CN215435515U - 丝网印刷系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种丝网印刷系统，包括：载台，半导体器件的第一栅线适于与载台的第一区接触；丝网印版，丝网印版适于在载台处于初始位置时位于载台的第二区的上方；位于载台上方的图像传感装置，图像传感装置适于获取当载台处于初始位置时半导体器件至丝网印版的第一位置信息；分别设置于载台的第一区的上下两侧的检测光发射部件和检测光接收部件，用以获取第一栅线在半导体器件中的第二位置信息；载台和/或丝网印版适于根据第一位置信息和第二位置信息移动，使丝网印版的待印刷图案与第一栅线对准。该丝网印刷系统能够以对准之后的丝网印版为掩膜在半导体器件的表面印刷第二栅线，容易实现第二栅线与第一栅线的对准，且对准效率较高。

Description

丝网印刷系统

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种丝网印刷系统。

背景技术

随着能源危机和环境污染问题的加重，人们对于可再生能源的研究和应用开发更加关注，其中太阳能光伏发电技术是最有前途的可再生能源技术之一。近年来，异质结电池(HJT或SHJ)凭借其低的制作工艺温度、简单的工艺流程、高的开路电压、高的转换效率、低的温度系数、优异高温/弱光发电特性和低衰减等特点，得到了迅速的发展。

异质结电池以n型单晶硅片为基底的双面太阳能电池，在硅片的正面制备有本征非晶硅薄膜、n型掺杂非晶硅薄膜、透明导电层和正面栅线，背面制备有本征非晶硅薄膜、p型掺杂非晶硅薄膜、透明导电层和背面栅线。其中，栅线一般由主栅和细栅构成，主要成分为银或者铝。异质结电池产生的光生载流子首先经由细栅收集并汇流至主栅，并由主栅传输至外部。主栅数量大，串联电阻降低，但电池的遮光面积增加，影响电池转换效率的提高。因此，为了不增加电池的遮光面积，通常控制主栅的宽度范围为30μm至60μm。

为了形成大规模的电力应用，通常采用金属互联条或者焊带将多个异质结电池进行串联，形成异质结电池组件。串联时，金属互联条或者焊带穿插连接相邻异质结电池的正面和背面。具体的，一个金属互联条包括依次连接的第一覆盖段、连接段和第二覆盖段，第一覆盖段覆盖一个异质结电池的正面主栅，第二覆盖段覆盖相邻异质结电池的背面主栅，连接段位于第一覆盖段和第二覆盖段之间。为了便于金属互联条或者焊带的连接，通常异质结电池的正面主栅和背面主栅的位置相互对应、且在投影位置上一致。

异质结电池的栅线通常采用丝网印刷工艺制备。然而，现有丝网印刷系统和丝网印刷方法的对准效率较低，且易造成正面主栅和背面主栅无法对准，不利于金属互联条的连接，从而对异质结电池组件的功率输出和可靠性造成负面影响。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有丝网印刷系统易造成半导体器件的正面主栅和背面主栅无法对准且对准效率较低的缺陷，从而提供一种丝网印刷系统。

本实用新型提供一种丝网印刷系统，用于半导体器件的图案的定位印刷，所述半导体器件的图案包括第一栅线，包括：载台，所述载台具有第一区和第二区，所述第一区适于承载半导体器件，所述第一栅线适于与所述第一区接触；丝网印版，所述丝网印版适于在所述载台处于初始位置时位于第二区的上方，所述丝网印版具有待印刷图案；位于所述载台上方的图像传感装置，所述图像传感装置适于获取当所述载台处于初始位置时所述半导体器件至所述丝网印版的第一位置信息；分别设置于所述载台的所述第一区的上下两侧的检测光发射部件和检测光接收部件，所述检测光发射部件适于当所述载台处于初始位置时朝向所述第一区发射检测光，所述检测光接收部件适于当所述载台处于初始位置时接收穿过所述半导体器件和所述载台且未被所述第一栅线遮挡的检测光，以获取所述第一栅线在所述半导体器件中的第二位置信息；所述载台和/或所述丝网印版适于根据第一位置信息和第二位置信息移动，使得所述待印刷图案与所述第一栅线对准。

