CN215481253U - 一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，它包括支撑框、设于支撑框内的第一阶梯凹槽以及设于第一阶梯凹槽底面上的第二阶梯凹槽；所述第一阶梯凹槽底面上环设有支撑硅片四周边缘的支撑块，其平整度不能超过0.5mm。本实用新型的目的在于提供一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，在硅片在PECVD沉积中能减少绕镀，提高膜层质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板。
背景技术
载板承载着硅片进入PECVD腔室进行非晶硅薄膜沉积。硅片在腔室内快速升温，使得硅片在短时间内达到工艺所需温度，是决定PECVD镀膜沉积效率的先决条件。硅片内各个点的温度、膜层厚度的均匀性以及镀膜时避免绕镀是决定电池片性能高低的关键因素。
硅片的升温速率、镀膜均匀性、不绕镀与PECVD的载板密切相关，传统的载板结构有全实心结构和全镂空结构，全实心结构一般为硅片与载板全面积接触，达到硅片与载板同步加热，因硅片热容远小于载板的热容，硅片的温度完全受控于载板，欲把硅片温度加热到工艺温度，必须先把载板的温度加热到工艺温度，严重降低了系统的升温效率，且全面积接触容易造成硅片的非晶硅膜层与载板产生不同程度的摩擦，影响电池的电气性能；而全镂空结构的优点在于硅片与载板的接触面积少，膜层与载板间摩擦少，同时温度控制可以通过气体传导方式进行，便于控制，然而全镂空结构由于硅片中间部位镂空，镀膜时，辉光等离子体容易从下方镂空绕镀进去，导致硅片上面镀膜时，下方也受等离子体影响而镀上非需要膜层。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，在硅片在PECVD沉积中能减少绕镀，提高膜层质量。
本实用新型的目的通过如下技术方案实现：
一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，它包括支撑框、设于支撑框内的第一阶梯凹槽以及设于第一阶梯凹槽底面上的第二阶梯凹槽；所述第一阶梯凹槽底面上环设有支撑硅片四周边缘的支撑块，其平整度不能超过0.5mm。
较之现有技术而言，本实用新型的优点在于：
(1)支撑块平整度高，与硅片四周边缘充分接触，避免硅片边缘与支撑块间产生缝隙，减少等离子镀膜时产生绕镀的问题；
(2)第二阶梯凹槽底面为网状结构，使得基板热量能通过孔洞气流快速传导到硅片上，升温速率快，同时网孔越小，越能够防止等离子体从下方绕镀到非镀膜面。
(3)支撑框的硅片无接触表面为粗糙结构，可减少因膜层累积造成的载板脱膜现象。
附图说明
图1是本实用新型一种实施例的剖视图。
图2是图1的俯视图。
图3是图1中所示支撑块的俯视图；
图4是图1中所示支撑框的俯视图；
图5是图1所示结构组成整体载板的示意图。
具体实施方式
一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，其特征在于：它包括支撑框、设于支撑框内的第一阶梯凹槽以及设于第一阶梯凹槽底面上的第二阶梯凹槽；所述第一阶梯凹槽底面上环设有支撑硅片四周边缘的支撑块，其平整度不能超过 0.5mm。
所述支撑块的上表面低于支撑框上表面。
所述支撑块为一体式结构，和/或，所述支撑块与第一阶梯凹槽为可拆装设计。
所述支撑块的材质为玻璃或陶瓷。
所述支撑块的宽度不小于第一阶梯凹槽底面的宽度。一实施例中，所述支撑块的宽度比第一阶梯凹槽底面的宽度大10％。
所述第一阶梯凹槽底面宽度为2-6mm。
所述支撑框的硅片无接触表面为粗糙结构。所述支撑框的材质为铝合金、不锈钢或碳纤维。
多个支撑框水平排列一体形成多硅片载板。
所述第二阶梯凹槽的底面为网状结构。
所述网状结构的网孔目数不能少于300目。
下面结合说明书附图和实施例对本实用新型内容进行详细说明：
如图1至图5所示为本实用新型提供的一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板的实施例示意图。
一种太阳能电池载板，所述载板采用的材质为不锈钢，所述载板由36片重复的载板基体单元排列组合的整体结构，所述载板基体单元包括支撑框11、用于支撑硅片15四周边缘的支撑块13，支撑块13放置于第一阶梯凹槽12上，设于第一阶梯凹槽12内的第二阶梯凹槽14，所述第一阶梯凹槽12的阶梯宽度为 4mm，所述第一阶梯凹槽12上放置的支撑块13宽度为4mm，所述支撑块13的高度为2mm，所述第一阶梯凹槽12上放置的支撑块13的平整度不超过0.5mm。所述第二阶梯凹槽14为网状结构，所述第二阶梯凹槽14为网状结构的网孔目数为300-800目之间，所述支撑框11与硅片没有接触的表面为粗糙结构。。载板基体单元的结构设计为独立单位结构，然后通过金属丝将其连接串为一整体，独立单元结构为可拆卸模式，便于在生产过程中，单独清洁维护或更换某个独立单元结构，而不耽误生产运行。
Claims (10)
1.一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，其特征在于：它包括支撑框、设于支撑框内的第一阶梯凹槽以及设于第一阶梯凹槽底面上的第二阶梯凹槽；所述第一阶梯凹槽底面上环设有支撑硅片四周边缘的支撑块，其平整度不能超过0.5mm。
2.根据权利要求1所述的一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，其特征在于：所述支撑块的上表面低于支撑框上表面。
3.根据权利要求1所述的一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，其特征在于：所述支撑块为一体式结构，和/或，所述支撑块与第一阶梯凹槽为可拆装设计。
4.根据权利要求1所述的一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，其特征在于：所述支撑块的材质为玻璃或陶瓷。
5.根据权利要求1所述的一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，其特征在于：所述支撑块的宽度不小于第一阶梯凹槽底面的宽度。
6.根据权利要求1所述的一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，其特征在于：所述第一阶梯凹槽底面宽度为2-6mm。
7.根据权利要求1所述的一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，其特征在于：所述支撑框的硅片无接触表面为粗糙结构。
8.根据权利要求1所述的一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，其特征在于：多个支撑框水平排列一体形成多硅片载板。
9.根据权利要求1至8任意一项所述的一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，其特征在于：所述第二阶梯凹槽的底面为网状结构。
10.根据权利要求9所述的一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板，其特征在于：所述网状结构的网孔目数不能少于300目。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120044959.0U CN215481253U (zh) | 2021-01-08 | 2021-01-08 | 一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202120044959.0U CN215481253U (zh) | 2021-01-08 | 2021-01-08 | 一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215481253U true CN215481253U (zh) | 2022-01-11 |
Family
ID=79760835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120044959.0U Active CN215481253U (zh) | 2021-01-08 | 2021-01-08 | 一种带有硅片支撑块的太阳能电池载板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215481253U (zh) |
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2021
- 2021-01-08 CN CN202120044959.0U patent/CN215481253U/zh active Active
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