CN215031612U - 一种半导体零部件的干冷清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体零部件的干冷清洗装置，属于干冷清洗领域，包括清洗箱，所述清洗箱的一侧固定套接有集尘箱，所述清洗箱的内部固定套接有滑杆，所述滑杆的外部活动套接有滑动板，所述滑动板的顶部固定连接有固定架，且滑动板的顶部放置有工件；通过设置吹风机和液氮管，当需要对工件进行清洗时，打开液氮管，使得液氮管内部的液氮得以喷洒至工件外部，使得工件的温度得以快速降低，促使工件的体积收缩时带动表面的有机物发生松动，此时启动吹风机，使得吹风机通过吹风管将工件表面的有机物吹落至清洗箱的底部，从而使得达到对工件进行清洗的效果，进而提高了干冷清洗装置的实用性。

Description

一种半导体零部件的干冷清洗装置

技术领域

本实用新型属于干冷清洗技术领域，具体涉及一种半导体零部件的干冷清洗装置。

背景技术

半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，半导体零件往往对清洁度、表面均匀度、工艺稳定性的要求较高，微小的杂质和尘埃，不均匀的颗粒大小都会影响半导体的性能，因此需要经常对半导体进行清洗，传统的清洗装置是有机化学溶剂或试剂，对有机残留进行溶解后处理，再通过水对半导体进行清刷，导致半导体表面易残留化学溶剂的问题，进而导致降低了对半导体的清洗效果，同时，在使用化学溶剂或试剂对半导体部件进行清刷时，因清洗下来的有机物体积较小，从而导致为清洗装置排污时带来不便的问题，为此，我们一种半导体零部件的干冷清洗装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体零部件的干冷清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体零部件的干冷清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的一侧固定套接有集尘箱，所述清洗箱的内部固定套接有滑杆，所述滑杆的外部活动套接有滑动板，所述滑动板的顶部固定连接有固定架，且滑动板的顶部放置有工件，所述清洗箱的内部固定套接有支撑杆，且清洗箱的内部活动套接有螺纹杆，所述螺纹杆的外部固定套接有一号齿轮，且螺纹杆的外部螺纹套接有滑动块，所述滑动块的内部固定套接有吹风管，且滑动块的内部固定套接有液氮管，所述清洗箱的内腔的顶部固定安装有旋转电机，且清洗箱的顶部固定安装有吹风机。

作为一种优选的实施方式，所述清洗箱的侧面固定连接有滑动套，所述滑动套的内部活动套接有挡板。

作为一种优选的实施方式，所述集尘箱的顶部固定安装有过滤罩，所述过滤罩的材质为活性炭材料。

作为一种优选的实施方式，所述清洗箱的侧面固定安装有吹风箱，所述吹风箱与集尘箱之间相互平行。

作为一种优选的实施方式，所述固定架的内部活动套接有拉伸杆，所述拉伸杆的外部活动套接有弹簧。

作为一种优选的实施方式，所述滑动板的内部固定套接有电阻丝，所述电阻丝与滑动板相适配。

作为一种优选的实施方式，所述旋转电机的输出轴上固定套接有二号齿轮，所述二号齿轮与一号齿轮啮合连接。

作为一种优选的实施方式，所述吹风管与液氮管之间以工件为对称中轴对称分布，且吹风管与滑动块相适配。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该半导体零部件的干冷清洗装置，通过设置吹风机和液氮管，当需要对工件进行清洗时，打开液氮管，使得液氮管内部的液氮得以喷洒至工件外部，使得工件的温度得以快速降低，促使工件的体积收缩时带动表面的有机物发生松动，此时启动吹风机，使得吹风机通过吹风管将工件表面的有机物吹落至清洗箱的底部，从而使得达到对工件进行清洗的效果，进而提高了干冷清洗装置的实用性；

该半导体零部件的干冷清洗装置，通过设置吹风箱和集尘箱，当对工件的清洗结束需要对清洗箱内部的有机物残渣进行排放时，启动吹风箱，使得吹风箱外部的气流通过清洗箱内部快速流入到集尘箱的内部，从而使得清洗箱内部的有机物残渣伴随气流被收入集尘箱的内部，进而使得极大的提高了清洗箱的排污效果，即提高了干冷清洗装置的排污效果。