可选的，所述载台为固定载台；所述丝网印刷系统还包括移动件和控制模块，所述控制模块的输入端与所述图像传感装置和检测光接收部件电学连接，所述控制模块的输出端与所述移动件电学连接；所述控制模块适于根据第一位置信息和第二位置信息控制移动件进行位移；所述移动件适于带动所述丝网印版移动。

可选的，所述丝网印刷系统还包括：驱动件、移动件和控制模块，所述控制模块的输入端与所述图像传感装置和检测光接收部件电学连接，所述控制模块的输出端与所述驱动件和移动件电学连接；所述控制模块适于根据第一位置信息和第二位置信息输出第一移动信号至所述驱动件及输出第二移动信号至所述移动件；所述驱动件适于接收所述第一移动信号并带动所述载台移动；所述移动件适于根据第二移动信号带动所述丝网印版移动。

可选的，所述驱动件包括旋转杆和驱动电机，所述驱动电机适于带动所述旋转杆旋转，所述旋转杆的一端连接所述载台，所述驱动电机与所述控制模块的输出端电学连接。

可选的，所述检测光发射部件位于所述载台的上方，所述检测光接收部件位于所述载台的下方；或者，所述检测光接收部件位于所述载台的上方，所述检测光发射部件位于所述载台的下方。

可选的，所述检测光包括红外光，所述检测光发射部件包括红外光发射部件，所述检测光接收部件包括红外光接收部件。

可选的，所述载台为玻璃载体或树脂载体，所述载台适于使检测光穿过。

可选的，所述移动件包括机械臂，所述丝网印版设置于所述机械臂的端部。

可选的，所述图像传感装置包括CCD相机。

可选的，所述半导体器件为太阳能电池，所述太阳能电池的相对两表面分别设置第一栅线和第二栅线。

可选的，所述第一区设置有若干吸附孔；所述丝网印刷系统还包括与所述吸附孔连通的真空泵。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

本实用新型提供的丝网印刷系统，当所述载台处于初始位置时，所述检测光发射部件适于发射检测光至所述半导体器件，检测光进入所述半导体器件，照射在第一栅线上的部分检测光被第一栅线阻挡无法射出，未照射在第一栅线上的部分检测光从半导体器件中射出并被所述检测光接收部件接收，因此检测光接收部件接收的检测光的分布情况能够反映所述第一栅线在半导体器件中的第二位置信息；所述图像传感装置适于获取当所述载台处于初始位置时所述半导体器件至所述丝网印版的第一位置信息，同时所述待印刷图案在所述丝网印版中的相对位置是已知的，因此能够确定所述载台处于初始位置时所述第一栅线与所述待印刷图案的相对位置关系，从而能够调节所述载台和/或丝网印版的位置使所述待印刷图案与所述第一栅线对准，随后以丝网印版为掩膜在所述半导体器件的表面印刷第二栅线，即，结合检测光发射部件、检测光接收部件和图像传感器的综合定位作用，使得所述丝网印刷系统准确地以所述半导体器件中已有的第一栅线为基准进行第二栅线的制备，实现第二栅线与第一栅线的精确对准，避免第二栅线与第一栅线发生错位或角度偏移，且对准效率较高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中提供的第一种丝网印刷系统的结构示意图；

图2为图1所示的载台的俯视图；

图3为本实用新型实施例中提供的第二种丝网印刷系统的结构示意图；

附图标记说明：

1-载台；11-第一区；12-第二区；13-吸附孔；2-检测光发射部件；3-检测光接收部件；4-丝网印版；5-移动件；6-旋转杆；7-驱动电机；8-承载平台。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

正如背景技术所述，由于目前的丝网印刷方式均为单面印刷，现有丝网印刷系统和丝网印刷方法易造成半导体器件，例如太阳能电池的正面主栅和背面主栅无法对准，会造成后续电池组件形成过程中的连接误差。

