CN215084937U - 一种用于高纯二氧化碳的纯化装置及纯化系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于高纯二氧化碳的纯化装置以及纯化系统，纯化装置包括至少一纯化单元、真空单元以及至少一温度控制单元，纯化单元包括纯化容器、纯化外壳以及纯化真空腔。其优点在于，利用真空负压加热的操作，可以快速地对液态二氧化碳原料进行提纯，以达到高纯度要求；该纯化装置可以在原有二氧化碳生成系统的基础上进行集成，使得占地面积少、能耗低、纯化材料可以再生持续使用。

Description

一种用于高纯二氧化碳的纯化装置及纯化系统

技术领域

本实用新型涉及气体净化技术领域，尤其涉及一种用于高纯二氧化碳的纯化装置及纯化系统。

背景技术

随着国家经济和科技迅速发展，对工业气体纯度的要求越来越高，越来越多的气体突破技术壁垒实现国产化，如：高纯二氧化碳。过去二氧化碳的主要用途有作化工原料、制冷剂、惰性介质、溶剂、食品添加剂和压力源等。随着科学技术的发展，在国民经济各领域中已广泛应用纯度为99.999％的高纯二氧化碳，其主要用于激光、电子半导体、超临界萃取、金属切割、反应堆气体冷却及科学研究领域。

现有技术中，普通工业级3.5N或4N二氧化碳气体，杂质含量较高，在电子行业中，达不到使用要求。现有设备通过对气体二氧化碳的吸附、催化以及精馏等纯化方法得到高纯二氧化碳产品。但此类设备适用于大型、连续生产的化工型企业，而且一般要提前规划设计，其缺点为占地面积大、实际操作与监控繁琐、能耗高、产生一定量的固废。

目前针对相关技术中存在的占地面积大、能耗高、操作复杂等问题，尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术中的不足，提供一种用于高纯二氧化碳的纯化装置及纯化系统，以解决相关技术中存在的占地面积大、能耗高、操作复杂等问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案是：

