CN215578452U - 一种退火工作台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种退火工作台，涉及半导体退火领域，其技术方案要点包括机壳、设置在机壳中的炉膛、多条用于输送保护气体的气路管道、设置在机壳中由多块陶瓷纤维板拼接组成的保温室和设置在保温室内的加热装置；炉膛穿过保温室和机壳，炉膛外侧壁与保温室内侧壁之间存在缝隙，炉膛两端露出机壳并支撑在机壳上；每条气路管道的两端分别位于炉膛内侧和机壳外侧。本实用新型通过在炉膛外侧罩设陶瓷纤维板制成的保温室，减少陶瓷纤维因粘合剂挥发而散掉的可能性；同时由于保温室与炉膛之间夹存空气，而气体的导热性能较差，因此保温室的设置相对于将陶瓷纤维毡直接包覆在炉膛外侧保温效果更好也更稳定。

Description

一种退火工作台

技术领域

本实用新型涉及半导体退火领域，更具体的说，它涉及一种退火工作台。

背景技术

退火炉是半导体器件制造中用于加热半导体晶片改变其电性能的专用设备，其内部设置有用于容纳半导体晶体的加热通道，为了减缓加热过程中热量的流失速度，提高热量的利用率，在加热通道外侧与退火炉机壳之间通常会包覆一层用于保温的陶瓷纤维毡。

陶瓷纤维毡在受热之后其中用于将陶瓷纤维粘附在一起的有机溶剂会受热挥发，使得陶瓷纤维只能依靠互相交织产生的摩擦力保持包覆在加热通道的外侧的状态，极容易散掉，影响加热通道的保温效果。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种退火工作台，其通过在炉膛外侧罩设陶瓷纤维板制成的保温室，减少陶瓷纤维因粘合剂挥发而散掉的可能性；同时由于保温室与炉膛之间夹存空气，而气体的导热性能较差，因此保温室的设置相对于将陶瓷纤维毡直接包覆在炉膛外侧保温效果更好也更稳定。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种退火工作台，包括机壳、设置在机壳中的炉膛、多条用于输送保护气体的气路管道、设置在机壳中由多块陶瓷纤维板拼接组成的保温室和设置在保温室内的加热装置；炉膛穿过保温室和机壳，炉膛外侧壁与保温室内侧壁之间存在缝隙，炉膛两端露出机壳并支撑在机壳上；每条气路管道的两端分别位于炉膛内侧和机壳外侧。

通过采用上述技术方案，本实用新型采用陶瓷纤维板制成罩设在炉膛外侧的保温室，一方面由于陶瓷纤维板的制造中用于粘合纤维的主要以无机结合剂为主，在高温环境中不易挥发，使得保温室能保持罩设在炉膛外侧的状态，不易散掉，保持较高的保温效果；另一方面，由于保温室是罩设在炉膛外侧的，保温室与炉膛之间夹有空气，与固体相比，气体的导热性能较差，相对的气体的保温效果也更好。因此保温室的设置相对于将陶瓷纤维毡直接包覆在炉膛外侧保温效果更好也更稳定。

本实用新型进一步设置为：保温室包括固定在机壳内侧底壁上的陶瓷纤维底板、固定在陶瓷纤维底板上的两块相互平行的陶瓷纤维侧板、两块固定在陶瓷纤维底板上并位于两块陶瓷纤维侧板之间的陶瓷纤维端板和可拆卸的固定在两块陶瓷纤维侧板顶面和两块陶瓷纤维端板顶面上的陶瓷纤维顶盖；两块陶瓷纤维侧板顶面和两块陶瓷纤维端板固定连接构成一个矩形空腔，炉膛穿过两块陶瓷纤维端板。

本实用新型进一步设置为：保温室还包括四个限位条，四个限位条分别固定在两块陶瓷纤维侧板顶面和两块陶瓷纤维端板顶面上，陶瓷纤维顶盖与两块陶瓷纤维侧板顶面和两块陶瓷纤维端板顶面相互贴合并位于四个限位条之间与四个限位条相互贴合。

