CN215183885U - 一种上下料机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种上下料机构，包括：上下料支架，其包括底板、顶板及支撑部件，所述支撑部件支撑于所述顶板与底板之间以使得所述顶板与底板间隔设置并形成位于所述顶板与底板之间的传动空间；以及搬运组件，其包括搬运托盘、搬运驱动器以及设于所述传动空间中的升降底座；其中，所述底板上设有沿一直线方向延伸的滑行导轨，所述升降底座通过所述滑行导轨与所述底板滑动连接；所述顶板上沿着滑行导轨的延伸方向依次设置的备料工位及上下料工位；所述升降底座的动力输出端穿过所述顶板后连接至所述搬运托盘的底部。根据本实用新型，其通过提高集成度来提高设备利用率从而降低设备采购费用及设备占地面积的上下料机构。

Description

一种上下料机构

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，特别涉及一种上下料机构。

背景技术

在半导体加工设备领域中，采用不同结构形式的上料或下料机构来实现物料的上料或下料是众所周知的。在研究和实现物料的上料或下料的过程中，研究人员发现现有技术中的上下料机构至少存在如下问题：

现有的上料或下料机构只能单一的进行上料或者下料作业，要想执行上料与下料动作就需要同时配备上料机构与下料机构，这就导致设备采购费用高、占地面积大及设备利用率低等问题。

有鉴于此，实有必要开发一种上下料机构，用以解决上述问题。

实用新型内容

为了克服上述上下料机构/方法所存在的问题，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够通过提高集成度来提高设备利用率从而降低设备采购费用及设备占地面积的上下料机构。

就上下料机构而言，本实用新型为解决上述技术问题的上下料机构包括：上下料支架，其包括底板、顶板及支撑部件，所述支撑部件支撑于所述顶板与底板之间以使得所述顶板与底板间隔设置并形成位于所述顶板与底板之间的传动空间；以及

搬运组件，其包括搬运托盘、搬运驱动器以及设于所述传动空间中的升降底座；

其中，所述底板上设有沿一直线方向延伸的滑行导轨，所述升降底座通过所述滑行导轨与所述底板滑动连接；所述顶板上沿着滑行导轨的延伸方向依次设置的备料工位及上下料工位；所述升降底座的动力输出端穿过所述顶板后连接至所述搬运托盘的底部；所述升降底座在所述搬运驱动器的驱动下牵引着所述搬运托盘在所述备料工位及上下料工位之间往复滑移。

在实践中发现，在上下料过程中，容易出现由于定位精度低而导致机械手在上下料工位处进行取料前需要对物料执行定位作业，这就导致上下料过程的效率低下，为解决这一问题，对上下料机构作了进一步改进：所述顶板上设有位于所述备料工位处的备料定位台，所述备料定位台上开设有贯穿其上下表面的顶升通孔，所述顶升通孔连通地开设有朝向所述上下料工位的进出敞口，所述搬运托盘在往复滑移的过程中通过所述进出敞口往复进出所述顶升通孔。

可选的，所述备料定位台上远离所述进出敞口的一端设有两个相对设置的限位卡座。

可选的，所述限位卡座的外侧边缘一体式地形式有两片竖直向上延伸并且相互垂直设置的限位拦板。

可选的，所述备料定位台的顶面设有至少三个围绕所述顶升通孔布置的定位端子。

可选的，所述顶板上设有位于所述上下料工位处的两组上下料定位台，两组所述备料定位台关于所述搬运托盘的运动路径对称设置。

可选的，所述上下料定位台上开设有定位槽。

可选的，所述上下料定位台的末端固接有拦阻板。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其上料时可以作为上料机构实现上料功能，下料时可以作为下料机构来实现下料功能，即通过提高集成度来提高设备利用率从而降低设备采购费用及设备占地面积的上下料机构。

上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其在备料工位处设置有能够对料箱进行定位的备料定位台，从而使得在备料工位处进行备料时即可同时对料箱进行定位，提高了定位精度及效率，节省了上下料时间。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本实用新型的一些实施例，而非对本实用新型的限制，其中：