第一方面，提供一种用于高纯二氧化碳的纯化装置，包括：

至少一纯化单元，所述纯化单元包括：

纯化容器，所述纯化容器的内部设置有纯化材料；

纯化外壳，所述纯化外壳包覆所述纯化容器设置；

纯化真空腔，所述纯化真空腔设置于所述纯化容器与所述纯化外壳之间；

真空单元，所述真空单元与所述纯化容器连通，用于向所述纯化容器提供负压；

至少一温度控制单元，所述温度控制单元与对应的所述纯化单元的所述纯化容器连接，用于在所述真空单元向所述纯化容器提供负压的情况下，对所述纯化容器进行加热。

在其中的一些实施例中，所述纯化单元还包括：

纯化进液管路，所述纯化进液管路与所述纯化容器的底部连通；

纯化出液管路，所述纯化出液管路与所述纯化容器的顶部连通；

纯化进液阀，所述纯化进液阀设置于所述纯化进液管路；

纯化出液阀，所述纯化出液阀设置于所述纯化出液管路。

在其中的一些实施例中，所述纯化单元还包括：

过滤元件，所述过滤元件分别设置于所述纯化进液管路、所述纯化出液管路。

在其中的一些实施例中，所述纯化单元还包括：

纯化安全防护元件，所述纯化安全防护元件与所述纯化容器连通，用于在所述纯化容器的压力超过压力阈值的情况下，降低所述纯化容器的压力。

在其中的一些实施例中，所述真空单元包括：

负压元件，所述负压元件与所述纯化容器连通，用于向所述纯化容器提供负压；

负压管路，所述负压管路分别与所述负压元件、所述纯化容器连通；

真空阀，所述真空阀设置于所述负压管路。

在其中的一些实施例中，所述负压管路与所述出液管路连通，且所述负压管路与所述出液管路的连接处位于所述出液阀的上游。

在其中的一些实施例中，所述温度控制单元包括：

加热元件，所述加热元件设置于所述纯化容器的内部，用于对所述纯化容器进行加热；

温度检测元件，所述温度检测元件设置于所述纯化容器，用于获取所述纯化容器的温度。

在其中的一些实施例中，所述纯化装置包括：

两所述纯化单元，两所述纯化单元相互之间互不连通，且分别与所述真空单元连通；

两所述温度控制单元，两所述温度控制单元分别与对应的所述纯化单元的所述纯化容器连通。

第二方面，提供一种用于高纯二氧化碳的纯化系统，包括：

二氧化碳原料装置，用于提供二氧化碳原料；

如上所述的纯化装置，所述纯化装置的所述纯化容器与所述二氧化碳原料装置连接，用于对所述二氧化碳原料装置提供的二氧化碳原料进行纯化再生以获得高纯二氧化碳。

在其中的一些实施例中，所述二氧化碳原料装置包括：

贮藏单元，用于贮藏二氧化碳原料；

至少一增压单元，所述增压单元分别与所述贮藏单元、所述纯化容器连通，用于对所述贮藏单元提供的二氧化碳原料进行增压，并将经增压的二氧化碳原料传输至所述纯化容器。

在其中的一些实施例中，所述二氧化碳原料装置包括：

两所述增压单元，每一所述增压单元分别与所述贮藏单元、所述纯化容器连通。

在其中的一些实施例中，所述贮藏单元包括：

贮藏容器；

第一贮藏出液管路，所述第一贮藏出液管路与所述贮藏容器的底部连通，并与所述增压单元连通，用于向所述增压单元提供二氧化碳原料；

贮藏进液管路，所述贮藏进液管路与所述贮藏管路的顶部连通，并与所述增压单元连通，用于接收所述增压单元传输的二氧化碳原料。

在其中的一些实施例中，所述贮藏单元还包括：

第二贮藏出液管路，所述第二贮藏出液管路与所述贮藏容器的底部连通。

在其中的一些实施例中，所述增压单元包括：

增压元件，所述增压元件分别与所述贮藏单元、所述纯化容器连通；

增压进液管路，所述增压进液管路分别与所述贮藏单元、所述增压元件连通；

第一增压出液管路，所述第一增压出液管路分别与所述增压元件、所述纯化容器连通。

在其中的一些实施例中，所述增压单元还包括：

第二增压出液管路，所述第二增压出液管路分别与所述增压元件、所述贮藏单元连通。

在其中的一些实施例中，还包括：

分配装置，所述分配装置与所述纯化装置的所述纯化容器连通，用于将高纯二氧化碳进行分配。

在其中的一些实施例中，所述分配装置包括：

分配管路，所述分配管路与所述纯化容器连通；

压力检测元件，所述压力检测元件设置于所述分配管路；

至少一分配阀，所述分配阀设置于所述分配管路，并位于所述压力检测元件的下游；

至少一充装管路，所述充装管路与对应的所述分配阀连接；

至少一重量检测元件，所述重量检测元件设置于对应的所述充装管路的下方。

在其中的一些实施例中，所述分配装置还包括：

分配安全防护元件，所述分配安全防护元件设置于所述分配管路，并位于所述压力检测元件的上游。

在其中的一些实施例中，所述分配装置还包括：

保温元件，所述保温元件设置于所述分配管路，用于稳定所述分配管路的高纯二氧化碳的温度。

本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

本实用新型的一种用于高纯二氧化碳的纯化装置及纯化系统，利用真空负压加热的操作，可以快速地对液态二氧化碳原料进行提纯，以达到高纯度要求；该纯化装置可以在原有二氧化碳生成系统的基础上进行集成，使得占地面积少、能耗低、纯化材料可以再生持续使用。

附图说明

图1是本实用新型的一个示意性实施例的纯化装置的示意图(一)；

图2是本实用新型的一个示意性实施例的纯化单元的示意图；

图3是本实用新型的一个示意性实施例的真空单元的示意图；

图4是本实用新型的一个示意性实施例的纯化系统的示意图(一)；

图5是本实用新型的一个示意性实施例的二氧化碳原料装置的示意图(一)；

图6是本实用新型的一个示意性实施例的分配装置的示意图；

图7是本实用新型的一个示意性实施例的纯化装置的示意图(二)；

图8是本实用新型的一个示意性实施例的纯化系统的示意图(二)；

图9是本实用新型的一个示意性实施例的二氧化碳原料装置的示意图(二)。

其中的附图标记为：100、纯化装置；110、纯化单元；111、纯化容器；112、纯化外壳；113、纯化真空腔；114、纯化进液管路；115、纯化出液管路；116、纯化进液阀；117、纯化出液阀；118、过滤元件；119、纯化安全防护元件；120、真空单元；121、负压元件；122、负压管路；123、真空阀；130、温度控制单元；131、加热元件；132、温度检测元件；

