CN215209694U - 一种蓝宝石晶体炉组合式钨盖板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种蓝宝石晶体炉组合式钨盖板,包括外挡片、第一内挡片和第二内挡片,所述的外挡片呈等间距设置有六个,且外挡片的内端面与外端面均为同圆心的弧面结构,同时六个外挡片内端面的弧面圆心均为同一点;所述的外挡片的顶部靠近外端面的一端设置有凸缘;所述的第一内挡片和第二内挡片均设置在六个外挡片之间,且第一内挡片和第二内挡片的外端面均紧贴外挡片的内端面,本实用新型中外挡片、第一内挡片和第二内挡片采用分体式结构,且外挡片、第一内挡片和第二内挡片均采用钨为基材制成,钨的熔点高达2300°,可以有效抵抗发热体高温所带来的影响,增加钼下隔热屏整体的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型属于单晶炉相关技术领域,尤其涉及一种蓝宝石晶体炉组合式钨盖板。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体氮气、氦气为主的环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,单晶炉同样适用于生产工业蓝宝石晶体,在加工过程中单晶炉炉内温度可高达2200°。
而目前的使用的单晶炉中温场下部主要部件为钼下隔热屏,通常由13层0.5mm或1mm厚度的钼片相互堆叠组成,而最上层的钼屏由于更接近发热体,而金属钼的熔点为2100℃,在2050℃的高温下使用3炉次之后顶端钼片会出现烧穿、挥发,造成底部保温下降,整体耗电量升高,同时整个隔热屏为一体式设置,在顶层的钼屏烧穿后,需要整体进行更换,因此使用成本较高,同时现有的隔热屏为了方便安装通常外径小于钼内胆的外径,因此隔热屏与钼内胆之间会存在一定的间隙,同样造成热量流失,耗电增加。
实用新型内容
针对上述的不足,本实用新型提供一种蓝宝石晶体炉组合式钨盖板。
本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是:一种蓝宝石晶体炉组合式钨盖板,包括外挡片、第一内挡片和第二内挡片,所述的外挡片呈等间距设置有六个,且外挡片的内端面与外端面均为同圆心的弧面结构,同时六个外挡片内端面的弧面圆心均为同一点;所述的外挡片的顶部靠近外端面的一端设置有凸缘;所述的第一内挡片和第二内挡片均设置在六个外挡片之间,且第一内挡片和第二内挡片的外端面均紧贴外挡片的内端面。
作为优化,所述的第一内挡片的外端面设置有第一卡合件,且第一卡合件关于第一内挡片横截面的圆心呈等角度设置有三个,同时相邻的第一卡合件之间的夹角均为60°;所述的第一内挡片的内端面开设有第一内槽,且第一内槽的横截面为与第一内挡片横截面同圆心的半圆形结构;所述的第一内槽的两侧均设置有卡槽,且卡槽关于第一内槽横截面的圆心呈对称式设置有两个,并且两个卡槽均开设在第一内挡片的顶部,同时卡槽的深度等于第一内挡片厚度的一半。
作为优化,所述的第二内挡片的外端面设置有第二卡合件,且第二卡合件关于第一内挡片横截面的圆心呈等角度设置有三个,同时相邻的第二卡合件之间的夹角均为60°;所述的第二内挡片内端面开设有第二内槽,且第二内槽的横截面为与第一内挡片横截面同圆心的半圆形结构;所述的第二内槽的两侧呈设置有卡板,且卡板关于第二内槽横截面的圆心呈对称式设置有两个,并且两个卡板均安装在第二内挡片的侧边。
作为优化,所述的所述的第二内挡片的尺寸与第一内挡片的尺寸相同,且二内挡片和第一内挡片靠近外端面的一侧均开设有连接槽,同时连接槽的尺寸与接片的尺寸相同。
作为优化,所述的第二卡合件与第一卡合件的尺寸相同,且第一卡合件和第一卡合件的宽度均与相邻的外挡片之间的间距相同。
