CN215338369U - 一种适用于多种型号晶圆的感应装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种适用于多种型号晶圆的感应装置，包括晶圆承载板、发射接收机构、固定支架以及反射机构，发射接收机构包括三个透明检测型光电传感器；固定支架包括连接板、L型增高杆以及T型固定板，T型固定板与L型增高杆顶部固定连接，L型增高杆底部与连接板固定连接，连接板固定于晶圆承重板上；反射机构包括三个反射镜以及固定于反射镜下方的定位磁板，其中两个定位磁板设置于承载板对称开设的两个固定槽内，另外一个定位磁板插设于晶圆承载板的插槽内，三个反射镜与三个透明检测型光电传感器相对设置。采用上述结构的一种适用于多种型号晶圆的感应装置，传感器器位置可调，同时采用透明检测型光电传感器，便于使用不同尺寸和型号的晶圆。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工技术领域，尤其是涉及一种适用于多种型号晶圆的感应装置。
背景技术
现有技术中随着技术的进步，现有的晶圆不仅仅有标准不透明的晶圆，同时还有半透明或全透明的非标准晶圆，在实际生产过程中需要检测晶圆有无和位置，然后机台运行，现有技术中的监测装置仅仅适应标准的晶圆，不能检测半透明或全透明的晶圆，同时现有的技术中传感器结构固定，不能使用更多尺寸的晶圆，需要设置多组传感器，增加设备成本。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种适用于多种型号晶圆的感应装置，传感器器位置可调，同时采用透明检测型光电传感器，便于使用不同尺寸和型号的晶圆。
为实现上述目的，本实用新型提供了一种适用于多种型号晶圆的感应装置，包括晶圆承载板、发射接收机构、固定支架以及反射机构，
所述发射接收机构包括三个透明检测型光电传感器；
所述固定支架包括连接板、L型增高杆以及T型固定板，所述T型固定板与所述L型增高杆顶部固定连接，所述L型增高杆底部与所述连接板固定连接，所述连接板固定于所述晶圆承重板上；
所述反射机构包括三个反射镜以及固定于所述反射镜下方的定位磁板，其中两个所述定位磁板设置于所述晶圆承载板对称开设的两个固定槽内，另外一个所述定位磁板插设于所述晶圆承载板的插槽内，三个所述反射镜与三个所述透明检测型光电传感器相对设置。
优选的，所述透明检测型光电传感器底部固定有滑块，所述滑块中部开设有定位槽，所述定位槽内设置有顶紧弹簧和滚球。
优选的，所述T型固定板底部开开设有三条燕尾滑槽，三个所述透明检测型光电传感器分别设置于三条所述燕尾滑槽内。
优选的，所述定位磁板与所述反射镜粘接，所述反射镜为圆形或矩形。
因此，本实用新型采用上述结构的一种适用于多种型号晶圆的感应装置，具有以下有益效果：
(1)、采用透明检测型光电传感器，可以检测不透明、半透明或全透明的晶圆。
(2)、设置有三个采用透明检测型光电传感器以及反光镜，且位置可调，可适应不同尺寸的晶圆以及确定晶圆位置。
下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
图1为本实用新型一种适用于多种型号晶圆的感应装置局部结构示意图；
图2为本实用新型固定支架结构示意图；
图3为本实用新型透明检测型光电传感器固定结构示意图；
图4为本实用新型整体结构示意图。
附图标记
1、晶圆承载板；11、插槽；12、固定槽；2、固定支架；21、连接板；22、L型增高杆；23、T型固定板；3、反射镜；4、定位磁板；5、透明检测型光电传感器；6、顶紧弹簧；7、滚球。
具体实施方式
实施例1
图1为本实用新型一种适用于多种型号晶圆的感应装置局部结构示意图，图2为本实用新型固定支架结构示意图，图3为本实用新型透明检测型光电传感器固定结构示意图，图4为本实用新型整体结构示意图，如图所示，一种适用于多种型号晶圆的感应装置，包括晶圆承载板1、发射接收机构、固定支架2以及反射机构。
本实施例发射接收机构包括三个透明检测型光电传感器7，透明检测型光电传感器7可以检测不透明、半透明或全透明的晶圆，扩大使用范围。
固定支架2包括连接板21、L型增高杆22以及T型固定板23，T型固定板23与L型增高杆22顶部固定连接，L型增高杆22底部与连接板21固定连接，连接板21固定于晶圆承重板1上。T型固定板23底部开开设有三条燕尾滑槽，三个透明检测型光电传感器5分别设置于三条燕尾滑槽内。透明检测型光电传感器5底部固定有滑块，滑块中部开设有定位槽，定位槽内设置有顶紧弹簧6和滚球7，便于透明检测型光电传感器5的位置调整，且固定可靠。可适应不同尺寸的晶圆以及确定晶圆位置。
反射机构包括三个反射镜3以及固定于反射镜3下方的定位磁板4，定位磁板4与反射镜3粘接，本实施例反射镜3为圆形。其中两个定位磁板4设置于晶圆承载板1对称开设的两个固定槽12内，另外一个定位磁板4插设于晶圆承载板1的插槽11内，三个反射镜3与三个透明检测型光电传感器5相对设置。
因此，本实用新型采用上述结构的一种适用于多种型号晶圆的感应装置，传感器器位置可调，同时采用透明检测型光电传感器，便于使用不同尺寸和型号的晶圆。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本实用新型技术方案的精神和范围。
Claims (4)
1.一种适用于多种型号晶圆的感应装置，包括晶圆承载板，其特征在于：还包括发射接收机构、固定支架以及反射机构，
所述发射接收机构包括三个透明检测型光电传感器；
所述固定支架包括连接板、L型增高杆以及T型固定板，所述T型固定板与所述L型增高杆顶部固定连接，所述L型增高杆底部与所述连接板固定连接，所述连接板固定于所述晶圆承重板上；
所述反射机构包括三个反射镜以及固定于所述反射镜下方的定位磁板，其中两个所述定位磁板设置于所述晶圆承载板对称开设的两个固定槽内，另外一个所述定位磁板插设于所述晶圆承载板的插槽内，三个所述反射镜与三个所述透明检测型光电传感器相对设置。
2.根据权利要求1所述的一种适用于多种型号晶圆的感应装置，其特征在于：所述透明检测型光电传感器底部固定有滑块，所述滑块中部开设有定位槽，所述定位槽内设置有顶紧弹簧和滚球。
3.根据权利要求1所述的一种适用于多种型号晶圆的感应装置，其特征在于：所述T型固定板底部开开设有三条燕尾滑槽，三个所述透明检测型光电传感器分别设置于三条所述燕尾滑槽内。
4.根据权利要求1所述的一种适用于多种型号晶圆的感应装置，其特征在于：所述定位磁板与所述反射镜粘接，所述反射镜为圆形或矩形。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202122115813.3U CN215338369U (zh) | 2021-09-02 | 2021-09-02 | 一种适用于多种型号晶圆的感应装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN215338369U true CN215338369U (zh) | 2021-12-28 |
Family
ID=79578499
Family Applications (1)
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| CN202122115813.3U Active CN215338369U (zh) | 2021-09-02 | 2021-09-02 | 一种适用于多种型号晶圆的感应装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215338369U (zh) |
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2021
- 2021-09-02 CN CN202122115813.3U patent/CN215338369U/zh active Active
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