通过采用上述技术方案，维修人员能将陶瓷纤维顶盖拔出四个限位条之间，打开保温室，以便于对保温室内部的装置进行维护。

本实用新型进一步设置为：还包括多个用于支撑炉膛的支架，每个支架的顶面和底面分别与陶瓷纤维顶盖和陶瓷纤维底板相互贴合；所有支架沿炉膛的长度方向排布，炉膛穿过所有支架并支撑在所有支架上。

通过采用上述技术方案，支架能撑住保温室的顶部，以免保温室塌陷；而且能撑住炉膛，减少炉膛因长度较长且支撑点不足塌掉的可能性。

本实用新型进一步设置为：还包括分别设置在炉膛两端用于向炉膛内喷射保护气体的两组喷射管道，每组喷射管道设置多个，同组的多个喷射管道喷出的保护气体形成阻隔炉膛端部与外界气体连通的气体帘幕。

本实用新型进一步设置为：多条气路管道分为两组，每组设置多个，两组气路管道分别位于炉膛的两侧。

通过采用上述技术方案，保护气体能在炉膛内部左右均匀分布。

本实用新型进一步设置为：每组气路管道分为竖直排布的两排，每排多个气路管道，同排的气路管道沿炉膛长度方向排布；保护气体从下方的一排气路管道进入炉膛，从上方的一排气路管道离开炉膛。

通过采用上述技术方案，能够减少半导体晶体被吹入气路管道堵住气路管道的可能性。

本实用新型进一步设置为：所述加热装置为刚玉加热板。

本实用新型进一步设置为：所述刚玉加热板设置两组，每组多个刚玉加热板，两组刚玉加热板分别位于炉膛的上方和下方；同组的刚玉加热板沿炉膛的长度方向排布。

通过采用上述技术方案，使得炉膛能够均匀受热。

本实用新型进一步设置为：还包括多个用于调节机壳高度的地脚螺栓。

综上所述，本实用新型相比于现有技术具有以下有益效果：

1、本实用新型通过在炉膛外侧罩设陶瓷纤维板制成的保温室，减少陶瓷纤维因粘合剂挥发而散掉的可能性；同时由于保温室与炉膛之间夹存空气，而气体的导热性能较差，因此保温室的设置相对于将陶瓷纤维毡直接包覆在炉膛外侧保温效果更好也更稳定。

陶瓷纤维板具有耐热性能和一定刚性，便于加工出具有一定几何精度的大小，便于保温室的组装。

本实用新型通过设置地脚螺栓，使得本实用新型能够调节高度，以方便设备操作人员座、立操作的方便舒适。

附图说明

图1为本实施例的整体结构示意图；

图2为本实施例的全剖视图。

图中：1、机壳；2、炉膛；3、气路管道；4、保温室；41、陶瓷纤维底板；42、陶瓷纤维侧板；43、陶瓷纤维端板；44、陶瓷纤维顶盖；45、限位条；5、加热装置；6、支架；7、喷射管道；8、地脚螺栓。

具体实施方式

为了使本领域的人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合本实用新型的附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施例中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本发明创造。

下面结合附图和较佳的实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例：

如图1和图2所示，为本实用新型较佳实施例的基本结构，一种退火工作台，包括机壳1、设置在机壳1中的炉膛2、多条用于输送保护气体的气路管道3、设置在机壳1中由多块陶瓷纤维板拼接组成的保温室4和设置在保温室4内的加热装置5；炉膛2穿过保温室4和机壳1，炉膛2外侧壁与保温室4内侧壁之间存在缝隙，炉膛2两端露出机壳1并支撑在机壳1上；每条气路管道3的两端分别位于炉膛2内侧和机壳1外侧，以便于同输送保护气体的供气设备连接，将保护气体充入炉膛2中，并使得保护气体在炉膛2与供气设备之间形成循环。