作为优化,所述的卡板的厚度与卡槽的深度相同,且卡板的横截面与卡槽的横截面尺寸相同,同时卡板的中轴线和卡槽的中轴线在同一条竖直直线上。
本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型中外挡片、第一内挡片和第二内挡片采用分体式结构,且外挡片、第一内挡片和第二内挡片均采用钨为基材制成,钨的熔点高达2300°,可以有效抵抗发热体高温所带来的影响,增加钼下隔热屏整体的使用寿命;
2、本实用新型设置有外挡片、第一内挡片和第二内挡片,外挡片、第一内挡片和第二内挡片均为分体式设置,在安装时首先安装外挡片,使得外挡片可以更好的贴近钼内胆的内壁,同时在安装第一内挡片和第二内挡片后,配合第一卡合件和第二卡合件可以自动填充外挡片之间的间隙,外挡片、第一内挡片和第二内挡片之间相互卡合形成一个完整的平面结构,有效弥补了传统钼下隔热屏与钼内胆之间的间隙,提高保温效果;
3、本实用新型中外挡片、第一内挡片和第二内挡片均为分体式结构,当出现局部烧蚀或损伤是,可以针对损坏部位进行单独更换,降低了使用成本。
附图说明
图1是本实用新型的正面斜视结构示意图;
图2是本实用新型的底部斜视结构示意图;
图3是本实用新型的后侧斜视结构示意图;
图4是本实用新型的俯视结构示意图。
图中:
1、外挡片,2、凸缘,3、接片,4、第一内挡片,5、第一卡合件,6、第一内槽,7、卡槽,8、第二内挡片,9、第二卡合件,10、卡板,11、第二内槽,12、连接槽。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
如附图1至附图4所示的一种蓝宝石晶体炉组合式钨盖板,包括外挡片1、第一内挡片4和第二内挡片8,所述的外挡片1呈等间距设置有六个,且外挡片1的内端面与外端面均为同圆心的弧面结构,同时六个外挡片1内端面的弧面圆心均为同一点;所述的外挡片1的顶部靠近外端面的一端设置有凸缘2;所述的第一内挡片4和第二内挡片8均设置在六个外挡片1之间,且第一内挡片4和第二内挡片8的外端面均紧贴外挡片1的内端面。
在本实施例中,所述的第一内挡片4的外端面设置有第一卡合件5,且第一卡合件5关于第一内挡片4横截面的圆心呈等角度设置有三个,同时相邻的第一卡合件5之间的夹角均为60°;所述的第一内挡片4的内端面开设有第一内槽6,且第一内槽6的横截面为与第一内挡片4横截面同圆心的半圆形结构;所述的第一内槽6的两侧均设置有卡槽7,且卡槽7关于第一内槽6横截面的圆心呈对称式设置有两个,并且两个卡槽7均开设在第一内挡片4的顶部,同时卡槽7的深度等于第一内挡片4厚度的一半。
在本实施例中,所述的第二内挡片8的外端面设置有第二卡合件9,且第二卡合件9关于第一内挡片4横截面的圆心呈等角度设置有三个,同时相邻的第二卡合件9之间的夹角均为60°;所述的第二内挡片8内端面开设有第二内槽11,且第二内槽11的横截面为与第一内挡片4横截面同圆心的半圆形结构;所述的第二内槽11的两侧呈设置有卡板10,且卡板10关于第二内槽11横截面的圆心呈对称式设置有两个,并且两个卡板10均安装在第二内挡片8的侧边。
在本实施例中,所述的所述的第二内挡片8的尺寸与第一内挡片4的尺寸相同,且二内挡片8和第一内挡片4靠近外端面的一侧均开设有连接槽12,同时连接槽12的尺寸与接片3的尺寸相同。
在本实施例中,所述的第二卡合件9与第一卡合件5的尺寸相同,且第一卡合件5和第一卡合件5的宽度均与相邻的外挡片1之间的间距相同。
在本实施例中,所述的卡板10的厚度与卡槽7的深度相同,且卡板10的横截面与卡槽7的横截面尺寸相同,同时卡板10的中轴线和卡槽7的中轴线在同一条竖直直线上。
