CN215181406U - 显影装置 - Google Patents

Abstract

一种显影装置，包括显影槽、循环管路、第一过滤桶和第一紫外灯，循环管路的进液口、出液口与显影槽连通，第一过滤桶与循环管路连通，第一紫外灯安装在第一过滤桶内，显影槽内的显影液可从进液口经循环管路流入第一过滤桶，并从出液口回流至显影槽。本实用新型的显影装置能够避免显影液中的粘性物质回流至显影槽而污染线路基板。

Description

显影装置

技术领域

本实用新型涉及线路基板曝光和显影技术领域，特别涉及一种显影装置。

背景技术

干膜(Dry Film)是一种能感光、显像、抗电镀、抗蚀刻的阻剂，干膜是以热压方式贴附在清洁的线路基板上，干膜的主要成分包含有机酸根，有机酸根会与强碱反应形成有机酸盐而溶解在水中。

线路基板上的线路图形需要经过曝光成像与显影蚀刻工艺技术来完成，当线路基板放入显示装置进行显影时，干膜未曝光部分的活性基团(有机酸根)与稀碱溶液反应生成可溶性物质而溶解下来，例如活性基团羧基-COOH与无水碳酸钠溶液中的Na+作用，生成亲水性基团-COONa，从而把未曝光的部分溶解下来。

现有的显影装置是通过过滤桶中的滤芯过滤显影液，显影液在循环使用的过程中，干膜带有粘性的成分容易附着线路基板表面，干扰线路基板下一步蚀刻，从而产生因显影异物导致的不良。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种显影装置，能够避免显影液中的粘性物质回流至显影槽而污染线路基板。

一种显影装置，包括显影槽、循环管路、第一过滤桶和第一紫外灯，循环管路的进液口、出液口与显影槽连通，第一过滤桶与循环管路连通，第一紫外灯安装在第一过滤桶内，显影槽内的显影液可从进液口经循环管路流入第一过滤桶，并从出液口回流至显影槽。

在本实用新型的实施例中，上述第一紫外灯沿着所述第一过滤桶的深度方向设置，所述第一紫外灯的端部固定于所述第一过滤桶的桶壁。

在本实用新型的实施例中，上述显影装置包括多个所述第一紫外灯，各所述第一紫外灯相互间隔设置。

在本实用新型的实施例中，上述显影装置还包括第一滤芯，所述第一滤芯安装在所述第一过滤桶内。

在本实用新型的实施例中，上述第一紫外灯包括防水外壳，所述防水外壳包覆于所述第一紫外灯的外壁。

在本实用新型的实施例中，上述显影装置还包括第二过滤桶和第二滤芯，所述第二过滤桶与所述循环管路连通，所述第二滤芯安装在所述第二过滤桶内。

在本实用新型的实施例中，上述第一过滤桶靠近所述进液口设置，所述第二过滤桶靠近所述出液口设置。

在本实用新型的实施例中，上述显影装置还包括第二紫外灯，所述第二紫外灯安装在所述第二过滤桶内。

在本实用新型的实施例中，上述循环管路包括进液段、连接段和出液段，所述进液段的一端为所述进液口，所述进液段的另一端与所述第一过滤桶连通，所述连接段的一端与所述第一过滤桶连通，所述连接段的另一端与所述第二过滤桶连通，所述出液段的一端为所述出液口，所述出液段的另一端与所述第二过滤桶连通，所述进液段与所述第一过滤桶的连接位置高于所述连接段与所述第一过滤桶的连接位置，所述出液段与所述第二过滤桶的连接位置高于所述连接段与所述第二过滤桶的连接位置。

在本实用新型的实施例中，上述显影装置还包括循环泵，所述循环泵与所述循环管路连接。

本实用新型的显影装置用于对线路基板进行显影制程，当显影装置对线路基板进行显影制程时，将线路基板放置在显影槽中，线路基板表面的干膜的活性基团与稀碱溶液反应生成可溶性物质而溶解下来，例如活性基团羧基-COOH与无水碳酸钠溶液中的Na+作用，生成亲水性基团-COONa，从而把干膜未曝光的部分溶解下来，溶解后的物质随着显影液流向第一过滤桶，第一紫外灯点亮将溶解于显影液中的粘性物质聚合成固态，避免粘性物质回流至显影槽而污染线路基板，避免干扰线路基板下一步蚀刻，避免了因显影异物导致的不良。