本实施例采用陶瓷纤维板制成罩设在炉膛2外侧的保温室4，一方面由于陶瓷纤维板的制造中用于粘合纤维的主要以无机结合剂为主，在高温环境中不易挥发，使得保温室4能保持罩设在炉膛2外侧的状态，不易散掉，保持较高的保温效果；另一方面，由于保温室4是罩设在炉膛2外侧的，保温室4与炉膛2之间夹有空气，与固体相比，气体的导热性能较差，相对的气体的保温效果也更好。因此保温室4的设置相对于将陶瓷纤维毡直接包覆在炉膛2外侧保温效果更好也更稳定。而且陶瓷纤维板具有耐热性能和一定刚性，便于加工出具有一定几何精度的大小，便于保温室4的组装。

保温室4包括固定在机壳1内侧底壁上的陶瓷纤维底板41、固定在陶瓷纤维底板41上的两块相互平行的陶瓷纤维侧板42、两块固定在陶瓷纤维底板41上并位于两块陶瓷纤维侧板42之间的陶瓷纤维端板43和可拆卸的固定在两块陶瓷纤维侧板42顶面和两块陶瓷纤维端板43顶面上的陶瓷纤维顶盖44；两块陶瓷纤维侧板42顶面和两块陶瓷纤维端板43固定连接构成一个矩形空腔，炉膛2穿过两块陶瓷纤维端板43。

保温室4还包括四个限位条45，四个限位条45分别固定在两块陶瓷纤维侧板42顶面和两块陶瓷纤维端板43顶面上，陶瓷纤维顶盖44在自身重力的作用下与两块陶瓷纤维侧板42顶面和两块陶瓷纤维端板43顶面相互贴合，陶瓷纤维顶盖44位于四个限位条45之间与四个限位条45相互贴合，从而封住保温室4的顶部。维修人员能将陶瓷纤维顶盖44拔出四个限位条45之间，打开保温室4，以便于对保温室4内部的装置进行维护。具体的，本实施例还包括多个用于支撑炉膛2的支架6，每个支架6的顶面和底面分别与陶瓷纤维顶盖44和陶瓷纤维底板41相互贴合，以撑住保温室4的顶部，以免保温室4塌陷；所有支架6沿炉膛2的长度方向排布，炉膛2穿过所有支架6并支撑在所有支架6上，以免炉膛2因长度较长且支撑点不足而塌掉。

本实施例，还包括分别设置在炉膛2两端用于向炉膛2内喷射保护气体的两组喷射管道7，每组喷射管道7设置多个，同组的多个喷射管道7喷出的保护气体形成阻隔炉膛2端部与外界气体连通的气体帘幕。本实施例中，每组喷射管道7设置四个，每两个喷射管道7为一组，两组喷射管道7分别位于炉膛2两侧，同组的两喷射管道7竖直排布。

具体的，多条气路管道3分为两组，每组设置多个，两组气路管道3分别位于炉膛2的两侧，使保护气体在炉膛2内部左右均匀分布。

具体的，每组气路管道3分为竖直排布的两排，每排多个气路管道3，同排的气路管道3沿炉膛2长度方向排布，以便于保护气体快速充满整个炉膛2。

具体的，保护气体从下方的一排气路管道3进入炉膛2，从上方的一排气路管道3离开炉膛2，以减少半导体晶体被吹入气路管道3堵住气路管道3的可能性。

具体的，加热装置5为刚玉加热板，具有良好的耐热性能，且具有良好的刚性便于组装拼接。

所述刚玉加热板设置两组，每组多个刚玉加热板，两组刚玉加热板分别固定在陶瓷纤维顶盖44和陶瓷纤维底板41相互靠近的两侧；同组的刚玉加热板沿炉膛2的长度方向排布；使得炉膛2能够均匀受热。

具体的，本实施例还包括多个连接在机壳1底部用于调节机壳1高度的地脚螺栓8。本实施例通过设置地脚螺栓8，使得本实施例能够调节高度，以方便设备操作人员座、立操作的方便舒适。

