CN215173328U

CN215173328U - 一种半导体无尘室的隔振基座

Info

Publication number: CN215173328U
Application number: CN202121246190.7U
Authority: CN
Inventors: 商富彬
Original assignee: Jiangsu Ruixin Integrated Circuit Equipment Co ltd
Current assignee: Jiangsu Ruixin Integrated Circuit Equipment Co ltd
Priority date: 2021-06-04
Filing date: 2021-06-04
Publication date: 2021-12-14
Anticipated expiration: 2031-06-04

Abstract

本实用新型属于半导体生产技术领域，尤其为一种半导体无尘室的隔振基座，包括基座箱体，所述基座箱体顶端中部等距开设有分隔槽，所述基座箱体顶端四边角处均开设有固定螺槽，所述分隔槽内部等距安装有十字型支撑板，所述十字型支撑板顶端中部焊接有支撑柱，所述支撑柱两侧顶部均开设有限位卡槽，所述基座箱体上方安装有基座顶板。通过支撑柱、限位卡槽、定位卡孔、挤压槽、限位卡块和限位弹簧的配合使用，可以对基座顶板的安装进行定位和初步限位固定，通过固定螺槽、固定卡槽、固定卡孔和固定螺杆的配合使用，可以对基座顶板进行再次固定，可以使基座顶板与基座箱体之间连接的更加紧密，便于工作人员对基座的组装使用。

Description

一种半导体无尘室的隔振基座

技术领域

本实用新型属于半导体生产技术领域，具体涉及一种半导体无尘室的隔振基座。

背景技术

半导体是指在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，是一种导电性可控，范围从绝缘体到导体之间的材料，从科学技术和经济发展的角度来看，半导体影响着人们的日常工作生活；

现有的半导体无尘室隔振基座都是通过混凝土浇注构成，在混凝土浇注前，需要搭建浇注模具，并在模具内部放置钢筋支架，安装较为繁琐不便，在浇注的过程中，竖向的钢筋容易出现倾斜的情况，会导致隔振基座受力不均，影响隔振基座的使用寿命。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种半导体无尘室的隔振基座，具有易于安装和使用性能强的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体无尘室的隔振基座，包括基座箱体，所述基座箱体顶端中部等距开设有分隔槽，所述基座箱体顶端四边角处均开设有固定螺槽，所述分隔槽内部等距安装有十字型支撑板，所述十字型支撑板顶端中部焊接有支撑柱，所述支撑柱两侧顶部均开设有限位卡槽，所述基座箱体上方安装有基座顶板，所述基座顶板顶端四边角处均开设有固定卡槽，所述固定卡槽内壁底端中部开设有固定卡孔，所述固定卡孔内部安装有固定螺杆，所述基座顶板顶端中部等距开设有定位卡孔，所述定位卡孔内壁两侧中部均开设有挤压槽，所述挤压槽内部安装有限位卡块，所述限位卡块一侧中部安装有限位弹簧，所述限位弹簧一端连接有基座顶板。

作为本实用新型的一种半导体无尘室的隔振基座优选技术方案，所述固定螺槽的内径和固定卡孔的内径相同，所述固定螺杆的直径和固定卡孔的内径相同，所述固定螺杆一端位于固定螺槽内部。

作为本实用新型的一种半导体无尘室的隔振基座优选技术方案，一个所述分隔槽内部等距安装有三个所述十字型支撑板，三个所述十字型支撑板之间通过支撑柱焊接连接。

作为本实用新型的一种半导体无尘室的隔振基座优选技术方案，所述十字型支撑板的横截面尺寸和定位卡孔的横截面尺寸相同，所述十字型支撑板顶端贯穿定位卡孔。

作为本实用新型的一种半导体无尘室的隔振基座优选技术方案，所述挤压槽的纵截面尺寸和限位卡块的纵截面尺寸相同，所述挤压槽的深度大于限位卡块的宽度。

作为本实用新型的一种半导体无尘室的隔振基座优选技术方案，所述限位卡槽纵截面为弧形，所述限位卡块纵截面一侧为弧形，所述限位卡块与限位卡槽之间相适配。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型在使用时，通过支撑柱、限位卡槽、定位卡孔、挤压槽、限位卡块和限位弹簧的配合使用，可以对基座顶板的安装进行定位和初步限位固定，通过固定螺槽、固定卡槽、固定卡孔和固定螺杆的配合使用，可以对基座顶板进行再次固定，可以使基座顶板与基座箱体之间连接的更加紧密，便于工作人员对基座的组装使用。

2、本实用新型在使用时，通过十字型支撑板的使用，可以对分隔槽内壁进行横向支撑，通过支撑柱的使用，可以对同一分隔槽内部的十字型支撑板之间进行连接，可以使十字型支撑板安装的更加稳定，有利于提高基座箱体使用时的结构强度，通过在分隔槽内部浇注混凝土，可以提高基座箱体的隔振性能，便于工作人员对基座的使用。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中分隔槽的结构示意图；

图3为本实用新型中限位卡槽的结构示意图；

图4为本实用新型中的局部剖视图；

图5为本实用新型中挤压槽的结构示意图。

图中：1、基座箱体；2、分隔槽；3、固定螺槽；4、十字型支撑板；5、支撑柱；6、限位卡槽；7、基座顶板；8、固定卡槽；9、固定卡孔；10、固定螺杆；11、定位卡孔；12、挤压槽；13、限位卡块；14、限位弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