附图说明

图1是本实用新型第一实施例的显影装置的俯视结构示意图。

图2是本实用新型第一实施例的第一紫外灯和防水外壳安装于第一过滤桶内的剖视结构示意图。

图3是本实用新型第一实施例的第二滤芯安装于第二过滤桶内的剖视结构示意图。

图4是本实用新型第二实施例的显影装置的俯视结构示意图。

图5是本实用新型第三实施例的显影装置的俯视结构示意图。

具体实施方式

本申请提供了一种显影装置。

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

为了便于本领域技术人员的理解，本申请通过以下实施例对本申请提供的技术方案的具体实现过程进行说明。

第一实施例

图1是本实用新型第一实施例的显影装置的俯视结构示意图，图2是本实用新型第一实施例的第一紫外灯和防水外壳安装于第一过滤桶内的剖视结构示意图，图3是本实用新型第一实施例的第二滤芯安装于第二过滤桶内的剖视结构示意图。

于本实施例中，请参照图1至图3，显影装置包括显影槽11、循环管路12、第一过滤桶13和第一紫外灯14，循环管路12的进液口101a、出液口101b与显影槽11连通，第一过滤桶13与循环管路12连通，第一紫外灯14安装在第一过滤桶13内，显影槽11内的显影液可从进液口101a经循环管路12流入第一过滤桶13，并从出液口101b回流至显影槽11。

本实用新型的显影装置用于对线路基板(图未示)进行显影制程，当显影装置对线路基板进行显影制程时，将线路基板放置在显影槽11中，线路基板表面的干膜的活性基团与稀碱溶液反应生成可溶性物质而溶解下来，例如活性基团羧基-COOH与无水碳酸钠溶液中的Na+作用，生成亲水性基团-COONa，从而把干膜未曝光的部分溶解下来，溶解后的物质随着显影液流向第一过滤桶13，第一紫外灯14点亮将溶解于显影液中的粘性物质聚合成固态，避免粘性物质回流至显影槽11而污染线路基板，避免干扰线路基板下一步蚀刻，避免了因显影异物导致的不良。

进一步地,第一紫外灯14沿着第一过滤桶13的深度方向设置，第一紫外灯14的端部固定于第一过滤桶13的桶壁。

进一步地,显影装置包括多个第一紫外灯14，各第一紫外灯14相互间隔设置。优选地，采用2～4根紫外灯间隔设置在第一过滤桶13内。

进一步地,第一紫外灯14包括防水外壳141，防水外壳141包覆于第一紫外灯14的外壁。在本实施例中，防水外壳141采用高透明壳体。

进一步地,如图1所示，显影装置还包括第二过滤桶16和第二滤芯17，第二过滤桶16与循环管路12连通，第二滤芯17安装在第二过滤桶16内。优选地，第二过滤桶16内设有6只第二滤芯17。

进一步地,第一过滤桶13靠近进液口101a设置，第二过滤桶16靠近出液口101b设置。在本实施例中，第一过滤桶13呈圆柱形，第二过滤桶16呈圆柱形，第一过滤桶13大于第二过滤桶16。

进一步地,循环管路12包括进液段121、连接段122和出液段123，进液段121的一端为进液口101a，进液段121的另一端与第一过滤桶13连通，连接段122的一端与第一过滤桶13连通，连接段122的另一端与第二过滤桶16连通，出液段123的一端为出液口101b，出液段123的另一端与第二过滤桶16连通，进液段121与第一过滤桶13的连接位置高于连接段122与第一过滤桶13的连接位置，出液段123与第二过滤桶16的连接位置高于连接段122与第二过滤桶16的连接位置。

进一步地,显影装置还包括循环泵21，循环泵21与循环管路12连接。在本实例中，循环泵21与循环管路12连通，为显影液循环提供动力。

进一步地,显影装置还包括控制器(图未示)，控制器为现有技术，其具有采集水位、流量以及电压、电流、电能等参数的功能。

进一步地，显影装置还包括设置在显影槽11中的电加热器(图未示)和温度传感器(图未示)，温度传感器的信号输出端与控制器的信号输入端连接，控制器的信号输出端与电加热器的控制信号输入端连接。

进一步地，显影液在30-40℃的反应效率最高，在本实施例中，通过电加热器和温度传感器来控制显影液的温度，有利于保持显影液在最佳温度范围内工作。

进一步地，显影装置还包括影液喷头(图未示)、显影液补充箱(图未示)和补充泵(图未示)，显影液喷头与显影槽11固定连接，并位于显影槽11内，补充泵与补充箱和显影液喷头连通，补充箱固定于显影槽11的一侧。

进一步地，显影槽11内还设有PH值检测器(图未示)，PH值检测器对显影槽11内的显影液进行PH值测定，进而反映显影槽11内显影液的浓度，在本实施例中，PH值检测器的信号输出端与控制器的信号输入端连接，控制器的信号输出端与补充泵的信号输入端连接。