图1为根据本实用新型一个实施方式提出的上下料机构的立体图；

图2为根据本实用新型一个实施方式提出的上下料机构的纵向剖视图；

图3为根据本实用新型一个实施方式提出的上下料机构中备料定位台的立体图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词是相对于各附图中所示的构造进行定义的，特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸，它们是相对的概念，因此有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化，所以，也不应当将这些或者其他的方位用于解释为限制性用语。

涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系，除非以其他方式明确地说明。

根据本实用新型的一实施方式结合图1和图2的示出，可以看出，上下料机构1包括：

上下料支架11，其包括底板111、顶板112及支撑部件113，所述支撑部件113支撑于所述顶板112与底板111之间以使得所述顶板112与底板111间隔设置并形成位于所述顶板112与底板111之间的传动空间；以及

搬运组件13，其包括搬运托盘131、搬运驱动器132以及设于所述传动空间中的升降底座133；

其中，所述底板111上设有沿一直线方向延伸的滑行导轨1111，所述升降底座133通过所述滑行导轨1111与所述底板111滑动连接；所述顶板112上沿着滑行导轨1111的延伸方向依次设置的备料工位114及上下料工位115；所述升降底座133的动力输出端穿过所述顶板112后连接至所述搬运托盘131的底部；所述升降底座133在所述搬运驱动器132的驱动下牵引着所述搬运托盘131在所述备料工位114及上下料工位115之间往复滑移。依照本实施例所提供的方案，上下料机构1即可以作为上料机构对物料进行上料，又可以作为下料机构对物料进行下料，上料时，工人或机械手将装有物料的料箱放置于备料工位处的搬运托盘131上，搬运驱动器132随后驱动搬运托盘131带动其上的料箱沿着滑行导轨1111向上料工位处滑行，料箱到达上料工位处后，搬运机械手将料箱中的物料取出，料箱被取空后，搬运托盘131带着空置的料箱回到备料工位，工人或者机械手替换上满置的料箱准备进行下一次上料作业，如此往复循环直至完成所有工件的上料作业；下料时，工人或者机械手将空置的料箱放置于下料工位处的搬运托盘131上，随后搬运机械手将物料放入料箱中，搬运驱动器132随后驱动搬运托盘131带动其上的料箱沿着滑行导轨1111向备料工位处滑行，料箱到达备料工位处后，工人或者机械手将满置的料箱取下并替换上空置的料箱，随后搬运托盘131带着空置的料箱回到下料工位，搬运机械手准备进行下一次下料作业，如此往复循环直至完成所有物料的下料作业。

在实践中发现，在上下料过程中，容易出现由于定位精度低而导致机械手在上下料工位处进行取料前需要对物料执行定位作业，这就导致上下料过程的效率低下，为解决这一问题，对上下料机构作了进一步改进：参照图2及图3，所述顶板112上设有位于所述备料工位114处的备料定位台12，所述备料定位台12上开设有贯穿其上下表面的顶升通孔121，所述顶升通孔121连通地开设有朝向所述上下料工位115的进出敞口122，所述搬运托盘131在往复滑移的过程中通过所述进出敞口122往复进出所述顶升通孔121，而当所述搬运托盘131完全进入顶升通孔121中时，所述搬运托盘131位于备料工位处。上料时，搬运托盘131在升降底座133的驱动下下降至低于所述备料定位台12的顶面以下，工人或者机械手将满置的料箱置于备料定位台12上进行定位，定位完成后，搬运托盘131在升降底座133的驱动下向上升起，直至搬运托盘131将备料定位台12上的料箱顶起，随后搬运驱动器132驱动搬运托盘131连同料箱一同被转移至上下料工位115处等待上料。