200、二氧化碳原料装置；210、贮藏单元；211、贮藏容器；212、第一贮藏出液管路；213、贮藏进液管路；214、第二贮藏出液管路；215、第一贮藏出液阀；216、贮藏进液阀；217、第二贮藏出液阀；218、封堵元件；220、增压单元；221、增压元件；222、增压进液管路；223、第一增压出液管路；224、第二增压出液管路；

300、分配装置；301、分配管路；302、压力检测元件；303、分配阀；304、充装管路；305、重量检测元件；306、分配安全防护元件；307、保温元件；308、排出阀；

400、高压罐。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

实施例1

本实施例为本实用新型的一个示意性实施例，如图1所示，一种用于高纯二氧化碳的纯化装置100包括纯化单元110、真空单元120以及温度控制单元130，其中，纯化单元110用于对二氧化碳原料进行纯化；真空单元120与纯化单元110连通，用于向纯化单元110提供负压；温度控制单元130与纯化单元110连接，用于在真空单元120向纯化单元110提供负压的情况下，对纯化单元110进行加热。

如图2所示，纯化单元110包括纯化容器111、纯化外壳112、纯化真空腔113、纯化进液管路114、纯化出液管路115、纯化进液阀116、纯化出液阀117、过滤元件118和纯化安全防护元件119。

纯化容器111的内部设置有纯化材料，用于对二氧化碳原料(液态)进行纯化再生，以去除二氧化碳原料中的杂质，以获取高纯二氧化碳。

其中，纯化容器111为纯化罐。

其中，纯化材料为吸附剂。

纯化外壳112包覆纯化容器111设置，纯化真空腔113设置于纯化容器111与纯化外壳112之间。设置纯化真空腔113的目的是，减少纯化容器111的二氧化碳原料与外界空气进行的热交换。与相关技术中在纯化罐的外侧设置保温材料且需更换保温材料相比，利用纯化真空腔113可以无需设置保温材料，减少了生产成本。

纯化进液管路114与纯化容器111的底部连通，用于向纯化容器111提供二氧化碳原料。

其中，纯化进液管路114的第一端位于纯化容器111的外侧，纯化进液管路114的第二端设置于纯化真空腔113并与纯化容器111的底部连通，即纯化进液管路114的部分设置于纯化真空腔113的内部。