附图说明

图1为本实用新型结构的正面剖视图；

图2为本实用新型中清洗箱的俯剖图；

图3为本实用新型中滑动块的立体图。

图中：1、清洗箱；2、集尘箱；3、滑杆；4、滑动板；5、固定架；6、工件；7、支撑杆；8、螺纹杆；9、一号齿轮；10、滑动块；11、吹风管；12、液氮管；13、旋转电机；14、吹风机。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型做进一步的描述。

以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的保护范围。实施例中的条件可以根据具体条件做进一步的调整，在本实用新型的构思前提下对本实用新型的方法简单改进都属于本实用新型要求保护的范围。

请参阅图1和图2，本实用新型提供一种半导体零部件的干冷清洗装置，包括清洗箱1和工件6，为了提高清洗装置工作时的安全性，在清洗箱1的一侧固定套接集尘箱2，且清洗箱1的另一侧固定安装吹风箱，清洗箱1的侧面固定连接有滑动套，滑动套的内部活动套接有挡板，当需要对工件6进行干冷清洗时，向下滑动挡板，使得挡板得以将清洗箱1进行封闭，促使清洗箱1 内部的气流难以从清洗箱1内部流出，从而使得避免了工件6在清洗箱1内部进行清洗时，清洗箱1内部的液氮从清洗箱1内部迸溅至清洗箱1外部对工作人员造成伤害的问题，进而使得提高了清洗装置工作时的安全性。

请参阅图1和图2，为了保障清洗装置工作时的稳定性，在清洗箱1的内部固定套接滑杆3，滑杆3的外部活动套接滑动板4，集尘箱2的顶部固定安装过滤罩，过滤罩的材质为活性炭材料，当清洗箱1内部的有机物残渣伴随气流进入集尘箱2内部时，集尘箱2内部的气流得以通过过滤罩流入到集尘箱2外部，使得过滤罩得以对集尘箱2内部的有机物残渣进行拦截，从而避免了有机物残渣伴随气流飘散至集尘箱2外部并对空气造成污染的问题，进而使得集尘箱2能够稳定的对清洗箱1内部的有机物残渣进行收集，从而使得保障了集尘箱2工作时的稳定性，即保障清洗装置工作时的稳定性。

请参阅图1和图2，为了提高干冷清洗装置的排污效果，在滑动板4的顶部固定连接固定架5，且滑动板4的顶部放置工件6，清洗箱1的侧面固定安装吹风箱，所述吹风箱与集尘箱2之间相互平行，当对工件6的清洗结束需要对清洗箱1内部的有机物残渣进行排放时，启动吹风箱，使得吹风箱外部的气流通过清洗箱1内部快速流入到集尘箱2的内部，从而使得清洗箱1内部的有机物残渣伴随气流被收入集尘箱2的内部，进而使得极大的提高了清洗箱1的排污效果，即提高了干冷清洗装置的排污效果。

请参阅图1、图2和图3，为了便于对工件6进行固定，在清洗箱1的内部固定套接支撑杆7，且清洗箱1的内部活动套接螺纹杆8，固定架5的内部活动套接有拉伸杆，拉伸杆的外部活动套接有弹簧，当需要对工件6进行固定时，水平滑动滑动板4，使得滑动板4带动固定架5移动至清洗箱1的外部，此时提动拉伸杆，使得拉伸杆向上运动时带动弹簧发生变形，此时将工件6 放置在滑动板4的顶部并松开拉伸杆，使得弹簧恢复形变时带动拉伸杆紧密的按压在工件6的顶部，促使工件6得以被固定在滑动板4的顶部，此时水平滑动滑动板4，促使滑动板4带动工件6移动至清洗箱1的内部，使得工件 6得以被固定在清洗箱1的内部，从而为固定工件6带来了极大的便利。

请参阅图1、图2和图3，为了清洗工件6时更加方便，在螺纹杆8的外部固定套接一号齿轮9，且螺纹杆8的外部螺纹套接滑动块10，滑动板4的内部固定套接电阻丝，电阻丝与滑动板4相适配，当工件6表面残留有机物难以清洗时，启动电阻丝，使得电阻丝对滑动板4进行快速加热，促使固定在滑动板4顶部的工件6受热后体积逐渐发生膨胀，从而使得工件6发生膨胀时表面残留的有机物发生脱落，从而为清洗工件6时带来了极大的便利。

