CN215066030U - 一种显微镜清洁度真空吸盘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种显微镜清洁度真空吸盘装置，包括吸盘基座和安装于所述吸盘基座表面的吸附网，所述吸盘基座用于为所述吸附网提供真空，所述吸附网用于通过真空吸附样品。通过该装置抽干并固定样品，操作方便且成像效果更好，具有广泛的应用前景。

Description

一种显微镜清洁度真空吸盘装置

技术领域

本实用新型属于显微镜辅助工具技术领域，涉及一种显微镜清洁度真空吸盘装置。

背景技术

清洁度表示零件或产品在清洗后在其表面上残留的污物的量。一般来说，污物的量包括种类、形状、尺寸、数量、重量等衡量指标；具体用何种指标取决于不同污物对产品质量的影响程度和清洁度控制精度的要求。

清洁度的测定方法很多，主要包括：目视检查法、接触角法、荧光发光法、重量法、颗粒尺寸数量法等。其中，颗粒尺寸数量法是一种清洁度测试的新方法，其基本原理是根据被检测的表面与污染物颗粒具有不同的光吸收或散射率其杂质收集方法与重量法相同，待滤膜干燥后，使用显微镜在光照射下检测，按颗粒尺寸和数量统计污物颗粒，即可得到所测物体零件的固体颗粒污染物结果。

然而，现有的显微镜清洁度的测定过程中存在以下问题：

1)现有方式需把滤膜放入烘箱，进行40分钟左右烘干，能耗高，耗时长；

2)对滤膜高温烘干后会变皱、变形，测量时表面不平影响成像效果；

3)变皱后，需要玻璃或树脂等特殊装置进行压平，影响成像质量；

4)覆盖物需要定期清理，很不方便；

5)现有方式在扫描过程中样品有可能轻微震动或相对位移，影响拼图。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供了一种显微镜清洁度真空吸盘装置。通过该装置抽干并固定样品，操作方便且成像效果更好，具有广泛的应用前景。

为了实现上述技术目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种显微镜清洁度真空吸盘装置，包括吸盘基座和安装于所述吸盘基座表面的吸附网，所述吸盘基座用于为所述吸附网提供真空，所述吸附网用于通过真空吸附样品。

优选地，所述吸附网通过连接件安装于所述吸盘基座的表面。

更优选地，所述连接件为扁平环状且具有内倒角。

更优选地，所述连接件的内侧底部开设有两个对称的凹槽。

优选地，所述吸附网与所述吸盘基座之间还安装有吸盘上板，所述吸盘上板在所述吸盘基座内形成真空腔。

优选地，所述吸盘基座的侧面设有用于连接气泵的气管，所述吸盘基座通过所述气管抽真空。

更优选地，所述气管的数目为两个且对称安装于所述吸盘基座的两侧。

更优选地，所述吸盘基座为具有四个切角的切角长方体，两个所述气管分别安装于两个切角处。

优选地，所述吸盘基座的底端两侧对称延伸有安装部。

优选地，所述吸附网为钢网。

本实用新型的有益效果如下：

1)过滤后的滤膜放到真空吸盘上，可在5-10分钟内对滤膜完成抽干，时间短效率高。

2)通过真空吸附可保证测量表面平整，成像效果良好。

3)固定方式由真空吸盘吸附样品代替覆盖物压平样品，方便且不影响成像。

4)在扫描过程中真空吸盘能保证滤膜无相对运动，稳定不影响成像效果。

附图说明

图1为本实用新型一种显微镜清洁度真空吸盘装置的立体结构图。

图2为本实用新型一种显微镜清洁度真空吸盘装置的俯视图。

图3为本实用新型中吸附网通过连接件安装在吸盘上板时的结构爆炸图。

图4为本实用新型中吸盘上板的结构示意图。

图5为本实用新型中吸盘基座的结构示意图。

图中：1—吸盘基座，11—安装槽，12—第一通孔；2—吸盘上板，21—真空腔，22—密封槽，23—第二通孔；3—连接件，31—内倒角，32—凹槽；4—吸附网，41—网格部，42—密封部；5—气管；6—安装部。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型，下面结合实施例并对照附图对本实用新型作进一步详细说明。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本实用新型的保护范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“内侧”、“外侧”、“顶端”、“底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，可以是可拆卸连接，也可以是一体地连接；可以是直接相连，可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例

