要浪费大量的时间精确调制。2、要求检测装置人员有经验丰富调制经验和娴熟的手法。3、每一片检测基片都需要执行一次一样的操作，操作繁琐同时浪费时间。4、在透镜的检测过程中，每一片都需要微调夹具前后距离来使透镜聚焦，无疑增加单片的检测时效。

申请号为CN201820960018.X的专利公开了一种高精度的光学透镜检测装置，包括呈水平设置的基板和位于基板正上方的检测组件，所述基板的顶部设有能够驱动检测组件沿基板的长度方向移动的驱动组件，检测组件的底部设有能够驱动其沿基板的宽度方向移动的丝杆滑台，丝杆滑台的滑块与检测组件固定连接，检测组件的前端设有两个对称设置的聚光板，两个聚光板均呈竖直设置且两者之间的间距自基板的前端向其末端逐渐减小，基板的前端设有与其固定连接的投影板，检测组件的输出端朝向投影板设置，两个聚光板之间设有用于固定光学透镜的定位组件，这种透镜检测装置需要使用夹具对透镜进行固定，操作繁琐，且容易影响透镜的光洁度，且透镜受力情况下面型等参数可能造成不稳定的现象，同时每次检测都需要调节夹具前后距离来使得透镜聚焦，增加单片的检测时效。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，包括激光干涉仪，所述激光干涉仪的一侧设有带倾斜面的检测支架，所述倾斜面上固设有反射镜，所述检测支架的上部固设有基片放置平台，所述基片放置平台上可拆卸设置有放置待测基片的基片放置夹具，所述倾斜面与水平面形成的锐角大小等于所述激光干涉仪发射的入射光线射向反射镜时形成的入射角大小，所述入射光线经过反射镜反射形成的反射光线与所述待测基片的中心轴线重合，所述基片放置夹具上与待测基片接触面均匀布设有若干用于承载待测基片的钢珠。

将待测基片放置在基片放置夹具上面，通过钢珠与待测基片接触并支撑待测基片，使得待测基片完全通过自身重力平稳放置在基片放置平台上，在没有其他受力情况下，待测基片的面型等相关参数比较稳定，保证检测结果的准确性；同时能够有效保护待测基片的光洁度，确保待测基片不会被刮花，激光干涉仪发射检测光经过反射镜偏转后达到待测基片的表面，可通过待测基片的第一表面反射检测待测基片的面型参数，也可以透过待测基片达到第二表面反射检测待测基片的波前参数，检测光经过待测基片的上表面或者下表面反射后再经过反射镜达到激光干涉仪的CCD探测仪上产生干涉条纹，通过分析干涉条纹达到检测透镜、平面镜的表面质量和透过系数等相关参数，且仅需移动一次调焦距离尺寸工整就可以检测同一批次的所有待测基片，避免传统的检测装置需要重复对焦、以及固定待测基片的繁琐过程，极大提高了工作效率。

进一步的，所述检测支架采用高强度铝合金材质制备，硬度高可减少检测装置的震动，增加检测透镜/平面镜的精度。

进一步的，所述反射镜为金属膜或介质膜反射镜，采用不同波段膜系的金属和介质膜反射镜，能够起到一个装置检测多种不同材料和膜系的透镜指标，通过镀膜使得反射率达到98％以上，不影响检测激光干涉仪射出的光束质量，避免检测光分散，影响检测结果。

进一步的，所述检测支架的底部安装有俯仰和前后微调检测支架的微调平台，通过微调平台来对检测支架进行微调，包括俯仰角度以及前后位置的调节，使得装置便于检测平面反射镜，同时也仅需要调制一次平面镜的反射像点即可检测同一批次的所有反射镜，无需重复调制。

进一步的，所述检测支架的底部、侧面和顶部均设有紧固的螺丝空位，既可与检测装置形成一个整体，又可安装在其他的可移动的调制平台上，有效的提高了检测装置的整体性和便携性。

进一步的，所述入射角为45°，即在检测待测基片时，激光干涉仪的检测光是水平射向反射镜的，只需要通过移动激光干涉仪的位置来调节检测光经过反射镜偏转后射向待测透镜时的入射光和反射光重合即可。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、利用基片的自身重力来放置固定基片，方便简洁，同时避免基片多处受力影响面型参数及镜面的光洁度，避免基片被刮花，且提高了检测效率。

2、检测光通过反射镜偏转后垂直向上入射至待测基片中心，无需多次调制即可检测同一批次的待测基片。

3、检测支架的底部、侧面和顶部均设有紧固的螺丝空位，既可与检测装置形成一个整体，又可安装在其他的可移动的调制平台上，有效的提高了检测装置的整体性和便携性。

附图说明

图1为本实用新型检测装置结构示意图；

图2为本实用新型检测装置工作示意图；

图3为本实用新型具体实施例中剪切干涉仪的结构示意图；

图中：1、激光干涉仪；2、检测支架；3、基片放置平台；4、基片放置夹具；5、反射镜；6、钢珠；7、微调平台；8、待测基片；9、平行平板；10、毛玻璃；11、夹具。