在将两个异质结电池串联时，金属互联条的延伸方向是固定的，通常与电池表面的栅线的延伸方向相同。要实现电池正面、背面的交叉互联，需要一个异质结电池的正面主栅的延伸方向与另一个异质结电池的背面主栅的延伸方向重合，以保证金属互联条同时覆盖一个异质结电池的正面主栅和另一异质结电池的背面主栅。具体的，在两个异质结电池串联的过程中，两个异质结电池依次排布，如果两个异质结电池的正面主栅相互对准，而其中一个异质结电池的正面主栅和背面主栅错开，则一个异质结电池的正面主栅的延伸方向与另一异质结电池的背面主栅错开，这导致金属互联条无法同时覆盖一个异质结电池的正面主栅和另一异质结电池的背面主栅，使得两个异质结电池串联效果不好或完全失效，进而影响异质结电池组件的输出功率；如果两个异质结电池的正面主栅相互对准，而其中一个异质结电池的正面主栅和背面主栅发生角度偏移，则在第一覆盖段覆盖一个异质结电池的正面主栅的同时，第二覆盖段不能覆盖相邻异质结电池的背面主栅而仅仅与背面主栅局部接触或点接触，使得汇流至该背面主栅的光生载流子通过上述接触点传输至金属互联条，这就导致上述接触点传输的电流较大从而形成焊接热点，不仅对异质结电池的性能产生不利影响，还有可能引起异质结电池失火。而如果两个异质结电池的正面主栅相互对准且两个异质结电池的正面主栅和背面主栅也是相互对应的，则金属互联条在覆盖一个异质结电池的正面主栅时，也会覆盖另一异质结电池的背面主栅，不仅保证了相邻异质结电池之间的有效串联，还避免了焊接热点的形成，为异质结电池组件的正常工作提供了保证。

现有的一种丝网印刷系统包括：丝印网版、可移动载台、刮刀和CCD相机，其采用CCD相机确定太阳能电池边缘的位置，再根据电池边缘位置关系移动可移动载台，以将待印刷区域与丝印网版对准，再在待印刷区域印刷栅线。然而，由于主栅宽度为微米级别，而太阳能电池的边长尺寸为156mm-230mm，仅仅依靠CCD相机无法将太阳能电池边缘的位置精确到微米级别，这导致在正面栅线的制备过程所确定的太阳能电池边缘的位置和背面栅线的制备过程所确定的太阳能电池边缘的位置易产生大于微米级别的误差和轻微的角度偏移，从而造成正面主栅和背面主栅无法对准。因此，为了保证正面主栅和背面主栅对准不仅需要较长的时间，还会导致对准效率降低。

在此基础上，本实施例提供一种丝网印刷系统，用于半导体器件的图案的定位印刷，所述半导体器件的图案包括第一栅线。参见图1-图3，丝网印刷系统包括：载台1，所述载台1具有第一区11和第二区12，所述第一区11适于承载半导体器件，所述第一栅线适于与所述第一区11接触；丝网印版4，所述丝网印版4适于在所述载台1处于初始位置时位于第二区12的上方，所述丝网印版具有待印刷图案；位于所述载台1上方的图像传感装置(图中未示出)，所述图像传感装置适于获取当所述载台1处于初始位置时所述半导体器件至所述丝网印版4的第一位置信息；分别位于所述载台1的上下两侧的检测光发射部件2和检测光接收部件3，所述检测光发射部件2适于当载台1处于初始位置时朝向所述第一区11发射检测光，所述检测光接收部件3适于当载台1处于初始位置时接收穿过所述半导体器件和所述载台且未被所述第一栅线遮挡的检测光，以获取所述第一栅线在所述半导体器件中的第二位置信息；所述载台1和/或丝网印版4适于根据第一位置信息和第二位置信息移动，使所述待印刷图案与所述第一栅线对准。

