CN215215430U - 半导体失效分析探针台用摄像头安装装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体失效分析探针台用摄像头安装装置，包括支架(1)和侧边摄像头(3)，侧边摄像头通过支架装在探针台机架(2)上，使侧边摄像头倾斜位于垂直摄像头(21)旁并面向探针；支架包括固定杆(11)、横向调节座(12)、纵向调节座(13)和连接座(14)；固定杆一端与横向调节座连接，另一端与探针台机架连接；纵向调节座一端可移动式装在横向调节座上，连接座可移动式装在纵向调节座上，纵向调节座与连接座的移动方向垂直；侧边摄像头可转动式装在连接座上。本实用新型能扩大摄像头对探针的观察视角，确保探针的正常使用，既能提高半导体芯片失效分析的准确性，又能防止探针扎伤半导体芯片。

Description

半导体失效分析探针台用摄像头安装装置

技术领域

本实用新型涉及一种半导体失效分析设备，尤其涉及一种半导体失效分析探针台用摄像头安装装置。

背景技术

半导体元件是一种将电路小型化并集成在半导体晶圆表面上的产品，由于电路中各部件的尺寸较小且布置精细化程度较高，半导体产品芯片生产后需要采用半导体失效分析探针台设备进测试分析。在测试分析时，通过探针连接电性参数仪器，从而对半导体芯片进行电性分析。

现有技术的探针台设备上安装有与半导体芯片置放平面垂直的摄像头，用于观察半导体芯片样品与探针是否接触。由于摄像头的观察角度是垂直与芯片样品的，视角受到限制，经常无法准确判定探针是否真正与半导体芯片样品接触，可能出现未接触或探针扎过的现象，未接触导致漏检风险，探针扎过导致芯片结构损坏风险，从而影响半导体芯片的电性分析准确性和效率。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体失效分析探针台用摄像头安装装置，能扩大摄像头对探针的观察视角，确保探针的正常使用，既能提高半导体芯片失效分析的准确性，又能防止探针扎伤半导体芯片。

本实用新型是这样实现的：

一种半导体失效分析探针台用摄像头安装装置，包括支架和侧边摄像头，侧边摄像头通过支架安装在探针台机架上，使侧边摄像头倾斜位于垂直摄像头的旁侧并面向探针设置；支架包括固定杆、横向调节座、纵向调节座和连接座；固定杆的一端与横向调节座连接，固定杆的另一端与探针台机架固定连接；纵向调节座的一端可移动式安装在横向调节座上，连接座可移动式安装在纵向调节座上，且纵向调节座的移动方向与连接座的移动方向垂直；侧边摄像头可转动式安装在连接座上，且侧边摄像头的转动方向与纵向调节座垂直。

所述的横向调节座的两端均形成有限位安装块，两块限位安装块之间安装有导向杆，导向杆贯穿纵向调节座的一端，使纵向调节座能沿导向杆在两块限位安装块之间横向移动。

所述的横向调节座上形成有第一导向槽，纵向调节座的一端形成有导向凸块，导向凸块插入在第一导向槽内。

所述的导向杆与第一导向槽平行设置。

所述的纵向调节座上形成有第二导向槽，连接座通过连接件经第二导向槽安装在纵向调节座上并能沿第二导向槽滑动。

所述的第二导向槽与第一导向槽垂直设置。

所述的连接座上形成有转轴座，侧边摄像头通过转轴安装在转轴座上，使侧边摄像头能通过转轴相对转轴座在竖直平面内转动。

所述的固定杆、横向调节座、纵向调节座两两相互垂直设置。

本实用新型能扩大摄像头对探针的观察视角，确保探针的正常使用，既能确保探针的端部与半导体芯片的良好接触，得到准确的电性参数，提高半导体芯片失效分析的准确性，避免人为失误导致分析结果不准确的问题，又能防止探针扎过而扎伤半导体芯片，有效保护半导体芯片结构。

附图说明

图1是本实用新型半导体失效分析探针台用摄像头安装装置中支架的立体图；

图2是本实用新型半导体失效分析探针台用摄像头安装装置中侧边摄像头的安装主视图；

图3是本实用新型半导体失效分析探针台用摄像头安装装置的安装示意图。

图中，1支架，11固定杆，12横向调节座，121限位安装块，122导向杆，123第一导向槽，13纵向调节座，131导向凸块，132第二导向槽，14连接座，141转轴座，142转轴，2探针台机架，21垂直摄像头，3侧边摄像头。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。

请参见附图1和附图3，一种半导体失效分析探针台用摄像头安装装置，包括支架1和侧边摄像头3，侧边摄像头3通过支架1安装在探针台机架2上，使侧边摄像头3倾斜位于垂直摄像头21的旁侧并面向探针设置，用于拍摄探针与半导体芯片样品的接触情况；支架1包括固定杆11、横向调节座12、纵向调节座13和连接座14；固定杆11的一端与横向调节座12连接，固定杆11的另一端与探针台机架2固定连接；纵向调节座13的一端可移动式安装在横向调节座12上，连接座14可移动式安装在纵向调节座13上，且纵向调节座13的移动方向与连接座14的移动方向垂直；侧边摄像头3可转动式安装在连接座14上，且侧边摄像头3的转动方向与纵向调节座13垂直。侧边摄像头3能够水平二维移动调节和上下转动调节，以满足拍摄视角要求。

所述的横向调节座12的两端均形成有限位安装块121，两块限位安装块121之间安装有导向杆122，导向杆122贯穿纵向调节座13的一端，使纵向调节座13能沿导向杆122在两块限位安装块121之间横向移动。导向杆122用于调节纵向调节座13的位置，从而起到调节侧边摄像头3的横向(即沿水平面x轴方向)位置。

