CN215508100U - 一种用于半导体酸洗的搅拌结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种用于半导体酸洗的搅拌结构，涉及半导体技术领域，包括底板、固定连接在底板上的罐体，所述罐体上顶部通过轴承转动设置有齿环，所述罐体内部设置有清洗篮，所述清洗篮上固定连接有圆周设置的定位条，所述定位条卡接在齿环上开设的卡槽内部，所述底板上固定连接有电机，所述电机输出轴贯穿至罐体内部并固定连接有叶片。本实用新型中，采用电机、叶片、传动组件，启动电机，带动多组叶片转动，这样实现对该酸洗液的搅拌，同时该电机输出端上的第一带轮通过皮带带动该第二带轮转动，这样实现了该转轴的转动，从而实现对该齿轮的转动，这样齿轮与齿环啮合，实现齿环转动，最终能够实现清洗篮的转动，这样的酸洗效果更加理想。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种用于半导体酸洗的搅拌结构。
背景技术
半导体晶片需要进行清洗工序，以篮宝石衬底为例说明，随着LED制程工艺的日渐成熟、生产成本的不断降低，当下主流的LED衬底材料是单晶蓝宝石衬底，且外延层的生长对图形化蓝宝石表面洁净度存在很高的要求，且图形化过程对蓝宝石平片表面洁净度也存在很高要求。
现有的半导体晶片在清洗时，只能对酸洗液进行简单的搅拌，清洗篮是固定不动的，这样会导致晶片表面反应不均匀，从而导致表面的污垢无法充分的进行去除，酸洗效果不理想。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于半导体酸洗的搅拌结构。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种用于半导体酸洗的搅拌结构，包括底板、固定连接在底板上的罐体，所述罐体上顶部通过轴承转动设置有齿环，所述罐体内部设置有清洗篮，所述清洗篮上固定连接有圆周设置的定位条，所述定位条卡接在齿环上开设的卡槽内部，所述底板上固定连接有电机，所述电机输出轴贯穿至罐体内部并固定连接有叶片，所述齿环与电机输出轴之间通过传动组件连接。
优选的，所述传动组件包括固定连接在输出轴上的第一带轮，所述底板上转动插设有转轴，所述转轴上固定连接有第二带轮，所述第二带轮与第一带轮之间通过皮带传动连接，所述转轴上端固定连接有齿轮，所述齿轮与齿环啮合设置。
优选的，所述罐体上安装有出水管，所述出水管上设置有阀门。
优选的，所述清洗篮顶部固定连接有横杆，所述横杆上固定连接有把手。
优选的，所述叶片的数量为三个，所述叶片呈弯曲设置。
优选的，所述清洗篮呈圆筒状，所述清洗篮外径小于罐体的内径。
有益效果
1、本实用新型中，采用电机、叶片、传动组件，启动电机，带动多组叶片转动，这样实现对该酸洗液的搅拌，同时该电机输出端上的第一带轮通过皮带带动该第二带轮转动，这样实现了该转轴的转动，从而实现对该齿轮的转动，这样齿轮与齿环啮合，实现齿环转动，最终能够实现清洗篮的转动，这样的酸洗效果更加理想。
2、本实用新型中，采用定位条、卡槽和把手，通过提拉该把手，能够方便的将清洗篮从该罐体内部移出，从而能够对该半导体进行拿取，且通过设置的卡槽对定位条实现定位，从而能够对该清洗篮进行安装与固定，便于实现清洗工作。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于半导体酸洗的搅拌结构的前视立体结构图；
图2为本实用新型提出的一种用于半导体酸洗的搅拌结构的罐体内部结构图；
图3为本实用新型提出的一种用于半导体酸洗的搅拌结构的正视结构图。
图例说明：
1、底板；2、罐体；3、电机；4、传动组件；41、皮带；42、第二带轮；43、转轴；44、齿轮；45、第一带轮；5、出水管；6、齿环；7、定位条；8、清洗篮；9、横杆；10、把手；11、叶片。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和附图，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。
下面结合附图描述本实用新型的具体实施例。
具体实施例
参照图1-3，一种用于半导体酸洗的搅拌结构，包括底板1、固定连接在底板1上的罐体2，罐体2上顶部通过轴承转动设置有齿环6，罐体2内部设置有清洗篮8，清洗篮8上固定连接有圆周设置的定位条7，定位条7卡接在齿环6上开设的卡槽内部，底板1上固定连接有电机3，电机3输出轴贯穿至罐体2内部并固定连接有叶片11，启动电机3，带动多组叶片11转动，这样实现对该酸洗液的搅拌，齿环6与电机3输出轴之间通过传动组件4连接，通过该传动组件4实现齿环6的转动，从而能够实现清洗篮8的转动，能对半导体进行充分酸洗。
传动组件4包括固定连接在输出轴上的第一带轮45，底板1上转动插设有转轴43，转轴43上固定连接有第二带轮42，第二带轮42与第一带轮45之间通过皮带41传动连接，转轴43上端固定连接有齿轮44，齿轮44与齿环6啮合设置。
