CN215373446U - 一种晶圆烘烤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶圆烘烤装置，属于晶圆加工技术领域，包括烘烤机构以及提篮，所述提篮上设置提取机构，所述提取机构包括固定杆以及设置在固定杆两端的支撑杆，两个所述支撑杆端部设置固定块，所述固定杆内设置第一通孔，所述第一通孔内设置牵引杆，对应所述第一通孔在固定杆上设置通槽，所述牵引杆上对应第一通孔设置弹舌，所述支撑杆内设置第二通孔，对应第二通孔在固定块内设置导向孔，所述第一通孔与第二通孔相通，所述第二通孔与导向孔相通；本实用新型将提篮从烘烤机构内取出时不会因为高温从而发生提篮掉落等情况。

Description

一种晶圆烘烤装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆烘烤装置。

背景技术

晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。在生产晶圆的过程中，时常需要将晶圆置入烘烤装置，通过烤盘的适当温度来将晶圆上的光刻胶体等等，进行物理性或是化学性的转变，例如热固化等等。

晶圆烘干机在使用过程中温度较高（烘干室内温度在75-80度之间），烘干室出料后的硅片及花篮筐温度较高，能够导致操作人员烫伤。卸料时操作人员只穿戴聚乙烯手套不能直接操作，必须在聚乙烯手套内再穿戴较厚的隔热手套，因而影响操作人员手感，不易掌握力度，时有破片现象发生。同时聚乙烯手套因热度较高损坏较快，造成浪费和成本增大。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种晶圆烘烤装置，以解决上述背景技术提出的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆烘烤装置，包括烘烤机构以及提篮，所述提篮上设置提取机构，所述提取机构包括固定杆以及设置在固定杆两端的支撑杆，两个所述支撑杆端部设置固定块，所述固定杆内设置第一通孔，所述第一通孔内设置牵引杆，对应所述第一通孔在固定杆上设置通槽，所述牵引杆上对应第一通孔设置弹舌，所述支撑杆内设置第二通孔，对应第二通孔在固定块内设置导向孔，所述第一通孔与第二通孔相通，所述第二通孔与导向孔相通。

进一步的，所述第二通孔内设置伸缩杆，所述导向孔内滑动设置导向杆，所述伸缩杆端部与导向杆一端相连接，所述伸缩杆上设置弹簧，所述弹簧的一端与第二通孔的侧壁相连接，弹簧的另一端与导向杆度端部相连接。

进一步的，所述牵引杆两端设置第一卡环，所述伸缩杆底端设置第二卡环，所述导向杆端部设置第三卡环，所述第一卡环上设置牵引绳，所述牵引绳穿过第二卡环与第三卡环相连接。

进一步的，所述导向杆另一端设置卡块，对应所述卡块在提篮两侧设置卡槽。

进一步的，所述支撑杆上设置把手，所述把手上设置橡胶层。

本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：

通过按动弹舌能够间接使得导向杆向导向孔内收缩，进而使得卡块向两侧移动，然后就能够将卡块伸入卡槽内或者卡块从卡槽内伸出，进而能够控制提篮移动或者将提篮留在烘烤机构内进行烘烤。

附图说明

图1为本实用新型一种晶圆烘烤装置的结构示意图；

图2为本实用新型提取机构的结构示意图；

图3为本实用新型提篮侧视图的结构示意图；

图4为本实用新型A处的结构示意图。

1、烘烤机构；2、提篮；3、固定杆；4、第一通孔；5、牵引杆；6、通槽；7、弹舌；8、支撑杆；9、第二通孔；10、固定块；11、导向孔；12、伸缩杆；13、导向杆；14、弹簧；15、第一卡环；16、第二卡环；17、第三卡环；18、牵引绳；19、卡块；20、卡槽；21、把手；22、橡胶层。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图1-4，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-4所示：一种晶圆烘烤装置，包括烘烤机构1以及提篮2，所述提篮2上设置提取机构，所述提取机构包括固定杆3以及设置在固定杆3两端的支撑杆8，两个所述支撑杆8端部设置固定块10，所述固定杆3内设置第一通孔4，所述第一通孔4内设置牵引杆5，对应所述第一通孔4在固定杆3上设置通槽6，所述牵引杆5上对应第一通孔4设置弹舌7，所述支撑杆8内设置第二通孔9，对应第二通孔9在固定块10内设置导向孔11，所述第一通孔4与第二通孔9相通，所述第二通孔9与导向孔11相通；当需要对晶圆进行烘烤时，将晶圆放入提篮2中，然后控制提取机构上的卡块19卡入卡槽20内，然后手扶把手21将提篮2移动到烘烤箱内，然后拆下提取机构将提篮2留在烘烤箱内，烘烤完成后控制提取机构将提篮2取出即可。