上述丝网印刷系统，当所述载台处于初始位置时，所述检测光发射部件适于发射检测光至所述半导体器件，检测光进入所述半导体器件，照射在第一栅线上的部分检测光被第一栅线阻挡无法射出，未照射在第一栅线上的部分检测光从半导体器件中射出并被所述检测光接收部件接收，因此检测光接收部件接收的检测光的分布情况能够反映所述第一栅线在半导体器件中的第二位置信息；所述图像传感装置适于获取当所述载台处于初始位置时所述半导体器件至所述丝网印版的第一位置信息，同时所述待印刷图案在所述丝网印版中的相对位置是已知的，因此能够确定所述载台处于初始位置时所述第一栅线与所述待印刷图案的相对位置关系，从而能够调节所述载台和/或丝网印版的位置使所述待印刷图案与所述第一栅线对准，随后以丝网印版为掩膜在所述半导体器件的表面印刷第二栅线。即，所述丝网印刷系统，结合检测光发射部件、检测光接收部件和图像传感器对栅线的综合定位作用，以所述半导体器件中已有的第一栅线为基准进行第二栅线的制备，容易实现第二栅线与第一栅线的精确对准，避免第二栅线与第一栅线发生错位或角度偏移，且对准效率较高。

这里应该理解的是，第一区和第二区分布在载台的不同位置，为了提高周转效率，载台还可以具有除第一区和第二区之外的其他区，这里不做限定。在本实施例中，半导体器件放置在第一区上且半导体器件中具有第一栅线的表面朝下。

在本实施例中，参见图1和图3，所述检测光发射部件2位于所述载台1的上方，所述检测光接收部件3位于所述载台1的下方；或者，所述检测光接收部件3位于所述载台1的上方，所述检测光发射部件2位于所述载台1的下方。优选的，在载台1处于初始位置时，所述检测光发射部件2和所述检测光接收部件3中一个位于所述第一区11的正上方，另一个位于所述第一区11的正下方。

在本实施例中，所述第一栅线为金属材料，对于特征光具有较强的反射作用，因此照射至所述第一栅线表面的检测光可视为不能穿过所述第一栅线，这使得从载台1的一侧表面出射的检测光包含有半导体器件中第一栅线的图像信息。具体的，在检测光接收部件3接收的图像中，与所述第一栅线相对应的区域亮度较低，与所述第一栅线侧部相对应的区域亮度相对较高，因此，所述图像信息能够反映出所述第一栅线在半导体器件中的位置。

进一步地，所述检测光包括红外光，所述检测光发射部件2包括红外光发射部件，所述检测光接收部件3包括红外光接收部件；这里应该理解的是，所述半导体器件的材料包括单晶硅，所述第一栅线和第二栅线的材料为金属材料或合金材料，如银或铝。红外光能够穿过单晶硅而无法穿过第一栅线。

在本实施例中，所述图像传感装置包括CCD相机，结合检测光发射部件、检测光接收部件和图像传感器对栅线的综合定位作用。

在本实施例中，所述载台1采用适于透光的材料构成，这些透光的材料例如可以包括玻璃或树脂，从而使得所述载台适于使检测光穿过。

在本实施例中，参见图1-图3，所述第一区11设置有若干吸附孔13；所述丝网印刷系统还包括与所述吸附孔13连通的真空泵，通过所述吸附孔13吸附所述半导体器件以将半导体器件固定在所述第一区11。

作为第一种实施方式，参见图1，所述载台1为固定载台；所述丝网印刷系统还包括移动件5和控制模块(图中未示出)，所述控制模块的输入端与所述图像传感装置和检测光接收部件3电学连接，所述控制模块的输出端与所述移动件5电学连接；所述图像传感装置获取的第一位置信息和所述检测光接收部件3获取的第二位置信息传输至所述控制模块，所述控制模块适于根据第一位置信息和第二位置信息控制移动件5进行位移；所述移动件5适于带动所述丝网印版4移动，使所述丝网印版4中的待印刷图案与所述第一栅线对准。此时，所述检测光发射部件2和检测光接收部件3分别位于所述第一区11的上下两侧，所述丝网印版4位于第二区12的上方。

具体的，在第一种实施方式中，所述移动件5包括固定端和移动端，所述固定端固定在载台1上，所述移动端与所述丝网印版4连接；所述检测光发射部件2和所述检测光接收部件3之一固定在所述载台1的下表面。

进一步地，在第一种实施方式中，所述丝网印刷系统还包括刮刀(图中未示出)，当所述载台1处于初始位置时所述刮刀位于所述第二区12的上方，以避免刮刀影响所述第二位置信息的获取；在所述丝网印版4中的待印刷图案与所述第一栅线对准后，所述刮刀沿着所述丝网印版4进行水平移动，在所述刮刀的挤压下丝网印版4上方的浆料(如银浆、铝浆等)透过丝印网版中的孔洞印刷在半导体器件上，从而得到第二栅线。

