CN215468641U - 一种靶材邦定用智能化超声波涂铟装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种靶材邦定用智能化超声波涂铟装置。所述靶材邦定用智能化超声波涂铟装置包括金属化装置本体，所述金属化装置本体包括外加热套、超声波发生器、机架和丝杆驱动电机，所述丝杆驱动电机的顶部固定安装有固定板，所述固定板上开设有安装口，所述安装口内贯穿安装有吸附管，所述吸附管延伸至所述外加热套内并固定安装有多个吸附头，所述外加热套的下方设置有高效除尘箱和风机，所述高效除尘箱的进口与所述风机的出风端相连通，所述风机的进风端上设置有连通软管，所述连通软管的进风端与所述吸附管相连通。本实用新型提供的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置具有能够对加工空间进行吸除杂质、降低对产品影响的优点。

Description

一种靶材邦定用智能化超声波涂铟装置

技术领域

本实用新型涉及靶材邦定涂铟装置技术领域，尤其涉及一种靶材邦定用智能化超声波涂铟装置。

背景技术

靶管的种类是多样的，有金属管(钼靶管、钨靶管、铝靶管)和陶瓷管(ITO靶材、氧化铝靶材以及碳化硅靶材等等)，由于靶管和内衬管材质不同，靶管和钎料属于不同材质，靶管与钎料润湿性不够的情况下，易产生与钎料的脱落，从而导致靶材使用过程中的导电性不好，导热性能差，甚至出现靶材开裂等情况。

目前采用的靶管金属化的方法，是采用人工手持超声波涂铟机头，进行涂铟的方法，导致涂铟厚度不均匀，工人劳动强度较大，工人熟练程度要求较高。

中国实用新型专利201820245968.4公开了一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置，通过内加热装置以及超声波发生器配合，对靶材绑定背管进行金属化超声加工，提高靶材绑定层与背管的粘接强度，提高焊合率。但是该装置仅适用于背管外圆金属化，并不适用于靶管的内圆金属化。

经检索，中国实用新型专利201921738190.1公开了一种靶材绑定用靶管金属化装置，包括超声波发生器和电机，还包括有旋转套、外加热套、丝杆和滑套，所述外加热套连接在旋转套内，所述电机包括用于带动旋转套旋转的电机I和用于带动丝杆旋转的电机II，所述丝杆位于外加热套内，丝杆一端通过轴承安装在旋转套上，另一端通过连接件与电机II的转轴连接，所述滑套套装在丝杆上，滑套与丝杆通过螺纹连接，所述超声波发生器通过连杆连接在滑套的下方；所述旋转套通过连接套与电机I的转轴连接。虽然其涂铟厚度一致，自动化水平高，有效解决了人工涂铟方式中存在的涂铟不均匀，工人劳动强度大，对工人熟练程度要求高的情况，从而有效的提高工作效率，提高靶材绑定贴合率以及贴合强度。

然而其在使用前未能够对该装置内部进行清理，导致在涂铟是容易受到杂质的影响，从而影响生产的产品质量。

因此，有必要提供一种新的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种具有能够对加工空间进行吸除杂质、降低对产品影响的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置包括：金属化装置本体，所述金属化装置本体包括外加热套、超声波发生器、机架和丝杆驱动电机，所述丝杆驱动电机的顶部固定安装有固定板，所述固定板上开设有安装口，所述安装口内贯穿安装有吸附管，所述吸附管延伸至所述外加热套内并固定安装有多个吸附头，所述外加热套的下方设置有高效除尘箱和风机，所述高效除尘箱的进口与所述风机的出风端相连通，所述风机的进风端上设置有连通软管，所述连通软管的进风端与所述吸附管相连通，所述固定板和所述吸附管上设置有驱动机构，所述连通软管上设置有收管装置，所述收管装置与对应所述机架相连接。

优选的，所述驱动机构包括两个轨道、两个定位片、齿条、马达和齿轮，两个所述轨道分别固定安装在所述吸附管的两侧，两个所述定位片分别固定安装在所述安装口的两侧内壁上并分别与两个所述轨道滑动连接，所述齿条固定安装在所述吸附管的底部，所述马达固定安装在所述固定板的一侧，所述马达位于所述齿条的下方，所述齿轮固定安装在所述马达的输出轴上，所述齿轮与所述齿条相啮合。