进一步地，显影液补充箱中盛放高浓度的显影液，显影液补充箱和显影液喷头连通，当显影槽11中的显影液浓度不足时，PH值检测器会将显影液浓度不足的信号传递到控制器，控制器接收到PH值检测器输入的信号后，启动补充泵添加高浓度显影液进入显影槽11，进行浓度中和，从而调节显影槽11内的显影液浓度，保持显影条件稳定。

进一步地，显影装置还包括冲洗组件(图未示)，冲洗组件包括冲洗槽、冲洗喷头和进水阀，冲洗槽与显影槽11固定连接，并位于显影槽11的一侧，冲洗喷头与冲洗槽固定连接，并位于冲洗槽内，进水阀与冲洗喷头连通，进水阀和外界水管连通，冲洗喷头用于对线路基板进行冲洗，去掉线路基板表面多余的显影液。

关于显影装置的其他结构，请参照现有技术，此处不再赘述。

第二实施例

图4是本实用新型第二实施例的显影装置的俯视结构示意图，如图4所示，本实施例的显影装置与第一实施例的显影装置大致相同，不同点在于第二过滤桶16的结构不同。

进一步地,显影装置还包括第二过滤桶16和第二滤芯17，第二过滤桶16与循环管路12连通，第二滤芯17安装在第二过滤桶16内。优选地，第二过滤桶16内设有4只第二滤芯17。

进一步地，显影装置还包括第二紫外灯18，第二紫外灯18安装在第二过滤桶16内。优选地，第二过滤桶16内设有2只第二紫外灯18。

关于显影装置的其他结构请参照第一实施例，此处不再赘述。

第三实施例

图5是本实用新型第三实施例的显影装置的俯视结构示意图，如图5所示，本实施例的显影装置与第一实施例的显影装置大致相同，不同点在于第一过滤桶的结构不同。

进一步地，显影装置还包括第一滤芯15，第一滤芯15安装在第一过滤桶13内。优选地，第一过滤桶13内设有2只第一滤芯15。

进一步地,显影装置还包括第二过滤桶16和第二滤芯17，第二过滤桶16与循环管路12连通，第二滤芯17安装在第二过滤桶16内。优选地，第二过滤桶16内设有4只第二滤芯17。

进一步地，显影装置还包括第二紫外灯18，第二紫外灯18安装在第二过滤桶16内。优选地，第二过滤桶16内设有2只第二紫外灯18。

关于显影装置的其他结构请参照第一实施例和第二实施例，此处不再赘述。

本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。

Claims (10)

1.一种显影装置，其特征在于，包括显影槽、循环管路、第一过滤桶和第一紫外灯，所述循环管路的进液口、出液口与所述显影槽连通，所述第一过滤桶与所述循环管路连通，所述第一紫外灯安装在所述第一过滤桶内，所述显影槽内的显影液可从所述进液口经所述循环管路流入所述第一过滤桶，并从所述出液口回流至所述显影槽。

2.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述第一紫外灯沿着所述第一过滤桶的深度方向设置，所述第一紫外灯的端部固定于所述第一过滤桶的桶壁。

3.如权利要求2所述的显影装置，其特征在于，所述显影装置包括多个所述第一紫外灯，各所述第一紫外灯相互间隔设置。

4.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述显影装置还包括第一滤芯，所述第一滤芯安装在所述第一过滤桶内。

5.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述第一紫外灯包括防水外壳，所述防水外壳包覆于所述第一紫外灯的外壁。

6.如权利要求1至5任意一项所述的显影装置，其特征在于，所述显影装置还包括第二过滤桶和第二滤芯，所述第二过滤桶与所述循环管路连通，所述第二滤芯安装在所述第二过滤桶内。

7.如权利要求6所述的显影装置，其特征在于，所述第一过滤桶靠近所述进液口设置，所述第二过滤桶靠近所述出液口设置。

8.如权利要求6所述的显影装置，其特征在于，所述显影装置还包括第二紫外灯，所述第二紫外灯安装在所述第二过滤桶内。

9.如权利要求6所述的显影装置，其特征在于，所述循环管路包括进液段、连接段和出液段，所述进液段的一端为所述进液口，所述进液段的另一端与所述第一过滤桶连通，所述连接段的一端与所述第一过滤桶连通，所述连接段的另一端与所述第二过滤桶连通，所述出液段的一端为所述出液口，所述出液段的另一端与所述第二过滤桶连通，所述进液段与所述第一过滤桶的连接位置高于所述连接段与所述第一过滤桶的连接位置，所述出液段与所述第二过滤桶的连接位置高于所述连接段与所述第二过滤桶的连接位置。

10.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述显影装置还包括循环泵，所述循环泵与所述循环管路连接。

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