具体而言，一种晶圆烘烤装置，固定杆3内的第一通孔4与支撑杆8内的第二通孔9相连通，第一通孔4设置为矩形通孔，且牵引杆5长度要长于固定杆3的长度，即牵引杆5的两端位于第二通孔9内，即按下弹舌7向下移动能够使得牵引杆5在第一通孔4内向下移动并拉动牵引绳18，进而牵引绳18能够拉动导向杆13在导向孔11内向两侧移动，从而就能够使得卡块19脱离卡槽20，将提篮2留在烘烤箱内。

根据本实用新型的一个实施例，如图2、4所示，

所述第二通孔9内设置伸缩杆12，所述导向孔11内滑动设置导向杆13，所述伸缩杆12端部与导向杆13一端相连接，所述伸缩杆12上设置弹簧14，所述弹簧14的一端与第二通孔9的侧壁相连接，弹簧14的另一端与导向杆13度端部相连接。即牵引绳18拉动导向杆13在导向孔11内移动时，弹簧14能够推动导向杆13进行复位，伸缩杆12能够为弹簧14提供导向，固定块10内设置的导向孔11横截面设置为多边形结构，进而导向杆13的横截面也设置为多边形结构，从而导向杆13不会在导向孔11内发生旋转，进而使得卡块19无法卡入卡槽20内，同时控制提取机构带动提篮2进行移动时，提篮2本体的重力通过导向杆13传递到固定块10上。

根据本实用新型的另一个实施例，如图2、4所示，

所述牵引杆5两端设置第一卡环15，所述伸缩杆12底端设置第二卡环16，所述导向杆13端部设置第三卡环17，所述第一卡环15上设置牵引绳18，所述牵引绳18穿过第二卡环16与第三卡环17相连接。牵引绳18通过绑接绑到第一卡换上，并穿过第二卡环16绑接到第三卡环17上，进而按动弹舌7就能够使得牵引绳18拉动导向杆13移动，第二卡环16设置到伸缩杆12底端能够避免牵引绳18与第二通孔9内的棱角发生摩擦。

在本实用新型的一个实施例中，如图2、3、4所示，

所述导向杆13另一端设置卡块19，对应所述卡块19在提篮2两侧设置卡槽20。即卡块19卡入卡槽20后就能够通过提取机构控制提篮2移动，卡块19的横截面为多边形结构，进而在提取机构将提篮2提起来后，提篮2不会发生旋转。

在本实用新型的另一个实施例中，如图1、2、3所示，

所述支撑杆8上设置把手21，所述把手21上设置橡胶层22。即当提取机构上的卡块19卡入卡槽20内后，工作人员通过把手21能够将提篮2取出，把手21上设置的橡胶层22能够增大摩擦力，避免手没抓稳等可能发生的意外情况。

本实用新型的工作原理：

当镜片完成烘烤之后，打开烘干机构，然后按下弹舌7使得导向杆13带动卡块19向两侧移动，然后将卡块19对准卡槽20后松开弹舌7使得卡块19卡入卡槽20内，然后工作人员通过把手21能够将提篮2取出。本使用新型不但能够避免大量手套，并且能够使得工作人员不会因为烫手从而对晶圆造成的损伤。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种晶圆烘烤装置，其特征在于：包括烘烤机构(1)以及提篮(2)，所述提篮(2)上设置提取机构，所述提取机构包括固定杆(3)以及设置在固定杆(3)两端的支撑杆(8)，两个所述支撑杆(8)端部设置固定块(10)，所述固定杆(3)内设置第一通孔(4)，所述第一通孔(4)内设置牵引杆(5)，对应所述第一通孔(4)在固定杆(3)上设置通槽(6)，所述牵引杆(5)上对应第一通孔(4)设置弹舌(7)，所述支撑杆(8)内设置第二通孔(9)，对应第二通孔(9)在固定块(10)内设置导向孔(11)，所述第一通孔(4)与第二通孔(9)相通，所述第二通孔(9)与导向孔(11)相通。

2.如权利要求1所述的一种晶圆烘烤装置，其特征在于：所述第二通孔(9)内设置伸缩杆(12)，所述导向孔(11)内滑动设置导向杆(13)，所述伸缩杆(12)端部与导向杆(13)一端相连接，所述伸缩杆(12)上设置弹簧(14)，所述弹簧(14)的一端与第二通孔(9)的侧壁相连接，弹簧(14)的另一端与导向杆(13)度端部相连接。

3.如权利要求2所述的一种晶圆烘烤装置，其特征在于：所述牵引杆(5)两端设置第一卡环(15)，所述伸缩杆(12)底端设置第二卡环(16)，所述导向杆(13)端部设置第三卡环(17)，所述第一卡环(15)上设置牵引绳(18)，所述牵引绳(18)穿过第二卡环(16)与第三卡环(17)相连接。

4.如权利要求2所述的一种晶圆烘烤装置，其特征在于：所述导向杆(13)另一端设置卡块(19)，对应所述卡块(19)在提篮(2)两侧设置卡槽(20)。

5.如权利要求1所述的一种晶圆烘烤装置，其特征在于：所述支撑杆(8)上设置把手(21)，所述把手(21)上设置橡胶层(22)。

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