CN215492365U - 一种dmd投影模组检测装置及系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种DMD投影模组检测装置，包括工作台、旋转平台、功率计、CCD相机以及白板，旋转平台转动安装于工作台，功率计、CCD相机以及白板分别固定于旋转平台，功率计的测试面、CCD相机的焦面以及白板的表面位于同一水平高度，DMD投影模组检测装置集成了CCD相机、白板以及功率计，光斑检验过程中只需要使旋转平台相对工作台转动，就能实现光斑调节以及检测，无需切换设备。本实用新型还涉及包含上述DMD投影模组检测装置的DMD投影模组检测系统。

Description

一种DMD投影模组检测装置及系统

技术领域

本实用新型涉及光学检测装置，尤其是涉及一种DMD投影模组检测装置。

背景技术

在曝光与投影技术中，光斑的成像质量、分辨率、转换效率以及光斑的对焦效果是非常重要的质量指标，因此对光斑进行上述检验是必不可缺的过程。现有的检验方法一般都使用CCD相机来查看光斑成像质量、分辨率。在实际生产过程中，光斑在检验之前还必须经过调节对焦、调节光斑大小等步骤，需要一个白板调节平台，光斑在检验成像质量后还需要用功率计测出投影系统的转换效率(及光斑功率与光纤出光功率的百分比)。

因此光斑的检验过程需要三种设备切换，在实际操作中，不仅给测试者带来了很大的不便，而且在切换过程中会存在焦面不一致的情况，从而导致测试结果的细微偏差。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的之一在于提供一种集成了CCD相机、白板以及功率计的DMD投影模组检测装置，使光斑检验过程中无需切换设备，测试结果更加精确。

本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现：

一种DMD投影模组检测装置，包括工作台、旋转平台、功率计、CCD相机以及白板，所述旋转平台转动安装于所述工作台，所述功率计、所述CCD相机以及所述白板分别固定于所述旋转平台，所述功率计的测试面、所述CCD相机的焦面以及所述白板的表面位于同一水平高度。

进一步地，所述功率计、所述CCD相机以及所述白板与所述旋转平台的转动中心的距离相等。

进一步地，所述旋转平台通过滑轨滑动安装于所述工作台，所述旋转平台能够相对所述工作台滑动调节相对位置。

进一步地，所述滑轨包括X轨道以及Y轨道，所述Y轨道安装于所述X轨道，使所述旋转平台能够相对所述工作台在X方向以及Y方向移动。

进一步地，所述滑轨包括Z轨道，所述Z轨道安装于所述Y轨道，使所述旋转平台能够相对所述工作台调节高度。

本实用新型的目的之二采用如下技术方案实现：

一种DMD投影模组检测系统，包括DMD芯片、投影镜头以及工作台，所述DMD投影模组检测装置还包括旋转平台、功率计、CCD相机以及白板，所述旋转平台转动安装于所述工作台，所述功率计、所述CCD相机以及所述白板分别固定于所述旋转平台，所述功率计的测试面、所述CCD相机的焦面以及所述白板的表面位于同一水平高度，所述DMD芯片以及所述投影镜头位于所述旋转平台上方。

进一步地，所述DMD芯片以及所述投影镜头的连线与所述旋转平台的转轴位于不同直线。

进一步地，所述功率计、所述CCD相机以及所述白板与所述旋转平台的转动中心的距离相等。

进一步地，所述旋转平台通过滑轨滑动安装于所述工作台，所述旋转平台能够相对所述工作台滑动调节相对位置。

相比现有技术，本实用新型DMD投影模组检测装置集成了CCD相机、白板以及功率计，光斑检验过程中只需要使旋转平台相对工作台转动，就能实现光斑调节以及检测，无需切换设备。

附图说明

图1为本实用新型DMD投影模组检测装置的使用示意图。

图中：10、工作台；20、旋转平台；30、功率计；40、CCD相机；50、白板；60、投影镜头；70、DMD芯片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在另一中间组件，通过中间组件固定。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在另一中间组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在另一中间组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

图1为本实用新型DMD投影模组检测装置的使用示意图，DMD投影模组检测装置包括工作台10、旋转平台20、功率计30、CCD相机40、白板50、投影镜头60以及DMD芯片70。