作为第二种实施方式，参见图3，所述丝网印刷系统还包括驱动件、移动件5和控制模块(图中未示出)，所述控制模块的输入端与所述图像传感装置和检测光接收部件3电学连接，所述控制模块的输出端与所述驱动件和移动件5电学连接；所述图像传感装置获取的第一位置信息和所述检测光接收部件3获取的第二位置信息传输至所述控制模块，所述控制模块适于根据第一位置信息和第二位置信息输出第一移动信号至所述驱动件及输出第二移动信号至所述移动件5；所述驱动件适于接收所述第一移动信号并带动所述载台1移动；所述移动件5适于根据第二移动信号带动所述丝网印版4移动。

具体的，在第二种实施方式中，当所述载台1处于初始位置时，所述丝网印版4位于所述第二区的正上方，所述图像传感装置获取所述半导体器件至所述丝网印版4的第一位置信息并传输至所述控制模块，所述检测光接收部件3获取所述第一栅线在所述半导体器件中的第二位置信息并传输至所述控制模块，随后所述控制模块根据第一位置信息和第二位置信息控制所述驱动件带动所述载台1移动，所述载台1移动第一距离，随后所述控制模块控制所述移动件5带动所述丝网印版4移动，所述丝网印版4移动第二距离，所述第二距离大于等于零且小于所述第一距离。即，首先由所述载台1移动相对较大的距离以进行第一栅线与待印刷图案的粗对准，随后丝网印版4移动较小的距离进行第一栅线与待印刷图案的精对准。这里应该理解的是，当仅移动载台1即可实现第一栅线与待印刷图案的精对准时，则无需再移动丝网印版4；当移动载台1后，第一栅线与丝网印版4仅仅存在角度偏移，则丝网印版4仅需调整角度即可。

可选的，在第二种实施方式中，所述驱动件包括旋转杆6和驱动电机7，所述驱动电机7适于带动所述旋转杆6旋转，所述旋转杆6的一端连接所述载台1，所述驱动电机7与所述控制模块的输出端电学连接。具体的，所述丝网印刷系统还包括位于所述载台1下方的承载平台8，所述旋转杆6背离所述载台1的一端贯穿所述承载平台8并延伸至外，所述驱动电机7设置在所述旋转杆6背离所述载台1的一端，所述检测光发射部件2和所述检测光接收部件3之一设置在所述承载平台8朝向所述载台1的一侧表面；所述移动件5包括固定端和移动端，所述固定端固定在所述承载平台8上，所述移动端与所述丝网印版4连接。这里应该理解的是，所述载台1的移动方式包括但不限于旋转，所述驱动件包括但不限于上述结构。

进一步地，在第二种实施方式中，所述丝网印刷系统还包括刮刀(图中未示出)，当所述载台1处于初始位置时，所述刮刀位于所述丝网印版4的正上方，由于所述丝网印版4移动的程度较小，因此在所述丝网印版4中的待印刷图案与所述第一栅线精对准后，所述刮刀依旧位于所述丝网印版4的正上方，所述刮刀沿着所述丝网印版4进行水平移动，在所述刮刀的挤压下丝网印版4上方的浆料(如银浆、铝浆等)透过丝印网版中的孔洞印刷在半导体器件上，从而得到第二栅线。上述结构使得所述检测光发射部件2和检测光接收部件3之一与刮刀的位置较为分散，降低了空间局限性，使得丝网印刷系统设置更加灵活。

在本实施例中，所述移动件5包括机械臂，所述丝网印版4设置于所述机械臂的端部。

在本实施例中，所述半导体器件为太阳能电池，所述太阳能电池包括异质结太阳能电池。在一个实施例中，所述第一栅线仅包括第一主栅，所述第二栅线仅包括第二主栅。在其他实施例中，所述第一栅线可以包括第一主栅和与第一主栅连接的第一细栅，所述第二栅线可以包括第二主栅和与第二主栅连接的第二主栅，所述丝网印版中的待印刷图案与所述第一栅线的对准过程中，以获取第一主栅在所述半导体器件中的位置信息为主。所述第一栅线所在的半导体器件的下表面与载台接触。

