CN215524645U - 一种干涉仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种干涉仪，包括底座，在底座上设置有光源、分光镜、反射镜、动镜以及检测器，所述底座上还设置有滑座、连接轴以及驱动件，所述动镜设置于滑座上，所述驱动件通过滑座带动动镜沿着连接轴在横向方向上滑移。本实用新型具有干涉精度高的有益效果。

Description

一种干涉仪

技术领域

本实用新型涉及干涉仪领域，尤其涉及一种干涉仪。

背景技术

干涉仪是根据光干涉现象制成的一种仪器。光源发出的一束光被分成两束(或多束)，经过不同的路径后再汇合成一束光，在干涉图形检测器中产生干涉图形，光束经过不同路径到达检测器的时间差如果发生改变就会引起干涉图形的改变。现有干涉仪存在干涉精度低、使用光路调整不方便的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种干涉精度高的干涉仪。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种干涉仪，包括底座，在底座上设置有光源、分光镜、反射镜、动镜以及检测器，所述底座上还设置有滑座、连接轴以及驱动件，所述动镜设置于滑座上，所述驱动件通过滑座带动动镜沿着连接轴在横向方向上滑移。

优选的，所述光源包括激光光源和紫外光源，所述检测器包括激光检测器和紫外光检测器，所述激光检测器用于接收干涉后的激光光源，所述紫外光检测器用于接收干涉后的紫外光源。

优选的，所述激光光源产生的激光入射至分光镜的中部。

优选的，所述紫外光源产生的紫外光入射至分光镜的外环部。

优选的，所述驱动件包括线圈和磁铁，所述线圈设置于底座上，所述磁铁设置于滑座上，所述线圈通电能通过磁铁带动滑座沿着连接轴在横向方向上滑移。

优选的，所述磁铁设置有两组，两组磁铁对称设置于滑座上且在两组磁铁之间设置有供线圈移动的间隙。

优选的，所述滑座包括连接部和竖直部，动镜设置于竖直部的前端面上，所述连接部垂直设置于竖直部的后端面上，在连接部表面向上凸起形成有两安装部，两组磁铁分别设置于两安装部的内壁上。

优选的，所述竖直部上还设置有滑移部，所述连接轴穿过滑移部设置。

优选的，所述底座上设置有安装座，所述线圈设置于安装座上。

优选的，所述连接轴的两端分别设置有轴承座，两轴承座通过螺钉固设于底座的下表面上。

与现有技术相比，本实用新型在底座上设置有光源、分光镜、反射镜、动镜以及检测器，所述底座上还设置有滑座、连接轴以及驱动件，所述动镜设置于滑座上，所述驱动件通过滑座带动动镜沿着连接轴在横向方向上滑移，保证了动镜滑移的平稳性，提高了本实用新型的干涉精度。

附图说明

图1为本实用新型所述结构示意图；

图2为本实用新型部分结构示意图；

图3为本实用新型部分结构剖视图

图中所标各部件名称如下：

1、底座；2、激光光源；21、紫外光源；3、分光镜；4、反射镜；5、动镜；6、激光检测器；61、紫外光检测器；7、磁铁；8、线圈；81、安装座；9、滑座；91、竖直部；92、连接部；93、安装部；94、滑移部；95、轴承座。

具体实施方式

以下结合附图1至附图3及具体实施例，对本实用新型作进一步的详细说明。

本实用新型公开了一种干涉仪，包括底座1，在底座1上设置有光源、分光镜3、反射镜4、动镜5以及检测器，其特征在于，所述底座1上还设置有滑座9、连接轴以及驱动件，所述动镜5设置于滑座9上，所述驱动件通过滑座9带动动镜5沿着连接轴在横向方向上滑移。

所述光源产生的检测光入射至分光镜3上，所述分光镜3将检测光分为反射光和折射光，所述反射光入射至动镜5后原路返回至分光镜3上，所述分光镜3将反射光分为第一反射光和第一折射光；所述折射光入射至反射镜4后沿原光路返回至分光镜3上，所述分光镜3将折射光分为第二反射光和第二折射光，并且由于所述反射镜4固定设置于底座1上，同时所述动镜5能在横向方向上滑移，从而第一折射光和第二反射光两者形成干涉光并入射至检测器上。