进一步地，所述备料定位台12上远离所述进出敞口122的一端设有两个相对设置的限位卡座123。限位卡座123能够对料箱上远离所述进出敞口122的边角进行定位。

进一步地，所述限位卡座123的外侧边缘一体式地形式有两片竖直向上延伸并且相互垂直设置的限位拦板1231。

再次参照图3，所述备料定位台12的顶面设有至少三个围绕所述顶升通孔121布置的定位端子124。料箱上设置有与定位端子124相适配的定位孔，备料定位台12通过定位端子124与定位孔的适配，能够进一步对料箱进行定位，提高了定位精度。

再次参照图1，所述顶板112上设有位于所述上下料工位115处的两组上下料定位台14，两组所述备料定位台12关于所述搬运托盘131的运动路径对称设置。当料箱运动至上下料工位115出时，升降底座133驱动搬运托盘131下降至低于所述上下料定位台14的所在平面，使得料箱被上下料定位台14承托并定位，随后搬运机械手开始对料箱中的物料进行搬运上料或者将物料转移至料箱中进行搬运下料。

进一步地，所述上下料定位台14上开设有定位槽141。

进一步地，所述上下料定位台14的末端固接有拦阻板142。

这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本实用新型的说明的。对本实用新型的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

本文中所描述的不同实施方案的零部件可经组合以形成上文未具体陈述的其它实施例。零部件可不考虑在本文中所描述的结构内而不会不利地影响其操作。此外，各种单独零部件可被组合成一或多个个别零部件以执行本文中所描述的功能。

此外，尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (8)

1.一种上下料机构，其特征在于，包括：

上下料支架（11），其包括底板（111）、顶板（112）及支撑部件（113），所述支撑部件（113）支撑于所述顶板（112）与底板（111）之间以使得所述顶板（112）与底板（111）间隔设置并形成位于所述顶板（112）与底板（111）之间的传动空间；以及

搬运组件（13），其包括搬运托盘（131）、搬运驱动器（132）以及设于所述传动空间中的升降底座（133）；

其中，所述底板（111）上设有沿一直线方向延伸的滑行导轨（1111），所述升降底座（133）通过所述滑行导轨（1111）与所述底板（111）滑动连接；所述顶板（112）上沿着滑行导轨（1111）的延伸方向依次设置的备料工位（114）及上下料工位（115）；所述升降底座（133）的动力输出端穿过所述顶板（112）后连接至所述搬运托盘（131）的底部；所述升降底座（133）在所述搬运驱动器（132）的驱动下牵引着所述搬运托盘（131）在所述备料工位（114）及上下料工位（115）之间往复滑移。

2.如权利要求1所述的上下料机构，其特征在于，所述顶板（112）上设有位于所述备料工位（114）处的备料定位台（12），所述备料定位台（12）上开设有贯穿其上下表面的顶升通孔（121），所述顶升通孔（121）连通地开设有朝向所述上下料工位（115）的进出敞口（122），所述搬运托盘（131）在往复滑移的过程中通过所述进出敞口（122）往复进出所述顶升通孔（121）。

3.如权利要求2所述的上下料机构，其特征在于，所述备料定位台（12）上远离所述进出敞口（122）的一端设有两个相对设置的限位卡座（123）。

4.如权利要求3所述的上下料机构，其特征在于，所述限位卡座（123）的外侧边缘一体式地形式有两片竖直向上延伸并且相互垂直设置的限位拦板（1231）。

5.如权利要求2~4任一项所述的上下料机构，其特征在于，所述备料定位台（12）的顶面设有至少三个围绕所述顶升通孔（121）布置的定位端子（124）。

6.如权利要求2所述的上下料机构，其特征在于，所述顶板（112）上设有位于所述上下料工位（115）处的两组上下料定位台（14），两组所述备料定位台（12）关于所述搬运托盘（131）的运动路径对称设置。

7.如权利要求6所述的上下料机构，其特征在于，所述上下料定位台（14）上开设有定位槽（141）。

8.如权利要求7所述的上下料机构，其特征在于，所述上下料定位台（14）的末端固接有拦阻板（142）。

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