请参阅图1-5，本实用新型提供以下技术方案：一种半导体无尘室的隔振基座，包括基座箱体1，基座箱体1顶端中部等距开设有分隔槽2，基座箱体1顶端四边角处均开设有固定螺槽3，一个分隔槽2内部等距安装有三个十字型支撑板4，三个十字型支撑板4之间通过支撑柱5焊接连接，可以对三个十字型支撑板4进行连接，可以提高十字型支撑板4使用时的稳定性，支撑柱5两侧顶部均开设有限位卡槽6，基座箱体1上方安装有基座顶板7；

基座顶板7顶端四边角处均开设有固定卡槽8，固定卡槽8内壁底端中部开设有固定卡孔9，固定卡孔9内部安装有固定螺杆10，固定螺槽3的内径和固定卡孔9的内径相同，固定螺杆10的直径和固定卡孔9的内径相同，固定螺杆10一端位于固定螺槽3内部，可以降低基座顶板7的固定难度，便于基座顶板7的使用，基座顶板7顶端中部等距开设有定位卡孔11，十字型支撑板4的横截面尺寸和定位卡孔11的横截面尺寸相同，十字型支撑板4顶端贯穿定位卡孔11，可以对基座顶板7的安装进行定位和限位，可以降低基座顶板7的安装难度，定位卡孔11内壁两侧中部均开设有挤压槽12，挤压槽12内部安装有限位卡块13，挤压槽12的纵截面尺寸和限位卡块13的纵截面尺寸相同，挤压槽12的深度大于限位卡块13的宽度，可以对限位卡块13进行限位和收纳，便于限位卡块13的使用，限位卡槽6纵截面为弧形，限位卡块13纵截面一侧为弧形，限位卡块13与限位卡槽6之间相适配，可以对基座顶板7进行卡接固定，可以使基座顶板7安装的更加稳定，限位卡块13一侧中部安装有限位弹簧14，限位弹簧14一端连接有基座顶板7。

本实用新型的工作原理及使用流程：工作人员将基座箱体1移动到使用地点，之后往分隔槽2内部浇注混凝土，当混凝土凝固后，工作人员安装基座顶板7，使的支撑柱5顶部进入到定位卡孔11内部，在基座顶板7下移的过程中，支撑柱5会接触到限位卡块13，并对限位卡块13进行挤压，使的限位卡块13进入到挤压槽12内部，当基座顶板7与基座箱体1接触时，在限位弹簧14弹性势能的作用下，会推动限位卡块13移动，使的限位卡块13进入到限位卡槽6内部，对基座顶板7进行初步固定，然后工作人员安装固定螺杆10，使的固定螺杆10进入到固定螺槽3内部，对基座顶板7进行再次固定，可以使基座顶板7安装的更加稳定，便于基座顶板7的使用；

通过十字型支撑板4的使用，可以对分隔槽2内壁进行横向支撑，通过支撑柱5的使用，可以对同一分隔槽2内部的十字型支撑板4之间进行连接，可以使十字型支撑板4安装的更加稳定，有利于提高基座箱体1使用时的结构强度，通过在分隔槽2内部浇注混凝土，可以提高基座箱体1的隔振性能，便于工作人员对基座的使用；

通过支撑柱5、限位卡槽6、定位卡孔11、挤压槽12、限位卡块13和限位弹簧14的配合使用，可以对基座顶板7的安装进行定位和初步限位固定，通过固定螺槽3、固定卡槽8、固定卡孔9和固定螺杆10的配合使用，可以对基座顶板7进行再次固定，可以使基座顶板7与基座箱体1之间连接的更加紧密，便于工作人员对基座的组装使用。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种半导体无尘室的隔振基座，包括基座箱体（1），其特征在于：所述基座箱体（1）顶端中部等距开设有分隔槽（2），所述基座箱体（1）顶端四边角处均开设有固定螺槽（3），所述分隔槽（2）内部等距安装有十字型支撑板（4），所述十字型支撑板（4）顶端中部焊接有支撑柱（5），所述支撑柱（5）两侧顶部均开设有限位卡槽（6），所述基座箱体（1）上方安装有基座顶板（7），所述基座顶板（7）顶端四边角处均开设有固定卡槽（8），所述固定卡槽（8）内壁底端中部开设有固定卡孔（9），所述固定卡孔（9）内部安装有固定螺杆（10），所述基座顶板（7）顶端中部等距开设有定位卡孔（11），所述定位卡孔（11）内壁两侧中部均开设有挤压槽（12），所述挤压槽（12）内部安装有限位卡块（13），所述限位卡块（13）一侧中部安装有限位弹簧（14），所述限位弹簧（14）一端连接有基座顶板（7）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室的隔振基座，其特征在于：所述固定螺槽（3）的内径和固定卡孔（9）的内径相同，所述固定螺杆（10）的直径和固定卡孔（9）的内径相同，所述固定螺杆（10）一端位于固定螺槽（3）内部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室的隔振基座，其特征在于：一个所述分隔槽（2）内部等距安装有三个所述十字型支撑板（4），三个所述十字型支撑板（4）之间通过支撑柱（5）焊接连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室的隔振基座，其特征在于：所述十字型支撑板（4）的横截面尺寸和定位卡孔（11）的横截面尺寸相同，所述十字型支撑板（4）顶端贯穿定位卡孔（11）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室的隔振基座，其特征在于：所述挤压槽（12）的纵截面尺寸和限位卡块（13）的纵截面尺寸相同，所述挤压槽（12）的深度大于限位卡块（13）的宽度。

6.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室的隔振基座，其特征在于：所述限位卡槽（6）纵截面为弧形，所述限位卡块（13）纵截面一侧为弧形，所述限位卡块（13）与限位卡槽（6）之间相适配。