纯化出液管路115的第一端与纯化容器111的顶部连通，用于将经纯化容器111的纯化材料纯化后的高纯二氧化碳向外输出。

纯化进液阀116设置于纯化进液管路114，用于控制纯化进液管路114是否向纯化容器111传输二氧化碳原料。

其中，纯化进液阀116位于纯化容器111的外侧的纯化进液管路114。

在其中的一些实施例中，纯化进液阀116为截止阀。

纯化出液阀117设置于纯化出液管路115，用于控制纯化出液管路115是否向外界传输高纯二氧化碳。

在其中的一些实施例中，纯化出液阀117为截止阀。

过滤元件118分别设置于纯化进液管路114和纯化出液管路115，用于分别对二氧化碳原料、高纯二氧化碳进行过滤。

其中，在纯化进液管路114，过滤元件118位于纯化进液阀116的下游；在纯化出液管路115，过滤元件118位于纯化出液阀117的上游。

在其的一些实施例中，过滤元件118为过滤器。

纯化安全防护元件119设置于纯化容器111的顶端，并与纯化容器111连通，用于在纯化容器111的的压力超过压力阈值的情况下，降低纯化容器111的压力。

在其中的一些实施例中，纯化安全防护元件119为安全阀。

如图3所示，真空单元120包括负压元件121、负压管路122和真空阀123。

负压元件121与纯化容器111的顶端连通，用于向纯化容器111提供负压(即抽真空)，以使纯化容器111的内部呈真空状态。

在其中的一些实施例中，负压元件121为真空泵。

负压管路122分别与负压元件121、纯化容器111连通，用于提供负压通路。

其中，负压管路122与纯化出液管路115连通，且负压管路122与纯化出液管路115的连接处位于纯化出液阀117的上游。

在其中的一些实施例中，负压管路122与纯化出液管路115的连接处位于设置于纯化出液管路115的过滤元件118的上游。

真空阀123设置于负压管路122，用于控制负压管路122是否向纯化容器111提供负压通路。

在其中的一些实施例中，真空阀123为截止阀。

如图2所示，温度控制单元130包括加热元件131和温度检测元件132。

加热元件131设置于纯化容器111的内部，用于对纯化容器111的纯化材料进行加热。

在其中的一些实施例中，加热元件131为加热管。

在其中的一些实施例中，加热元件131以垂直于纯化容器111的顶端的方式设置于纯化容器111的内部。

温度检测元件132设置于纯化容器111的顶端，用于获取纯化容器111的温度。

在其中的一些实施例中，温度检测元件132为温度传感器或温度计。

在其中的一些实施例中，温度检测元件132以垂直于纯化容器111的顶端的方式设置于纯化容器111，且温度检测元件132的温度探测端位于纯化容器111的内部。

本实施例的使用方法如下：

打开纯化进液阀116，使纯化容器111的内部充满二氧化碳原料；

在纯化容器111饱和的情况下，开启负压元件121以及真空阀123，通过负压管路122向纯化容器111提供负压，对纯化容器111进行抽真空操作；

开启加热元件131，对纯化容器111的内部进行加热；

在负压以及加热的共同作用下，二氧化碳原料的杂质被纯化材料吸附，然后被抽出，从而获得高纯二氧化碳，其中，杂质通过负压元件121被排出；

打开纯化出液阀117，排出高纯二氧化碳。

实施例2

本实施例涉及一种用于高纯二氧化碳的纯化系统。

如图4所示，纯化系统包括纯化装置100、二氧化碳原料装置200以及分配装置300，其中，二氧化碳原料装置200设置于纯化装置100的上游，用于向纯化装置100提供二氧化碳原料(液态)，分配装置300设置于纯化装置100的下游，用于将高纯二氧化碳进行分配充装。

其中，纯化装置100如实施例1所述，在此不再赘述。

如图5所示，二氧化碳原料装置200包括贮藏单元210和增压单元220，其中，贮藏单元210用于贮藏二氧化碳原料，增压单元220分别与贮藏单元210、纯化单元110连通，用于对贮藏单元210提供的二氧化碳原料进行增压并将经增压的二氧化碳原料传输至纯化单元110。

贮藏单元210包括贮藏容器211、第一贮藏出液管路212、贮藏进液管路213、第二贮藏出液管路214、第一贮藏出液阀215、贮藏进液阀216、第二贮藏出液阀217和封堵元件218。

贮藏容器211的内部贮藏有液态二氧化碳原料。

其中，贮藏容器211为贮藏罐。

第一贮藏出液管路212的第一端与贮藏容器211的底部连通，其第二端与增压单元220连通，用于将贮藏容器211的二氧化碳原料传输至增压单元220。

贮藏进液管路213的第一端与贮藏容器211的顶部连通，其第二端与增压单元220连通，用于通过增压单元220向贮藏容器211补充二氧化碳原料。

第二贮藏出液管路214的第一端与贮藏容器211的底部连通，其第二端设置有封堵元件218。

在其中的一些实施例中，封堵元件218为法兰堵盖。

第一贮藏出液阀215设置于第一贮藏出液管路212，用于控制第一贮藏出液管路212是否向增压单元220提供二氧化碳原料。

在其中的一些实施例中，第一贮藏出液阀215为球阀。

贮藏进液阀216设置于贮藏进液管路213，用于控制贮藏进液管路213是否向贮藏容器211补充二氧化碳原料。

在其中的一些实施例中，贮藏进液阀216为球阀。

第二贮藏出液阀217设置于第二贮藏出液管路214，用于控制第二贮藏出液管路214是否向外传输残留的二氧化碳原料。

在其中的一些实施例中，第二贮藏出液阀217为球阀。

增压单元220包括增压元件221、增压进液管路222、第一增压出液管路223和第二增压出液管路224。

增压元件221分别与贮藏容器211、纯化容器111连通，用于对贮藏容器211提供的二氧化碳原料进行增压、并将经增压的二氧化碳原料提供至纯化容器111。

其中，增压元件221为增压泵。优选地，增压元件221为低温增压泵。

增压进液管路222的第一端与第一贮藏出液管路212的第二端连通，其第二端与增压元件221连通，用于将贮藏容器211的二氧化碳原料提供至增压元件221。

第一增压出液管路223的第一端与增压元件221连通，其第二端与纯化进液管路114连通，用于将经增压元件221增压的二氧化碳原料提供至纯化容器111。

第二增压出液管路224的第一端与增压元件221连通，其第二端与贮藏进液管路213连通，用于向贮藏容器211提供二氧化碳原料。

如图6所示，分配装置300包括分配管路301、压力检测元件302、至少一分配阀303、至少一充装管路304、至少一重量检测元件305、分配安全防护元件306、保温元件307和排出阀308。