旋转平台20通过滑轨以及转动结构安装于工作台10。滑轨包括X轨道、Y轨道以及Z轨道。X轨道安装于工作台10，Y轨道安装于X轨道，Z轨道安装于Y轨道。转动结构安装于Z轨道，旋转平台20安装于转动结构。旋转平台20通过X轨道能够相对工作台10在X方向移动。旋转平台20通过Y轨道能够相对工作台10在Y方向移动。旋转平台20通过Z轨道能够相对工作台10在Z方向移动。旋转平台20通过转动结构转动安装于工作台10并能相对工作台10转动。

功率计30、CCD相机40以及白板50固定于旋转平台20。功率计30、CCD相机40以及白板50距离旋转平台20的旋转中心的距离相等。功率计30的测试面、CCD相机40的焦面以及白板50的面位于同一水平高度。

使用DMD投影模组检测装置时，DMD芯片70以及投影镜头60依次安装于旋转平台20上方，从DMD芯片70射出的光经过投影镜头60到达旋转平台20上形成光斑。调整旋转平台20的位置以及高度，并使旋转平台20转动，使光斑位于白板50表面，调节对焦、调节光斑大小，调节好后转动旋转平台20，使光斑落至CCD相机40，CCD相机40对光斑进行检验，检测光斑的成像质量、分辨率以及光斑的对焦效果，检测好后转动旋转平台20，使光斑落至功率计30，功率计30测出投影系统的转换效率及光斑功率与光纤出光功率的百分比。

本实用新型DMD投影模组检测装置集成了CCD相机40、白板50以及功率计30，光斑检验过程中只需要使旋转平台20相对工作台10转动，就能实现光斑调节以及检测，无需切换设备，避免切换过程中会存在焦面不一致的情况，从而导致测试结果的细微偏差。

以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进演变，都是依据本实用新型实质技术对以上实施例做的等同修饰与演变，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种DMD投影模组检测装置，包括工作台，其特征在于：所述DMD投影模组检测装置还包括旋转平台、功率计、CCD相机以及白板，所述旋转平台转动安装于所述工作台，所述功率计、所述CCD相机以及所述白板分别固定于所述旋转平台，所述功率计的测试面、所述CCD相机的焦面以及所述白板的表面位于同一水平高度。

2.根据权利要求1所述的DMD投影模组检测装置，其特征在于：所述功率计、所述CCD相机以及所述白板与所述旋转平台的转动中心的距离相等。

3.根据权利要求1所述的DMD投影模组检测装置，其特征在于：所述旋转平台通过滑轨滑动安装于所述工作台，所述旋转平台能够相对所述工作台滑动调节相对位置。

4.根据权利要求3所述的DMD投影模组检测装置，其特征在于：所述滑轨包括X轨道以及Y轨道，所述Y轨道安装于所述X轨道，使所述旋转平台能够相对所述工作台在X方向以及Y方向移动。

5.根据权利要求4所述的DMD投影模组检测装置，其特征在于：所述滑轨包括Z轨道，所述Z轨道安装于所述Y轨道，使所述旋转平台能够相对所述工作台调节高度。

6.一种DMD投影模组检测系统，包括DMD芯片、投影镜头以及工作台，其特征在于：所述DMD投影模组检测装置还包括旋转平台、功率计、CCD相机以及白板，所述旋转平台转动安装于所述工作台，所述功率计、所述CCD相机以及所述白板分别固定于所述旋转平台，所述功率计的测试面、所述CCD相机的焦面以及所述白板的表面位于同一水平高度，所述DMD芯片以及所述投影镜头位于所述旋转平台上方。

7.根据权利要求6所述的DMD投影模组检测系统，其特征在于：所述DMD芯片以及所述投影镜头的连线与所述旋转平台的转轴位于不同直线。

8.根据权利要求6所述的DMD投影模组检测系统，其特征在于：所述功率计、所述CCD相机以及所述白板与所述旋转平台的转动中心的距离相等。

9.根据权利要求6所述的DMD投影模组检测系统，其特征在于：所述旋转平台通过滑轨滑动安装于所述工作台，所述旋转平台能够相对所述工作台滑动调节相对位置。

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