优选的，所述收管装置包括收卷电机、两个安装盘和两个固定杆，所述收卷电机设置在所述连通软管的一侧并与对应所述机架固定连接，两个所述安装盘分别设置在所述连通软管的两侧，其中一个所述安装盘与所述收卷电机的输出轴固定连接，两个所述固定杆固定安装在两个所述安装盘相互靠近的一侧，两个所述固定杆分别位于所述连通软管的两侧。

优选的，所述吸附管和所述连通软管通过可拆卸接头相连接，两个所述定位片相互靠近的一侧均活动镶嵌有多个滚珠，多个所述滚珠分别与两个所述轨道的内壁滚动接触。

优选的，所述连通软管具体为钢丝软管，所述收管装置位于所述连通软管的中段位置。

优选的，所述吸附管为金属管，所述金属具体为不锈钢。

与相关技术相比较，本实用新型提供的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种靶材邦定用智能化超声波涂铟装置：

1、通过固定板上滑动的吸附管能够对涂铟空间内的杂尘进行吸附，使涂铟空间较为洁净，有利于提高涂铟质量，风机作为吸力源，高效除尘箱对吸附的粉尘进行收集；

2、通过驱动机构能够在使用中控制吸附管的移动，从而确保吸附和在之后的不影响涂铟，通过收管装置能够对连通软管进行收卷，确保管道的整齐。

附图说明

图1为本实用新型提供的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置的一种较佳实施例的主视剖视结构示意图；

图2为图1中所示A部分的放大结构示意图；

图3为图1中所示B部分的放大结构示意图；

图4为本实用新型中固定板和吸附管的侧视剖视装配结构示意图；

图5为本实用新型中收管装置的结构示意图。

图中标号：1、金属化装置本体；2、外加热套；3、超声波发生器；4、机架；5、丝杆驱动电机；6、固定板；7、安装口；8、吸附管；9、吸附头；10、高效除尘箱；11、风机；12、连通软管；13、轨道；14、定位片；15、齿条；16、马达；17、齿轮；18、收卷电机；19、安装盘；20、固定杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

请结合参阅图1-图5，其中，图1为本实用新型提供的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置的一种较佳实施例的主视剖视结构示意图；

图2为图1中所示A部分的放大结构示意图；图3为图1中所示B部分的放大结构示意图；图4为本实用新型中固定板和吸附管的侧视剖视装配结构示意图；图5为本实用新型中收管装置的结构示意图。靶材邦定用智能化超声波涂铟装置包括：金属化装置本体1，所述金属化装置本体1包括外加热套2、超声波发生器3、机架4和丝杆驱动电机5，所述丝杆驱动电机5的顶部固定安装有固定板6，所述固定板6上开设有安装口7，所述安装口7内贯穿安装有吸附管8，所述吸附管8延伸至所述外加热套2内并固定安装有多个吸附头9，所述外加热套2的下方设置有高效除尘箱10和风机11，所述高效除尘箱10的进口与所述风机11的出风端相连通，所述风机11的进风端上设置有连通软管12，所述连通软管12的进风端与所述吸附管8相连通，所述固定板6和所述吸附管8上设置有驱动机构，所述连通软管12上设置有收管装置，所述收管装置与对应所述机架4相连接，通过固定板6上滑动的吸附管8能够对涂铟空间内的杂尘进行吸附，使涂铟空间较为洁净，有利于提高涂铟质量，风机11作为吸力源，高效除尘箱10对吸附的粉尘进行收集。

所述驱动机构包括两个轨道13、两个定位片14、齿条15、马达16和齿轮17，两个所述轨道13分别固定安装在所述吸附管8的两侧，两个所述定位片14分别固定安装在所述安装口7的两侧内壁上并分别与两个所述轨道13滑动连接，所述齿条15固定安装在所述吸附管8的底部，所述马达16固定安装在所述固定板6的一侧，所述马达16位于所述齿条15的下方，所述齿轮17固定安装在所述马达16的输出轴上，所述齿轮17与所述齿条15相啮合，通过驱动机构能够在使用中控制吸附管8的移动，从而确保吸附和在之后的不影响涂铟。

所述收管装置包括收卷电机18、两个安装盘19和两个固定杆20，所述收卷电机18设置在所述连通软管12的一侧并与对应所述机架4固定连接，两个所述安装盘19分别设置在所述连通软管12的两侧，其中一个所述安装盘19与所述收卷电机18的输出轴固定连接，两个所述固定杆20固定安装在两个所述安装盘19相互靠近的一侧，两个所述固定杆20分别位于所述连通软管12的两侧，通过收管装置能够对连通软管12进行收卷，确保管道的整齐。