分配管路301的第一端与纯化出液管路115的第二端连通，用于获取经纯化容器111纯化的高纯二氧化碳。

压力检测元件302设置于分配管路301的第一端，用于分配管路301的高纯二氧化碳的压力值。

在其中的一些实施例中，压力检测元件302为压力表。

分配阀303设置于分配管路301并位于压力检测元件302的下游。

在其中的一些实施例中，若分配阀303的数量大于等于2个，若干分配阀303按顺序设置于分配管路301，且若干分配阀303之间互不干涉。

在其中的一些实施例中，分配阀303为截止阀。

充装管路304的第一端与对应的分配阀303连通，其第二端与对应的高压罐400连通，用于在分配阀303开启的情况下，向高压罐400的内部充入高纯二氧化碳。

其中，充装管路304的数量与分配阀303的数量相同，且两者一一对应。

重量检测元件305设置于充装管路304的下方，用于获取高压罐400的重量，以判断高压罐400是否充满高纯二氧化碳。

其中，重量检测元件305的数量与充装管路304的数量相同，且两者一一对应。

在其中的一些实施例中，重量检测元件305为磅秤。

分配安全防护元件306设置于分配管路301并位于压力检测元件302的上游，用于在分配管路301的压力超出压力阈值的情况下，降低分配管路301的压力。

在其中的一些实施例中，分配安全防护元件306为安全阀。

保温元件307设置于分配管路301的中间位置，用于对位于分配管路301的高纯二氧化碳的温度进行控制，使高纯二氧化碳达到充装要求。

在其中的一些实施例，保温元件307为保冷装置。

排出阀308设置于分配管路301的第二端，用于控制分配管路301将残余的高纯二氧化碳排出。

在其中的一些实施例中，排出阀308为截止阀。

本实施例的使用方法如下：

打开第一贮藏出液阀215，使贮藏容器211的二氧化碳原料向增压元件221输送；

增压元件221对二氧化碳原料进行增压操作，并将经增压的二氧化碳原料向纯化容器111输送；

打开纯化进液阀116，使纯化容器111的内部充满二氧化碳原料；

在纯化容器111饱和的情况下，开启负压元件121以及真空阀123，通过负压管路122向纯化容器111提供负压，对纯化容器111进行抽真空操作；

开启加热元件131，对纯化容器111的内部进行加热；

在负压以及加热的共同作用下，二氧化碳原料的杂质被纯化材料吸附，然后被抽出，从而获得高纯二氧化碳，其中，杂质通过负压元件121被排出；

打开纯化出液阀117，将高纯二氧化碳向分配管路301输送；

打开分配阀303，使用高纯二氧化碳对充装管路304进行吹净操作；

将充装管路304与对应的高压罐400连接后，向高压罐400输送高纯二氧化碳；

利用重量检测元件305检测高压罐400的重量，在高压罐400的重量达到重量阈值的情况下，关闭分配阀303，移除充装管路304与高压罐400的连接；

在停止使用的情况下，关闭纯化进液阀116，打开纯化出液阀117，使纯化容器111的高纯二氧化碳排出；

在纯化容器111的压力达到压力阈值的情况下，关闭纯化出液阀117。

实施例3

本实施例为实施例1的一个变形实施例。

如图7所示，一种用于高纯二氧化碳的纯化装置100，包括两纯化单元110、真空单元120和两温度控制单元130，其中，两纯化单元110分别与真空单元120连通，两温度控制单元130与对应的纯化单元110连接。

其中，纯化单元110、真空单元120、温度控制单元130的结构、连接方式同实施例1基本相同，在此不再赘述。

具体地，一纯化单元110为主纯化单元，另一纯化单元110为辅纯化单元，主纯化单元与辅纯化单元为并联设置。在主纯化单元的纯化能力不足的情况下，辅纯化单元被启动，以增加纯化能力。

具体地，真空单元120的负压管路122分别与两纯化单元110的纯化出液管路115连通，用于分别向两纯化容器111单独提供负压。相对应地，真空单元120的真空阀123的数量同样为两个，以分别单独控制是否向对应的纯化容器111提供负压。