工作原理:本实用新型中,首先将六块外挡片1同时放置在钼下隔热屏的顶部,随后将第一内挡片4放置在六块外挡片1之间,同时使三个第一卡合件5分别卡合在相邻的四个外挡片1之间,此时第一内挡片4配合第一卡合件5与钼内胆的内壁对外挡片1的位置进行限制,随后将第二内挡片8放置在六块外挡片1之间,使第二内挡片8上的卡板10与第一内挡片4上的卡槽7契合连接,此时第二内挡片8上的三个第二卡合件9分别卡合在剩余相邻的外挡片1之间,同步的第一内挡片4和第二内挡片8底部的连接槽12均与接片3契合连接,此时外挡片1、第一内挡片4和第二内挡片8相互组合形成一个整体结构,这样就完成了装置整体的安装工作。
上述具体实施方式仅是本实用新型的具体个案,本实用新型的专利保护范围包括但不限于上述具体实施方式的产品形态和式样,任何符合本实用新型权利要求书且任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰,皆应落入本实用新型的专利保护范围。
Claims (6)
1.一种蓝宝石晶体炉组合式钨盖板,其特征在于:包括外挡片(1)、第一内挡片(4)和第二内挡片(8),所述的外挡片(1)呈等间距设置有六个,且外挡片(1)的内端面与外端面均为同圆心的弧面结构,同时六个外挡片(1)内端面的弧面圆心均为同一点;所述的外挡片(1)的顶部靠近外端面的一端设置有凸缘(2);所述的第一内挡片(4)和第二内挡片(8)均设置在六个外挡片(1)之间,且第一内挡片(4)和第二内挡片(8)的外端面均紧贴外挡片(1)的内端面。
2.如权利要求1所述的蓝宝石晶体炉组合式钨盖板,其特征在于:所述的第一内挡片(4)的外端面设置有第一卡合件(5),且第一卡合件(5)关于第一内挡片(4)横截面的圆心呈等角度设置有三个,同时相邻的第一卡合件(5)之间的夹角均为60°;所述的第一内挡片(4)的内端面开设有第一内槽(6),且第一内槽(6)的横截面为与第一内挡片(4)横截面同圆心的半圆形结构;所述的第一内槽(6)的两侧均设置有卡槽(7),且卡槽(7)关于第一内槽(6)横截面的圆心呈对称式设置有两个,并且两个卡槽(7)均开设在第一内挡片(4)的顶部,同时卡槽(7)的深度等于第一内挡片(4)厚度的一半。
3.如权利要求1所述的蓝宝石晶体炉组合式钨盖板,其特征在于:所述的第二内挡片(8)的外端面设置有第二卡合件(9),且第二卡合件(9)关于第一内挡片(4)横截面的圆心呈等角度设置有三个,同时相邻的第二卡合件(9)之间的夹角均为60°;所述的第二内挡片(8)内端面开设有第二内槽(11),且第二内槽(11)的横截面为与第一内挡片(4)横截面同圆心的半圆形结构;所述的第二内槽(11)的两侧呈设置有卡板(10),且卡板(10)关于第二内槽(11)横截面的圆心呈对称式设置有两个,并且两个卡板(10)均安装在第二内挡片(8)的侧边。
4.如权利要求3所述的蓝宝石晶体炉组合式钨盖板,其特征在于:所述的第二内挡片(8)的尺寸与第一内挡片(4)的尺寸相同,且第二内挡片(8)和第一内挡片(4)靠近外端面的一侧均开设有连接槽(12),同时连接槽(12)的尺寸与接片(3)的尺寸相同。
5.如权利要求3所述的蓝宝石晶体炉组合式钨盖板,其特征在于:所述的第二卡合件(9)与第一卡合件(5)的尺寸相同,且第一卡合件(5)和第一卡合件(5)的宽度均与相邻的外挡片(1)之间的间距相同。
6.如权利要求3所述的蓝宝石晶体炉组合式钨盖板,其特征在于:所述的卡板(10)的厚度与卡槽(7)的深度相同,且卡板(10)的横截面与卡槽(7)的横截面尺寸相同,同时卡板(10)的中轴线和卡槽(7)的中轴线在同一条竖直直线上。
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