所述吸附管8和所述连通软管12通过可拆卸接头相连接，两个所述定位片14相互靠近的一侧均活动镶嵌有多个滚珠，多个所述滚珠分别与两个所述轨道13的内壁滚动接触。

所述连通软管12具体为钢丝软管，所述收管装置位于所述连通软管12的中段位置。

所述吸附管8为金属管，所述金属具体为不锈钢。

本实用新型提供的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置的工作原理如下：

涂铟前首先进行除尘操作，除尘操作时首先将吸附管8内置在外加热套2内，随后启动风机11，使涂铟空间内的杂尘通过多个吸附头9集中在吸附管8内，之后经过连通软管12和风机11导入高效除尘箱10内进行收集，在除尘时还可启动电机I使外加热套2转动，从而对涂铟空间进行更加全面的除尘；

除尘完毕后关闭风机11，随后首先启动马达16，马达16带动齿轮17转动，从而驱动齿条15和吸附管8沿安装口7滑动，使其滑出涂铟空间外，从而不影响涂铟使用，收纳完毕后启动收卷电机18，通过两个安装盘19和两个固定杆20的转动，使连通软管12进行收卷。

与相关技术相比较，本实用新型提供的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种靶材邦定用智能化超声波涂铟装置，通过固定板6上滑动的吸附管8能够对涂铟空间内的杂尘进行吸附，使涂铟空间较为洁净，有利于提高涂铟质量，风机11作为吸力源，高效除尘箱10对吸附的粉尘进行收集，通过驱动机构能够在使用中控制吸附管8的移动，从而确保吸附和在之后的不影响涂铟，通过收管装置能够对连通软管12进行收卷，确保管道的整齐。

需要说明的是，本实用新型的设备结构和附图主要对本实用新型的原理进行描述，在该设计原理的技术上，装置的动力机构、供电系统及控制系统等的设置并没有完全描述清楚，而在本领域技术人员理解上述实用新型的原理的前提下，可清楚获知其动力机构、供电系统及控制系统的具体。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种靶材邦定用智能化超声波涂铟装置，其特征在于，包括：

金属化装置本体，所述金属化装置本体包括外加热套、超声波发生器、机架和丝杆驱动电机，所述丝杆驱动电机的顶部固定安装有固定板，所述固定板上开设有安装口，所述安装口内贯穿安装有吸附管，所述吸附管延伸至所述外加热套内并固定安装有多个吸附头，所述外加热套的下方设置有高效除尘箱和风机，所述高效除尘箱的进口与所述风机的出风端相连通，所述风机的进风端上设置有连通软管，所述连通软管的进风端与所述吸附管相连通，所述固定板和所述吸附管上设置有驱动机构，所述连通软管上设置有收管装置，所述收管装置与对应所述机架相连接。

2.根据权利要求1所述的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置，其特征在于，所述驱动机构包括两个轨道、两个定位片、齿条、马达和齿轮，两个所述轨道分别固定安装在所述吸附管的两侧，两个所述定位片分别固定安装在所述安装口的两侧内壁上并分别与两个所述轨道滑动连接，所述齿条固定安装在所述吸附管的底部，所述马达固定安装在所述固定板的一侧，所述马达位于所述齿条的下方，所述齿轮固定安装在所述马达的输出轴上，所述齿轮与所述齿条相啮合。

3.根据权利要求1所述的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置，其特征在于，所述收管装置包括收卷电机、两个安装盘和两个固定杆，所述收卷电机设置在所述连通软管的一侧并与对应所述机架固定连接，两个所述安装盘分别设置在所述连通软管的两侧，其中一个所述安装盘与所述收卷电机的输出轴固定连接，两个所述固定杆固定安装在两个所述安装盘相互靠近的一侧，两个所述固定杆分别位于所述连通软管的两侧。

4.根据权利要求2所述的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置，其特征在于，所述吸附管和所述连通软管通过可拆卸接头相连接，两个所述定位片相互靠近的一侧均活动镶嵌有多个滚珠，多个所述滚珠分别与两个所述轨道的内壁滚动接触。

5.根据权利要求3所述的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置，其特征在于，所述连通软管具体为钢丝软管，所述收管装置位于所述连通软管的中段位置。

6.根据权利要求1所述的靶材邦定用智能化超声波涂铟装置，其特征在于，所述吸附管为金属管，所述金属具体为不锈钢。

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