相对应地，如图8所示，一种用于高纯二氧化碳的纯化系统，包括纯化装置100、二氧化碳原料装置200和分配装置300。

其中，纯化装置100如上所述，即纯化装置100包括两纯化单元110、真空单元120和两温度控制单元130。

二氧化碳原料装置200包括贮藏单元210和两增压单元220，其中，两增压单元220分别与贮藏单元210连通。

其中，贮藏单元210、增压单元220的结构、连接关系同实施例1基本相同，在此不再赘述。

具体地，一增压单元220为主增压单元，另一增压单元220为辅增压单元，主增压单元与辅增压单元并联设置。在主增压单元的输送能力不足的情况下，辅增压单元被启动，以增加输送能力。

具体地，第一贮藏出液管路212分别与两增压单元220的增压进液管路222连通；贮藏进液管路213分别与两增压单元220的第二增压出液管路224连通；两增压单元220的第一增压出液管路223并联后与并联后的两纯化进液管路114连通。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种用于高纯二氧化碳的纯化装置，其特征在于，包括：

至少一纯化单元，所述纯化单元包括：

纯化容器，所述纯化容器的内部设置有纯化材料；

纯化外壳，所述纯化外壳包覆所述纯化容器设置；

纯化真空腔，所述纯化真空腔设置于所述纯化容器与所述纯化外壳之间；

真空单元，所述真空单元与所述纯化容器连通，用于向所述纯化容器提供负压；

至少一温度控制单元，所述温度控制单元与对应的所述纯化单元的所述纯化容器连接，用于在所述真空单元向所述纯化容器提供负压的情况下，对所述纯化容器进行加热。

2.根据权利要求1所述的纯化装置，其特征在于，所述温度控制单元包括：

加热元件，所述加热元件设置于所述纯化容器的内部，用于对所述纯化容器进行加热；

温度检测元件，所述温度检测元件设置于所述纯化容器，用于获取所述纯化容器的温度。

3.根据权利要求1所述的纯化装置，其特征在于，所述真空单元包括：

负压元件，所述负压元件与所述纯化容器连通，用于向所述纯化容器提供负压；

负压管路，所述负压管路分别与所述负压元件、所述纯化容器连通；

真空阀，所述真空阀设置于所述负压管路。

4.根据权利要求1所述的纯化装置，其特征在于，所述纯化单元还包括：

纯化进液管路，所述纯化进液管路与所述纯化容器的底部连通；

纯化出液管路，所述纯化出液管路与所述纯化容器的顶部连通；

纯化进液阀，所述纯化进液阀设置于所述纯化进液管路；

纯化出液阀，所述纯化出液阀设置于所述纯化出液管路。

5.根据权利要求4所述的纯化装置，其特征在于，所述纯化单元还包括：

过滤元件，所述过滤元件分别设置于所述纯化进液管路、所述纯化出液管路。

6.根据权利要求1所述的纯化装置，其特征在于，所述纯化单元还包括：

纯化安全防护元件，所述纯化安全防护元件与所述纯化容器连通，用于在所述纯化容器的压力超过压力阈值的情况下，降低所述纯化容器的压力。

7.一种用于高纯二氧化碳的纯化系统，其特征在于，包括：

二氧化碳原料装置，用于提供二氧化碳原料；

如权利要求1～6任一所述的纯化装置，所述纯化装置的所述纯化容器与所述二氧化碳原料装置连接，用于对所述二氧化碳原料装置提供的二氧化碳原料进行纯化再生以获得高纯二氧化碳。

8.根据权利要求7所述的纯化系统，其特征在于，所述二氧化碳原料装置包括：

贮藏单元，用于贮藏二氧化碳原料；

至少一增压单元，所述增压单元分别与所述贮藏单元、所述纯化容器连通，用于对所述贮藏单元提供的二氧化碳原料进行增压，并将经增压的二氧化碳原料传输至所述纯化容器。

9.根据权利要求7所述的纯化系统，其特征在于，还包括：

分配装置，所述分配装置与所述纯化装置的所述纯化容器连通，用于将高纯二氧化碳进行分配。

10.根据权利要求9所述的纯化系统，其特征在于，所述分配装置包括：

分配管路，所述分配管路与所述纯化容器连通；

压力检测元件，所述压力检测元件设置于所述分配管路；

至少一分配阀，所述分配阀设置于所述分配管路，并位于所述压力检测元件的下游；

至少一充装管路，所述充装管路与对应的所述分配阀连接；

至少一重量检测元件，所述重量检测元件设置于对应的所述充装管路的下方。

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