具体实施方式

下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动条件下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1：

如图1-2所示，一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，包括激光干涉仪1，所述激光干涉仪1的一侧设有带倾斜面的检测支架2，所述倾斜面上固设有反射镜5，所述检测支架2的上部固设有基片放置平台3，所述基片放置平台3上可拆卸设置有放置待测基片8的基片放置夹具4，可拆卸方式包括螺纹连接、止口配合，可随时更换不同尺寸，不同形状，起到同时检测形状大小不一的各种产品的作用，所述倾斜面与水平面形成的锐角大小等于所述激光干涉仪1发射的入射光线射向反射镜5时形成的入射角大小，所述入射光线经过反射镜5反射形成的反射光线与所述待测基片8的中心轴线重合，所述中心轴线为垂直于待测基片8所在水平面且穿过待测基片8中心的一条线，所述基片放置夹具4上与待测基片8接触面均匀布设有若干用于承载待测基片8的钢珠6。

将需要检测的透镜、平面镜基片放置在基片放置夹具4上面，通过钢珠6与待测基片8接触并支撑待测基片8，使得待测基片8完全通过自身重力平稳放置在基片放置平台3上，在没有其他受力情况下待测基片8的面型等相关参数比较稳定，保证检测结果的准确性；同时能够有效保护镜面的光洁度，确保待测基片8不会被刮花，激光干涉仪1的检测光(即入射光线)经过反射镜5后达到待测基片8的表面，可通过待测基片8的第一表面反射检测待测基片8的面型参数，也可以透过待测基片8达到第二表面反射检测待测基片8的波前参数，检测光经过待测基片8的上表面或者下表面反射后再经过反射镜5达到激光干涉仪1的CCD探测仪上产生干涉条纹，通过分析干涉条纹达到检测透镜、平面镜的表面质量和透过系数等相关参数，且仅需移动一次调焦距离尺寸工整就可以检测同一批次的所有待测基片8，避免传统的检测装置需要重复对焦、以及固定透镜的繁琐过程，极大提高了工作效率。

优选的，所述检测支架2采用高强度铝合金材质制备，硬度高可减少检测装置的震动，增加检测透镜/平面镜的精度。

进一步的，所述反射镜5为金属膜或介质膜反射镜，采用不同波段膜系的金属膜和介质膜反射镜，能够起到一个装置检测多种不同材料和膜系的透镜指标，通过镀膜使得反射率达到98％以上，不影响检测激光干涉仪1射出的光束质量，避免检测光分散，影响检测结果。

进一步的，所述检测支架2的底部安装有俯仰和前后微调检测支架的微调平台7，此微调平台可采用市面常见的高精度XY轴精密型微调架，也可采用光学调整架(俯仰调整架和前后调整架)，通过微调平台7来对检测支架2进行微调，包括俯仰角度以及前后位置的调节，使得装置便于检测平面镜，同时也仅需要调制一次平面镜的反射像点即可检测同一批次的所有平面镜，无需重复调制。通过俯仰调整架使激光剪切干涉仪发射的检测光与通过透镜反射回来的反射光重合产生干涉，再通过前后调整架来精确调制检测透镜的焦点位置。

进一步的，所述检测支架2的底部、侧面和顶部均设有紧固的螺丝空位，既可与检测装置形成一个整体，又可安装在其他的可移动的调制平台上，有效的提高了检测装置的整体性和便携性。

实施例2：

如图3所示，可将基片放置夹具4更换成毛玻璃10，用作显示屏，将反射镜5更换成平行平板9，再添加一个产品夹具11，所述夹具11为光学上常用的透镜夹具，使得该装置成为自制的剪切干涉仪。其工作原理为激光通过中间平行平板(镀半反半透膜)透射到待检的透镜基片上，经过反射后，再经过平行平板的前表面和后表面反射在毛玻璃产生干涩条纹，通过分析检测条纹的条纹数、弯曲程度来分析产品的面型、波前、平行和棱镜角精度等参数。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，包括激光干涉仪，其特征在于，所述激光干涉仪的一侧设有带倾斜面的检测支架，所述倾斜面上固设有反射镜，所述检测支架的上部固设有基片放置平台，所述基片放置平台上可拆卸设置有放置待测基片的基片放置夹具，所述倾斜面与水平面形成的锐角大小等于所述激光干涉仪发射的入射光线射向反射镜时形成的入射角大小，所述入射光线经过反射镜反射形成的反射光线与所述待测基片的中心轴线重合，所述基片放置夹具上与待测基片接触面均匀布设有若干用于承载待测基片的钢珠。

2.如权利要求1所述的一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，其特征在于，所述检测支架采用高强度铝合金材质制备。

3.如权利要求1所述的一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，其特征在于，所述反射镜为金属膜或介质膜反射镜。

4.如权利要求1所述的一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，其特征在于，所述检测支架的底部安装有俯仰和前后微调检测支架的微调平台。

5.如权利要求1所述的一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，其特征在于，所述检测支架的底部、侧面和顶部均设有紧固的螺丝空位。

6.如权利要求1所述的一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，其特征在于，所述入射角为45°。