本实施例提供的一种显微镜清洁度真空吸盘装置，如图1和2所示，主要包括：吸盘基座1和安装于吸盘基座1表面的吸附网4，吸盘基座1的侧面设有用于连接气泵的气管5，吸盘基座1通过气管5抽真空，进而，吸附网4可通过真空吸附样品，样品包括但不限于滤膜。

本实施例中，吸附网4可通过连接件3安装于吸盘基座1的表面，吸附网4与吸盘基座1之间还安装有吸盘上板2，具体地，如图3和4所示，吸盘上板2中则设有与吸附网4适配的真空腔21，真空腔21的外周边沿设有密封槽22，通过在密封槽22中放置密封圈可进一步进行密封；吸附网4可为圆形钢网，其包括位于外圈的密封部42和位于外圈内的网格部41，网格孔径可为0.25-0.35μm，连接件3可为扁平环状且具有内倒角31，内倒角31的内侧底部又开设有两个对称的凹槽32，凹槽32的设置方便滤膜(或其他样品)的取出。在进行安装时，吸附网4的密封部42覆盖在真空腔21外部的密封槽22上，此时，网格部41则与真空腔21对应，网格部41的直径不大于真空腔21的直径，密封部42的外径可略大于密封槽22的外径，密封部42和密封槽22之间安装有密封圈，可以更好的形成真空密封，连接件3的内倒角31则对应压接到密封部42上，进一步通过螺纹连接将吸附网4安装在吸盘上板2上，从而形成了对吸附网4的网格部41进行真空吸附的结构。

真空腔21的侧壁上还开设有第二通孔23，如图5所示，吸附基座1中对应设有形状与吸盘上板2相匹配、用于安装吸盘上板2的安装槽11，安装槽11的侧壁上开有与气管5连通的第一通孔12，当吸盘上板2水平摆放于吸盘基座1中时，真空腔21可依次经过第二通孔23和第一通孔12与气管5连通，通过真空吸附可与吸盘基座1之间共同形成真空腔体，同时，吸盘上板2也方便装夹样品夹。

本实施例中，气管5的数目为两个且对称安装于吸盘基座1的两侧，吸盘基座1为具有四个切角的切角长方体时，两个气管5可分别安装于两个切角处。吸盘基座1的底端两侧还对称延伸有安装部，可以实现该装置整体作为辅助时的进一步安装。

本装置的基本工作流程如下：滤膜过滤后，不进烘箱，直接放在吸附网4(如钢网)上，通过软件控制气泵开启，根据数字气压表，软件实时自动调节气泵功率，直到气压稳定，调节气泵到低功率运行，只需保证滤膜被吸附在钢网，不会因扫描过程的惯力，发生微小偏移。以采用12V直流电机为例，高功率指10-12V运行，此时可进行水分抽取，低功率则是指5V左右，此时可保证滤膜吸附。气泵的连接与调节可采用常规技术手段实现，在此不做赘述。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为更清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方法予以穷举，凡是属于本实用新型的技术方案所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之列。

Claims (10)

1.一种显微镜清洁度真空吸盘装置，其特征在于，包括吸盘基座和安装于所述吸盘基座表面的吸附网，所述吸盘基座用于为所述吸附网提供真空，所述吸附网用于通过真空吸附样品。

2.根据权利要求1所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置，其特征在于，所述吸附网通过连接件安装于所述吸盘基座的表面。

3.根据权利要求2所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置，其特征在于，所述连接件为扁平环状且具有内倒角。

4.根据权利要求3所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置，其特征在于，所述连接件的内侧底部开设有两个对称的凹槽。

5.根据权利要求2所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置，其特征在于，所述吸附网与所述吸盘基座之间还安装有吸盘上板，所述吸盘上板在所述吸盘基座内形成真空腔。

6.根据权利要求1所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置，其特征在于，所述吸盘基座的侧面设有用于连接气泵的气管，所述吸盘基座通过所述气管抽真空。

7.根据权利要求6所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置，其特征在于，所述气管的数目为两个且对称安装于所述吸盘基座的两侧。

8.根据权利要求7所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置，其特征在于，所述吸盘基座为具有四个切角的切角长方体，两个所述气管分别安装于两个切角处。

9.根据权利要求1所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置，其特征在于，所述吸盘基座的底端两侧对称延伸有安装部。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置，其特征在于，所述吸附网为钢网。

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