CN215598085U - 一种无需变压器的管式加热炉体 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及管式加热炉领域，具体公开了一种无需变压器的管式加热炉体，包括管式加热炉体，所述管式加热炉体的外表面设置有加热炉外壳，所述加热炉外壳的内侧壁安装有保温层，所述保温层的内部设置有陶瓷块组，所述陶瓷块组的内部安装有加热丝组，所述陶瓷块组与所述加热丝组之间连接有背丝，所述加热丝组的外表面位于所述加热炉外壳的外侧连接有接线柱。通过将加热丝组分成多段组装式设置，在每段相邻的加热丝之间设置有等距的预留槽，从而可以实现利用每段加热丝分别独立的外接电源，能多点控温，又能省去变压器，为设备节省了大量的的内部空间，并降低了整台设备的造价，并且降低了安装调试过程中的工作量。
Description
技术领域
本实用新型涉及管式加热炉领域，具体是一种无需变压器的管式加热炉体。
背景技术
在半导体晶圆制造，光伏电池片的镀膜、扩散、氧化，金属材料的退火等工艺，在半导体晶圆生产中，进行镀膜、扩散、氧化、退火工艺的设备中的管式加热炉体通常层叠安装，每台设备会层叠加多根管式加热炉，通常管式加热炉体的发热体部分普遍采用一整根电热丝绕制成型，每一根加热炉体正常工作时都需要通过一台额外的变压器来控制调节每一段温区的电压，从而使每个温度能够独立控温运行。
但是，多层叠放的加热炉体需要配备相同数量的变压器，大量的变压器占据了整机设备中的内部空间，并提高了整台设备的造价，并且增加了安装调试过程中的工作量，连接变压器与加热炉也需要大量的线缆，成本高且不美观。
实用新型内容
针对现有的问题，本实用新型提供一种无需变压器的管式加热炉体，该装置组件包括加热丝组、陶瓷块组、预留槽等配合使用可以有效的解决背景技术中提出的问题。
为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案：
一种无需变压器的管式加热炉体，包括管式加热炉体，所述管式加热炉体的外表面设置有加热炉外壳，所述加热炉外壳的内侧壁安装有保温层，所述保温层的内部设置有陶瓷块组，所述陶瓷块组的内部安装有加热丝组，所述陶瓷块组与所述加热丝组之间连接有背丝，所述加热丝组的外表面位于所述加热炉外壳的外侧连接有接线柱。
作为本实用新型再进一步的方案：所述加热丝组的两端位于所述加热炉外壳的内侧壁设置有端口保温圈。
作为本实用新型再进一步的方案：所述加热丝组由多组加热丝构成，所述加热丝组与所述背丝具有相同的热膨胀系数。
作为本实用新型再进一步的方案：所述保温层为硅酸铝纤维材质构件。
作为本实用新型再进一步的方案：所述端口保温圈为硬性定型硅酸铝纤维材质构件。
作为本实用新型再进一步的方案：所述接线柱与所述加热丝组通过焊接固定，所述接线柱与所述加热炉外壳贯通连接。
作为本实用新型再进一步的方案：所述陶瓷块组与所述加热丝组卡接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、通过将加热丝组分成多段组装式设置，在每段相邻的加热丝之间设置有等距的预留槽，从而可以实现利用每段加热丝分别独立的外接电源，能多点控温，又能省去变压器，为设备节省了大量的的内部空间，并降低了整台设备的造价，并且降低了安装调试过程中的工作量。
2、硅酸铝纤维材质的保温层，具有优良的隔热效果、优越的热稳定性等，可以保证管式加热炉体内部的工艺温度不会很快散失，并让加热炉外壳保持一个相对较低的温度。
3、背丝的材质与加热丝具有同等的热膨胀系数，在正常生产的工艺温度下能维持一定的刚性，保证加热丝组在通电加热时保证一定的尺寸，不会出现加热丝和陶瓷块组脱落的情况发生。
附图说明
图1为一种无需变压器的管式加热炉体的结构示意图；
图2为一种无需变压器的管式加热炉体中管式加热炉体的内部结构示意图；
图3为一种无需变压器的管式加热炉体中管式加热炉体的剖视图。
图中：1、加热炉外壳；2、保温层；3、加热丝组；4、陶瓷块组；5、接线柱；6、背丝；7、端口保温圈；8、管式加热炉体；9、预留槽。
具体实施方式
下面结合具体实用新型对本实用新型进一步进行描述。