电机3输出端上的第一带轮45通过皮带41带动该第二带轮42转动，这样实现了该转轴43的转动，从而实现对该齿轮44的转动，这样齿轮44与齿环6啮合，实现齿环6转动，最终能够实现清洗篮8的转动，这样的酸洗效果更加理想。
罐体2上安装有出水管5，出水管5上设置有阀门，通过该出水管5能将该罐体2内部的污水排出。
清洗篮8顶部固定连接有横杆9，横杆9上固定连接有把手10，通过设置横杆9和把手10能够方便的将清洗篮8从该罐体2内部移出。
叶片11的数量为三个，叶片11呈弯曲设置，叶片11的弯曲时设置能更好推动酸洗液的拨动，保证酸洗效果。
清洗篮8呈圆筒状，清洗篮8外径小于罐体2的内径，这样的设置能够便于将清洗篮8取出。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种用于半导体酸洗的搅拌结构，其特征在于，包括底板(1)、固定连接在底板(1)上的罐体(2)，所述罐体(2)上顶部通过轴承转动设置有齿环(6)，所述罐体(2)内部设置有清洗篮(8)，所述清洗篮(8)上固定连接有圆周设置的定位条(7)，所述定位条(7)卡接在齿环(6)上开设的卡槽内部，所述底板(1)上固定连接有电机(3)，所述电机(3)输出轴贯穿至罐体(2)内部并固定连接有叶片(11)，所述齿环(6)与电机(3)输出轴之间通过传动组件(4)连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体酸洗的搅拌结构，其特征在于，所述传动组件(4)包括固定连接在输出轴上的第一带轮(45)，所述底板(1)上转动插设有转轴(43)，所述转轴(43)上固定连接有第二带轮(42)，所述第二带轮(42)与第一带轮(45)之间通过皮带(41)传动连接，所述转轴(43)上端固定连接有齿轮(44)，所述齿轮(44)与齿环(6)啮合设置。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体酸洗的搅拌结构，其特征在于，所述罐体(2)上安装有出水管(5)，所述出水管(5)上设置有阀门。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体酸洗的搅拌结构，其特征在于，所述清洗篮(8)顶部固定连接有横杆(9)，所述横杆(9)上固定连接有把手(10)。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体酸洗的搅拌结构，其特征在于，所述叶片(11)的数量为三个，所述叶片(11)呈弯曲设置。
6.根据权利要求1所述的一种用于半导体酸洗的搅拌结构，其特征在于，所述清洗篮(8)呈圆筒状，所述清洗篮(8)外径小于罐体(2)的内径。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122305042.4U CN215508100U (zh) | 2021-09-23 | 2021-09-23 | 一种用于半导体酸洗的搅拌结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122305042.4U CN215508100U (zh) | 2021-09-23 | 2021-09-23 | 一种用于半导体酸洗的搅拌结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215508100U true CN215508100U (zh) | 2022-01-14 |
Family
ID=79797469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122305042.4U Active CN215508100U (zh) | 2021-09-23 | 2021-09-23 | 一种用于半导体酸洗的搅拌结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215508100U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114669548A (zh) * | 2022-05-26 | 2022-06-28 | 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 | 一种单片式半导体基材清洗机 |
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2021
- 2021-09-23 CN CN202122305042.4U patent/CN215508100U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN114669548A (zh) * | 2022-05-26 | 2022-06-28 | 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 | 一种单片式半导体基材清洗机 |
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