优选的，本实用新型中所述光源包括激光光源2和紫外光源21，所述检测器也包括激光检测器6和紫外光检测器61，所述激光检测器6用于接收干涉后的激光光源2，所述紫外检测器用于接收干涉后的紫外光源21。

进一步的，所述激光光源2和紫外光源21两者均设置于底座1上，但是激光光源2和紫外光源21两者的安装高度不同，使得本实用新型可同时形成两种不同的干涉光，具体的，所述紫外光源21产生的紫外光入射至分光镜3中心位置，所述激光光源2产生的激光入射至分光镜3上且所述激光环绕紫外光设置，这样设置的好处在于，所述紫外光所产生的光斑较大，入射至分光镜3中心位置保证的紫外光的光强，所述激光所产生的光斑较小，从而所述激光可入射至分光镜3的环面上。

优选的，所述驱动件包括线圈8和磁铁7，所述线圈8设置于安装座81上，所述磁铁7设置于滑座9上，所述线圈8通电能通过磁铁7带动滑座9沿着连接轴在横向方向上滑移，并且通过间歇性改变电流方向实现滑座9带动动镜5沿着连接轴来回运动。

进一步的，所述磁铁7设置有两组，所述两组磁铁7均设置于滑座9上并且两组磁铁7对称设置于线圈8两侧，这样当线圈8不动且所述线圈8通电时，所述线圈8产生电磁场，所述两组磁铁7均在磁力的作用下沿着连接轴滑移。

进一步的，所述滑座9包括竖直部91和连接部92，所述动镜5设置于竖直部91的前端面上，所述连接部92垂直设置于竖直部91的后端面上，在连接部92表面向上凸起形成有两安装部93，所述两安装部93上均设置有用于安装磁铁7的凹槽，所述磁铁7卡设于凹槽内，两组磁铁7之间设置有供线圈8穿过的间隙，所述线圈8位于间隙内。

进一步的，所述竖直部91上还设置有滑移部94，所述连接轴穿过滑移部94设置。

进一步的，所述连接轴的两端均设置有轴承座95，所述连接轴的两端分别插设于两轴承座95上，并且两轴承座95通过螺钉固设于底座1的下表面上，这样设置保证了连接轴安装的稳固性。

以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型的实施范围，即凡依本实用新型所作的均等变化与修饰，皆为本实用新型权利要求范围所涵盖，这里不再一一举例。

Claims (10)

1.一种干涉仪，包括底座，在底座上设置有光源、分光镜、反射镜、动镜以及检测器，其特征在于，所述底座上还设置有滑座、连接轴以及驱动件，所述动镜设置于滑座上，所述驱动件通过滑座带动动镜沿着连接轴在横向方向上滑移。

2.根据权利要求1所述的一种干涉仪，其特征在于，所述光源包括激光光源和紫外光源，所述检测器包括激光检测器和紫外光检测器，所述激光检测器用于接收干涉后的激光光源，所述紫外光检测器用于接收干涉后的紫外光源。

3.根据权利要求2所述的一种干涉仪，其特征在于，所述紫外光源产生的紫外光入射至分光镜的中部。

4.根据权利要求2所述的一种干涉仪，其特征在于，所述激光光源产生的激光入射至分光镜的外环部。

5.根据权利要求1所述的一种干涉仪，其特征在于，所述驱动件包括线圈和磁铁，所述线圈设置于底座上，所述磁铁设置于滑座上，所述线圈通电能通过磁铁带动滑座沿着连接轴在横向方向上滑移。

6.根据权利要求5所述的一种干涉仪，其特征在于，所述磁铁设置有两组，两组磁铁对称设置于滑座上且在两组磁铁之间设置有供线圈移动的间隙。

7.根据权利要求6所述的一种干涉仪，其特征在于，所述滑座包括连接部和竖直部，动镜设置于竖直部的前端面上，所述连接部垂直设置于竖直部的后端面上，在连接部表面向上凸起形成有两安装部，两组磁铁分别设置于两安装部的内壁上。

8.根据权利要求7所述的一种干涉仪，其特征在于，所述竖直部上还设置有滑移部，所述连接轴穿过滑移部设置。

9.根据权利要求8所述的一种干涉仪，其特征在于，所述底座上设置有安装座，所述线圈设置于安装座上。

10.根据权利要求9所述的一种干涉仪，其特征在于，所述连接轴的两端分别设置有轴承座，两轴承座通过螺钉固设于底座的下表面上。

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