所述的横向调节座12上形成有第一导向槽123，纵向调节座13的一端形成有导向凸块131，导向凸块131插入在第一导向槽123内。导向凸块131与第一导向槽123相互配合，能保持纵向调节座13的横向移动稳定性，保持线性移动轨迹，且防止纵向调节座13绕导向杆122翻转。

所述的纵向调节座13上形成有第二导向槽132，连接座14通过连接件经第二导向槽132安装在纵向调节座13上并能沿第二导向槽132滑动。第二导向槽132用于调节连接座14的位置，从而起到调节侧边摄像头3的纵向(即沿水平面y轴方向)位置。

请参见附图2，所述的连接座14上形成有转轴座141，侧边摄像头3通过转轴142安装在转轴座141上，使侧边摄像头3能通过转轴142相对转轴座141在竖直平面内转动。通过转轴142的设置能调节侧边摄像头3的拍摄角度，从而更清楚、精确的观察探针与半导体芯片样品的接触状态。

所述的固定杆11、横向调节座12、纵向调节座13两两相互垂直设置。通过L形结构的支架1将侧边摄像头3安装于垂直摄像头的旁侧，且能实现侧边摄像头3位置的调节。

所述的导向杆122与第一导向槽123平行设置，第一导向槽123与第二导向槽132垂直设置。通过同一平面内相互垂直的导向功能实现侧边摄像头3的水平位置的二维调节。

本实用新型的工作原理是：

根据侧边摄像头3的安装高度选择合适长度的固定杆11，通过两根固定杆11竖直连接在探针台机架2上，横向调节座12水平安装在固定杆11的底部。纵向调节座13通过限位安装块121之间的导向杆122安装在横向调节座12上，并通过导向凸块131和长条状的第一导向槽123保持纵向调节座13的水平设置并与横向调节座12垂直，且纵向调节座13能沿导向杆122水平x轴移动。侧边摄像头3通过连接座14安装在纵向调节座13的第二导向槽132上，使侧边摄像头3能通过连接座14沿第二导向槽132水平y轴移动，从而实现侧边摄像头3在水平方向上的二维移动。侧边摄像头3倾斜安装在连接座14上，能观察到探针头部的垂直方向的位移，从而判断探针头部是否与芯片样品接触。

根据对探针的观察角度需要，侧边摄像头3通过转轴142在竖直平面内上下转动，确保侧边摄像头3的观察视角能满足检测要求。垂直摄像头21用于判断探针的整体位置，侧边摄像头3用于判断探针与芯片样品的接触状态，探针台圆台板带动芯片样品转动时，可使样品对应部分靠近侧边摄像头3，通过侧边摄像头3弥补垂直摄像头21的观察角度受限的不足，保证探针能扎在芯片样品上，且不至于扎伤芯片样品。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围，因此，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种半导体失效分析探针台用摄像头安装装置，其特征是：包括支架(1)和侧边摄像头(3)，侧边摄像头(3)通过支架(1)安装在探针台机架(2)上，使侧边摄像头(3)倾斜位于垂直摄像头(21)的旁侧并面向探针设置；支架(1)包括固定杆(11)、横向调节座(12)、纵向调节座(13)和连接座(14)；固定杆(11)的一端与横向调节座(12)连接，固定杆(11)的另一端与探针台机架(2)固定连接；纵向调节座(13)的一端可移动式安装在横向调节座(12)上，连接座(14)可移动式安装在纵向调节座(13)上，且纵向调节座(13)的移动方向与连接座(14)的移动方向垂直；侧边摄像头(3)可转动式安装在连接座(14)上，且侧边摄像头(3)的转动方向与纵向调节座(13)垂直。

2.根据权利要求1所述的半导体失效分析探针台用摄像头安装装置，其特征是：所述的横向调节座(12)的两端均形成有限位安装块(121)，两块限位安装块(121)之间安装有导向杆(122)，导向杆(122)贯穿纵向调节座(13)的一端，使纵向调节座(13)能沿导向杆(122)在两块限位安装块(121)之间横向移动。

3.根据权利要求1或2所述的半导体失效分析探针台用摄像头安装装置，其特征是：所述的横向调节座(12)上形成有第一导向槽(123)，纵向调节座(13)的一端形成有导向凸块(131)，导向凸块(131)插入在第一导向槽(123)内。

4.根据权利要求2所述的半导体失效分析探针台用摄像头安装装置，其特征是：所述的导向杆(122)与第一导向槽(123)平行设置。

5.根据权利要求1所述的半导体失效分析探针台用摄像头安装装置，其特征是：所述的纵向调节座(13)上形成有第二导向槽(132)，连接座(14)通过连接件经第二导向槽(132)安装在纵向调节座(13)上并能沿第二导向槽(132)滑动。

6.根据权利要求5所述的半导体失效分析探针台用摄像头安装装置，其特征是：所述的第二导向槽(132)与第一导向槽(123)垂直设置。

7.根据权利要求1所述的半导体失效分析探针台用摄像头安装装置，其特征是：所述的连接座(14)上形成有转轴座(141)，侧边摄像头(3)通过转轴(142)安装在转轴座(141)上，使侧边摄像头(3)能通过转轴(142)相对转轴座(141) 在竖直平面内转动。

8.根据权利要求1所述的半导体失效分析探针台用摄像头安装装置，其特征是：所述的固定杆(11)、横向调节座(12)、纵向调节座(13)两两相互垂直设置。

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