综上所述，本实施例采用陶瓷纤维板制成罩设在炉膛2外侧的保温室4，一方面由于陶瓷纤维板的制造中用于粘合纤维的主要以无机结合剂为主，在高温环境中不易挥发，使得保温室4能保持罩设在炉膛2外侧的状态，不易散掉，保持较高的保温效果；另一方面，由于保温室4是罩设在炉膛2外侧的，保温室4与炉膛2之间夹有空气，与固体相比，气体的导热性能较差，相对的气体的保温效果也更好。因此保温室4的设置相对于将陶瓷纤维毡直接包覆在炉膛2外侧保温效果更好也更稳定。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种退火工作台，其特征在于：包括机壳(1)、设置在机壳(1)中的炉膛(2)、多条用于输送保护气体的气路管道(3)、设置在机壳(1)中由多块陶瓷纤维板拼接组成的保温室(4)和设置在保温室(4)内的加热装置(5)；炉膛(2)穿过保温室(4)和机壳(1)，炉膛(2)外侧壁与保温室(4)内侧壁之间存在缝隙，炉膛(2)两端露出机壳(1)并支撑在机壳(1)上；每条气路管道(3)的两端分别位于炉膛(2)内侧和机壳(1)外侧。

2.根据权利要求1所述的一种退火工作台，其特征在于：保温室(4)包括固定在机壳(1)内侧底壁上的陶瓷纤维底板(41)、固定在陶瓷纤维底板(41)上的两块相互平行的陶瓷纤维侧板(42)、两块固定在陶瓷纤维底板(41)上并位于两块陶瓷纤维侧板(42)之间的陶瓷纤维端板(43)和可拆卸的固定在两块陶瓷纤维侧板(42)顶面和两块陶瓷纤维端板(43)顶面上的陶瓷纤维顶盖(44)；两块陶瓷纤维侧板(42)顶面和两块陶瓷纤维端板(43)固定连接构成一个矩形空腔，炉膛(2)穿过两块陶瓷纤维端板(43)。

3.根据权利要求2所述的一种退火工作台，其特征在于：保温室(4)还包括四个限位条(45)，四个限位条(45)分别固定在两块陶瓷纤维侧板(42)顶面和两块陶瓷纤维端板(43)顶面上，陶瓷纤维顶盖(44)与两块陶瓷纤维侧板(42)顶面和两块陶瓷纤维端板(43)顶面相互贴合并位于四个限位条(45)之间与四个限位条(45)相互贴合。

4.根据权利要求2所述的一种退火工作台，其特征在于：还包括多个用于支撑炉膛(2)的支架(6)，每个支架(6)的顶面和底面分别与陶瓷纤维顶盖(44)和陶瓷纤维底板(41)相互贴合；所有支架(6)沿炉膛(2)的长度方向排布，炉膛(2)穿过所有支架(6)并支撑在所有支架(6)上。

5.根据权利要求1所述的一种退火工作台，其特征在于：还包括分别设置在炉膛(2)两端用于向炉膛(2)内喷射保护气体的两组喷射管道(7)，每组喷射管道(7)设置多个，同组的多个喷射管道(7)喷出的保护气体形成阻隔炉膛(2)端部与外界气体连通的气体帘幕。

6.根据权利要求1所述的一种退火工作台，其特征在于：多条气路管道(3)分为两组，每组设置多个，两组气路管道(3)分别位于炉膛(2)的两侧。

7.根据权利要求6所述的一种退火工作台，其特征在于：每组气路管道(3)分为竖直排布的两排，每排多个气路管道(3)，同排的气路管道(3)沿炉膛(2)长度方向排布；保护气体从下方的一排气路管道(3)进入炉膛(2)，从上方的一排气路管道(3)离开炉膛(2)。

8.根据权利要求1所述的一种退火工作台，其特征在于：所述加热装置(5)为刚玉加热板。

9.根据权利要求8所述的一种退火工作台，其特征在于：所述刚玉加热板设置两组，每组多个刚玉加热板，两组刚玉加热板分别位于炉膛(2)的上方和下方；同组的刚玉加热板沿炉膛(2)的长度方向排布。

10.根据权利要求1所述的一种退火工作台，其特征在于：还包括多个用于调节机壳(1)高度的地脚螺栓(8)。

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