如图1-3所示，在本实施例中，结合图1至图3说明本实施方式，本实施方式提供了一种无需变压器的管式加热炉体，包括管式加热炉体8，管式加热炉体8的外表面设置有加热炉外壳1，加热炉外壳1的内侧壁安装有保温层2，保温层2采用硅酸铝纤维等材料制做而成，具有优良的隔热效果、优越的热稳定性、良好的抗粉化能力、低蓄热性、优良的抗压、抗折强度，低导热率、抗热震性，升温、降温迅速，抗气流冲刷，耐急冷急热等特性，保温层2的内部设置有陶瓷块组4，保温层2具备一定的低导热系数的特性，保证内部的工艺温度不会很快散失，并让加热炉外壳1保持一个相对较低的温度，端陶瓷块组4的内部安装有加热丝组3，加热丝组3由至少五组加热丝组装构成，且每组加热丝之间均设置有等距的预留槽9，陶瓷块组4沿加热丝周向均匀卡在加热丝组3的外侧，使得加热丝组3内部的每组加热丝保持一定的匝数，满足电气设计需求，保证加热丝在通电时维持正常的尺寸和状态，陶瓷块组4与加热丝组3之间连接有背丝6，加热丝组3与背丝6具有相同的热膨胀系数，加热丝组3的外表面位于加热炉外壳1的外侧连接有接线柱5，接线柱5焊接至每组加热丝的末端，且每组独立的加热丝需要焊接两个接线柱5，加热丝组3的两端位于加热炉外壳1的内侧壁设置有端口保温圈7，端口保温圈7为硬性定型的硅酸铝纤维结构，具有一定的硬度，用来支撑陶瓷块组4和内部进行工艺的物料，同时具有较低的导热系数，保证内部的温度不会受外界结构的干扰。
本实用新型的工作原理是：在进行使用时，通过将需要加热的物件放置在加热炉外壳1的内部，先根据加热炉的设计功率和电阻值，选择利用每组独立的加热丝两端可以的接线柱5连接上220V电源或者380V电源，当使用220V电源时，每个加热丝两端的接线柱5分别与220V电源的火线、零线相连接，当使用380V电源时，每个加热丝两端的接线柱5分别与不同的两相火线相连接，每一组加热丝均可以有独立的供电与控制回路，从而实现既能多点控温，又能省去变压器，为设备节省了大量的的内部空间，并降低了整台设备的造价，并且降低了安装调试过程中的工作量，节约了加热炉接线柱端与控制回路端的线缆，降低了使用成本，在进行加热时陶瓷块组4内部的背丝6用于加热丝和陶瓷块组4，背丝6的材质与加热丝具有同等的热膨胀系数，在正常生产的工艺温度下能维持一定的刚性，保证加热丝组3在通电加热时保证一定的尺寸，可以同时产生膨胀或是收缩作用，防止发生脱落的情况出现，加热丝组3与加热炉外壳1之间的保温层2在进行工作中，可以保证管式加热炉体8内部的工艺温度不会很快散失并让加热炉外壳1保持一个相对较低的温度，在加热炉外壳1的两端具有端口保温圈7，用来支撑内部进行工艺的物料，同时具有较低的导热系数，保证内部的温度不会受外界结构的干扰。
以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种无需变压器的管式加热炉体，包括管式加热炉体(8)，其特征在于，所述管式加热炉体(8)的外表面设置有加热炉外壳(1)，所述加热炉外壳(1)的内侧壁安装有保温层(2)，所述保温层(2)的内部设置有陶瓷块组(4)，所述陶瓷块组(4)的内部安装有加热丝组(3)，所述陶瓷块组(4)与所述加热丝组(3)之间连接有背丝(6)，所述加热丝组(3)的外表面位于所述加热炉外壳(1)的外侧连接有接线柱(5)。
2.根据权利要求1所述的一种无需变压器的管式加热炉体，其特征在于，所述加热丝组(3)的两端位于所述加热炉外壳(1)的内侧壁设置有端口保温圈(7)。
3.根据权利要求1所述的一种无需变压器的管式加热炉体，其特征在于，所述加热丝组(3)由多组加热丝构成，所述加热丝组(3)与所述背丝(6)具有相同的热膨胀系数。
4.根据权利要求1所述的一种无需变压器的管式加热炉体，其特征在于，所述保温层(2)为硅酸铝纤维材质构件。
5.根据权利要求2所述的一种无需变压器的管式加热炉体，其特征在于，所述端口保温圈(7)为硬性定型硅酸铝纤维材质构件。
6.根据权利要求1所述的一种无需变压器的管式加热炉体，其特征在于，所述接线柱(5)与所述加热丝组(3)通过焊接固定，所述接线柱(5)与所述加热炉外壳(1)贯通连接。
7.根据权利要求1所述的一种无需变压器的管式加热炉体，其特征在于，所述陶瓷块组(4)与所述加热丝组(3)卡接。
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Country Status (1)
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2021
- 2021-08-05 CN CN202121825771.6U patent/CN215598085U/zh active Active
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