进一步地，所述太阳能电池的边长尺寸为156mm-230mm；所述第一主栅的宽度为30mm-60mm。在一个实施例中，所述第一栅线位于半导体器件的正面，所述第二栅线位于半导体器件的背面；在其他实施例中，所述第一栅线位于半导体器件的背面，所述第二栅线位于半导体器件的正面。

本实施例提供的丝网印刷系统对应的丝网印刷方法，包括以下步骤：

当所述载台1处于初始位置时，将所述丝网印版4设置在第二区12的上方；

将所述半导体器件放置在所述第一区11上，且所述第一栅线与所述第一区11接触；

当所述载台1处于初始位置时，采用图像传感装置获取所述半导体器件至所述丝网印版4的第一位置信息；

当所述载台1处于初始位置时，采用检测光发射部件2发射检测光至所述半导体器件，并采用检测光接收部件3接收穿过所述半导体器件和所述载台且未被所述第一栅线遮挡的检测光，以获取所述第一栅线在所述半导体器件中的第二位置信息；

根据第一位置信息和第二位置信息，调节载台1和/或丝网印版4的位置使所述待印刷图案与所述第一栅线对准；

以对准之后的丝网印版4为掩膜在所述半导体器件背离所述第一栅线的表面印刷第二栅线。

具体的，在第一种实施方式提供的丝网印刷系统中，参见图1，调节所述载台1和/或丝网印版4的位置的步骤包括：所述图像传感装置获取的第一位置信息和所述检测光接收部件3获取的第二位置信息传输至控制模块(图中未示出)，所述控制模块根据第一位置信息和第二位置信息控制移动件5进行位移，所述移动件5带动所述丝网印版4移动至所述半导体器件的另一侧，并使所述待印刷图案与所述第一栅线对准。进一步地，在所述丝网印版4中的待印刷图案与所述第一栅线对准后，所述丝网印版4位于所述半导体器件的正上方，所述丝网印版4与所述半导体器件接触；所述丝网印刷系统还包括刮刀(图中未示出)，当所述载台1处于初始位置时所述刮刀位于所述第二区12的上方，以避免刮刀影响所述第二位置信息的获取；在所述丝网印版4中的待印刷图案与所述第一栅线对准后，所述刮刀沿着所述丝网印版4进行水平移动，在所述刮刀的挤压下丝网印版4上方的浆料(如银浆、铝浆等)透过丝印网版中的孔洞印刷在半导体器件上，从而得到第二栅线。

在第二种实施方式提供的丝网印刷系统中，参见图3，调节所述载台1和/或丝网印版4的位置的步骤包括：所述图像传感装置获取的第一位置信息和所述检测光接收部件3获取的第二位置信息传输至控制模块(图中未示出)，所述控制模块根据第一位置信息和第二位置信息输出第一移动信号至驱动件并输出第二移动信号至移动件5；所述驱动件接收所述第一移动信号并带动所述载台1移动至目标位置，所述目标位置不同于所述初始位置；所述驱动件带动所述载台1移动至目标位置之后，所述移动件5根据第二移动信号带动所述丝网印版4移动至半导体器件的另一侧，并使所述待印刷图案与所述第一栅线对准。具体的，所述驱动件带动所述载台1移动至目标位置的过程包括，采用驱动电机7带动旋转杆6旋转，所述旋转杆6带动所述载台1围绕载台1与旋转杆6的接触点旋转。在所述待印刷图案与所述第一栅线对准后，所述丝网印版4位于所述半导体器件的正上方，所述丝网印版4与所述半导体器件接触；所述丝网印刷系统还包括刮刀(图中未示出)，当所述载台1处于初始位置时，所述刮刀位于所述丝网印版4的正上方，由于所述丝网印版4移动的程度较小，因此在待印刷图案与所述第一栅线精对准后，所述刮刀依旧位于所述丝网印版4的正上方，所述刮刀沿着所述丝网印版4进行水平移动，在所述刮刀的挤压下丝网印版4上方的浆料(如银浆、铝浆等)透过丝印网版中的孔洞印刷在半导体器件上，从而得到第二栅线。

