CN215103505U - 一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构，包含旋转靶阴极机构和输送辊机构，旋转靶阴极机构上设置有靶材和阴极背板组件；阴极背板组件包含阴极盖板、阴极背板、不锈钢筛网、梯形固定块和压条，阴极盖板和不锈钢筛网分别位于阴极背板的两侧，不锈钢筛网上设置有定位槽，梯形固定块设置在定位槽上，梯形固定块通过螺钉与阴极盖板固定连接，压条上设置有梯形槽，压条通过梯形槽与梯形固定块配合；本方案将现有阴极背板改为带不锈钢筛网的结构，从而有效的增加阴极背板的接触面积及吸附力，减少了镀膜玻璃上落尘的几率；并采用即插式的梯形配合结构，解决了断丝无法取出问题，提高了各部件的使用寿命。

Description

一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构

技术领域

本实用新型涉及一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构，属于玻璃镀膜技术领域。

背景技术

目前国内外镀膜玻璃生产线用于固定磁控溅射阴极背板的方法，皆是采用螺丝直接将阴极背板锁在磁控溅射阴极背面上，该处为表面粗糙的铝合金板；由于在镀膜生产过程中不断地累积了溅镀物在阴极背板上，长时间便形成松散堆积的“粉尘”；由于“粉尘”无法完全牢固地吸附在阴极背板上，在生产过程中会不断掉在镀膜玻璃表面上从而引起透光，造成镀膜玻璃品质批量不良；为了减少品质不良，很多镀膜厂家不得不频繁破真空保养清理及更换阴极背板，同时反复拆装阴极背板也易造成阴极背板固定螺丝折断在阴极盖板内而无法取出来。

实用新型内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构，包含旋转靶阴极机构和输送辊机构，输送辊机构带动玻璃经过旋转靶阴极机构，旋转靶阴极机构对玻璃进行真空磁控溅射镀膜，旋转靶阴极机构上设置有靶材和阴极背板组件；所述阴极背板组件包含阴极盖板、阴极背板、不锈钢筛网、梯形固定块和压条，阴极盖板和不锈钢筛网分别位于阴极背板的两侧，不锈钢筛网上设置有定位槽，梯形固定块设置在定位槽上，梯形固定块通过螺钉与阴极盖板固定连接，压条上设置有梯形槽，压条通过梯形槽与梯形固定块配合。

优选的，所述压条上设置有连接槽，在连接槽中固定安装连接块，连接块上开设梯形槽，梯形固定块与连接块上的梯形槽配合。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型方案的即插式少落尘的真空磁控溅射机构，将现有阴极背板改为带不锈钢筛网的结构，从而有效的增加阴极背板的接触面积及吸附力，减少了镀膜玻璃上落尘的几率，降低了镀膜玻璃的不良率，减少了镀膜设备保养的次数；并采用即插式的梯形配合结构，彻底解决了因反复拆装导致的断丝无法取出问题，提高了各部件的使用寿命。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

附图1为本实用新型所述的一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构的示意图；

附图2为本实用新型所述的阴极背板组件的一侧的结构示意图；

附图3为本实用新型所述的阴极背板组件的剖面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

如图1-3所示，本实用新型所述的一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构，包含旋转靶阴极机构1和输送辊机构2，输送辊机构2带动玻璃3经过旋转靶阴极机构1，旋转靶阴极机构1对玻璃3进行真空磁控溅射镀膜，旋转靶阴极机构1上设置有靶材4和阴极背板组件5。

所述阴极背板组件5包含阴极盖板11、阴极背板12、不锈钢筛网13、梯形固定块14和压条15，不锈钢筛网13和阴极盖板11分别位于阴极背板12的上下两侧，不锈钢筛网13焊接在阴极背板12上，四边焊点均匀设置，以防止不锈钢筛网翘起。

如图2所示，不锈钢筛网13的一侧的两端上均设置有定位槽，两个定位槽均用于安装梯形固定块14；如图3所示，梯形固定块14通过螺钉与阴极盖板11固定连接，螺钉穿过阴极背板12，使得梯形固定块14与阴极盖板11、阴极背板12和不锈钢筛网13为一体固定结构。

所述压条15安装在旋转靶阴极机构1上，作为本方案的一种实施方式，为了简化结构，可以在压条15的两端上直接开设梯形槽，压条15通过两端的梯形槽与两个梯形固定块14配合；所述压条15与梯形固定块14通过梯形结构配合，使压条15压在不锈钢筛网13上，并可以沿一个方向相对滑动，使阴极背板可以即插即用，并便于拆换。

作为本方案的另一种实施方式，所述压条15上设置有连接槽，在连接槽中固定安装连接块16，连接块16上开设梯形槽，梯形固定块14与连接块16上的梯形槽配合；在压条15上设置连接槽和连接块16，并将梯形槽开设在连接块16上，可以灵活更换连接块16，不同的连接块16上开设不同尺寸的梯形槽，以匹配不同规格的梯形固定块14，可以在改变阴极背板12和梯形固定块14的规格时，免于拆换压条15。

以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本实用新型权利保护范围之内。

Claims (2)

1.一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构，包含旋转靶阴极机构（1）和输送辊机构（2），输送辊机构（2）带动玻璃（3）经过旋转靶阴极机构（1），旋转靶阴极机构（1）对玻璃（3）进行真空磁控溅射镀膜，旋转靶阴极机构（1）上设置有靶材（4）和阴极背板组件（5）；其特征在于：所述阴极背板组件（5）包含阴极盖板（11）、阴极背板（12）、不锈钢筛网（13）、梯形固定块（14）和压条（15），阴极盖板（11）和不锈钢筛网（13）分别位于阴极背板（12）的两侧，不锈钢筛网（13）上设置有定位槽，梯形固定块（14）设置在定位槽上，梯形固定块（14）通过螺钉与阴极盖板（11）固定连接，压条（15）上设置有梯形槽，压条（15）通过梯形槽与梯形固定块（14）配合。

2.根据权利要求1所述的即插式少落尘的真空磁控溅射机构，其特征在于：所述压条（15）上设置有连接槽，在连接槽中固定安装连接块（16），连接块（16）上开设梯形槽，梯形固定块（14）与连接块（16）上的梯形槽配合。

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