进一步地，在第二种实施方式中，所述载台1从初始位置移动至目标位置的距离为第一距离，所述丝网印版4移动的距离为第二距离，所述第二距离大于等于零且小于所述第一距离。即，首先由所述载台1移动相对较大的距离以进行第一栅线与待印刷图案的粗对准，随后丝网印版4移动较小的距离进行第一栅线与待印刷图案的精对准。这里应该理解的是，当仅移动载台1即可实现第一栅线与待印刷图案的精对准时，则无需再移动丝网印版4；当移动载台1后，第一栅线与丝网印版4仅仅存在角度偏移，则丝网印版4仅需调整角度即可。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种丝网印刷系统，用于半导体器件的图案的定位印刷，所述半导体器件的图案包括第一栅线，其特征在于，包括：

载台，所述载台具有第一区和第二区，所述第一区适于承载半导体器件，所述第一栅线适于与所述第一区接触；

丝网印版，所述丝网印版适于在所述载台处于初始位置时位于第二区的上方，所述丝网印版具有待印刷图案；

位于所述载台上方的图像传感装置，所述图像传感装置适于获取当所述载台处于初始位置时所述半导体器件至所述丝网印版的第一位置信息；

分别设置于所述载台的所述第一区的上下两侧的检测光发射部件和检测光接收部件，所述检测光发射部件适于当所述载台处于初始位置时朝向所述第一区发射检测光，所述检测光接收部件适于当所述载台处于初始位置时接收穿过所述半导体器件和所述载台且未被所述第一栅线遮挡的检测光，以获取所述第一栅线在所述半导体器件中的第二位置信息；

所述载台和/或所述丝网印版适于根据第一位置信息和第二位置信息移动，使得所述待印刷图案与所述第一栅线对准。

2.根据权利要求1所述的丝网印刷系统，其特征在于，所述载台为固定载台；

所述丝网印刷系统还包括移动件和控制模块，所述控制模块的输入端与所述图像传感装置和检测光接收部件电学连接，所述控制模块的输出端与所述移动件电学连接；所述控制模块适于根据第一位置信息和第二位置信息控制移动件进行位移；所述移动件适于带动所述丝网印版移动。

3.根据权利要求1所述的丝网印刷系统，其特征在于，还包括：驱动件、移动件和控制模块，所述控制模块的输入端分别与所述图像传感装置和所述检测光接收部件电学连接，所述控制模块的输出端与所述驱动件和所述移动件电学连接；

所述控制模块适于根据第一位置信息和第二位置信息输出第一移动信号至所述驱动件及输出第二移动信号至所述移动件；所述驱动件适于接收所述第一移动信号并带动所述载台移动；所述移动件适于根据第二移动信号带动所述丝网印版移动。

4.根据权利要求3所述的丝网印刷系统，其特征在于，所述驱动件包括旋转杆和驱动电机，所述驱动电机适于带动所述旋转杆旋转，所述旋转杆的一端连接所述载台，所述驱动电机与所述控制模块的输出端电学连接。

5.根据权利要求1所述的丝网印刷系统，其特征在于，所述检测光发射部件位于所述载台的上方，所述检测光接收部件位于所述载台的下方；

或者，所述检测光接收部件位于所述载台的上方，所述检测光发射部件位于所述载台的下方。

6.根据权利要求2或3所述的丝网印刷系统，其特征在于，所述移动件包括机械臂，所述丝网印版设置于所述机械臂的端部。

7.根据权利要求1-5任一项所述的丝网印刷系统，其特征在于，所述检测光包括红外光，所述检测光发射部件包括红外光发射部件，所述检测光接收部件包括红外光接收部件。

8.根据权利要求1-5任一项所述的丝网印刷系统，其特征在于，所述载台为玻璃载体或树脂载体，所述载台适于使检测光穿过。

9.根据权利要求1-5任一项所述的丝网印刷系统，其特征在于，所述图像传感装置包括CCD相机。

10.根据权利要求1-5任一项所述的丝网印刷系统，其特征在于，所述半导体器件为太阳能电池，所述太阳能电池的相对两表面分别设置第一栅线和第二栅线。

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