请参阅图1、图2和图3，为了提高干冷清洗装置的实用性，在滑动块10 的内部固定套接吹风管11，且滑动块10的内部固定套接液氮管12，吹风管 11与液氮管12之间以工件6为对称中轴对称分布，且吹风管11与滑动块10 相适配，当需要对工件6进行清洗时，打开液氮管12，使得液氮管12内部的液氮得以喷洒至工件6外部，使得工件6的温度得以快速降低，促使工件6 的体积收缩时带动表面的有机物发生松动，此时启动吹风机14，使得吹风机 14通过吹风管11将工件6表面的有机物吹落至清洗箱1的底部，从而使得达到对工件6进行清洗的效果，进而提高了干冷清洗装置的实用性。

请参阅图1、图2和图3，为了提高干冷清洗装置的清洗质量，在清洗箱 1的内腔的顶部固定安装旋转电机13，且清洗箱1的顶部固定安装吹风机14，旋转电机13的输出轴上固定套接二号齿轮，二号齿轮与一号齿轮9啮合连接，当在清洗工件6时，启动旋转电机13，使得旋转电机13通过二号齿轮和螺纹杆8带动滑动块10进行水平移动，促使水平移动的滑动块10带动液氮管12 和吹风管11对工件6的外部进行均匀清洗，从而使得极大的提高了对工件6 的清洗效果，进而提高了干冷清洗装置的清洗质量。

本实用新型的工作原理及使用流程：首先水平滑动滑动板4，使得滑动板 4带动固定架5移动至清洗箱1的外部，此时提动拉伸杆，使得拉伸杆向上运动时带动弹簧发生变形，此时将工件6放置在滑动板4的顶部并松开拉伸杆，使得弹簧恢复形变时带动拉伸杆紧密的按压在工件6的顶部，促使工件6得以被固定在滑动板4的顶部，此时水平滑动滑动板4，促使滑动板4带动工件 6移动至清洗箱1的内部，使得工件6得以被固定在清洗箱1的内部，从而为固定工件6带来了极大的便利，当清洗工件6时向下滑动挡板，使得挡板得以将清洗箱1进行封闭，促使清洗箱1内部的气流难以从清洗箱1内部流出，从而使得避免了工件6在清洗箱1内部进行清洗时，清洗箱1内部的液氮从清洗箱1内部迸溅至清洗箱1外部对工作人员造成伤害的问题，进而使得提高了清洗装置工作时的安全性，当清洗箱1内部的有机物残渣伴随气流进入集尘箱2内部时，集尘箱2内部的气流得以通过过滤罩流入到集尘箱2外部，使得过滤罩得以对集尘箱2内部的有机物残渣进行拦截，从而避免了有机物残渣伴随气流飘散至集尘箱2外部并对空气造成污染的问题，进而使得集尘箱2能够稳定的对清洗箱1内部的有机物残渣进行收集，从而使得保障了集尘箱2工作时的稳定性，即保障清洗装置工作时的稳定性，当需要对工件6 进行清洗时，打开液氮管12，使得液氮管12内部的液氮得以喷洒至工件6外部，使得工件6的温度得以快速降低，促使工件6的体积收缩时带动表面的有机物发生松动，此时启动吹风机14，使得吹风机14通过吹风管11将工件 6表面的有机物吹落至清洗箱1的底部，从而使得达到对工件6进行清洗的效果，进而提高了干冷清洗装置的实用性，当工件6表面残留有机物难以清洗时，启动电阻丝，使得电阻丝对滑动板4进行快速加热，促使固定在滑动板4 顶部的工件6受热后体积逐渐发生膨胀，从而使得工件6发生膨胀时表面残留的有机物发生脱落，从而为清洗工件6时带来了极大的便利，当在清洗工件6时，启动旋转电机13，使得旋转电机13通过二号齿轮和螺纹杆8带动滑动块10进行水平移动，促使水平移动的滑动块10带动液氮管12和吹风管11 对工件6的外部进行均匀清洗，从而使得极大的提高了对工件6的清洗效果，进而提高了干冷清洗装置的清洗质量。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种半导体零部件的干冷清洗装置，包括清洗箱(1)，其特征在于：所述清洗箱(1)的一侧固定套接有集尘箱(2)，所述清洗箱(1)的内部固定套接有滑杆(3)，所述滑杆(3)的外部活动套接有滑动板(4)，所述滑动板(4)的顶部固定连接有固定架(5)，且滑动板(4)的顶部放置有工件(6)，所述清洗箱(1)的内部固定套接有支撑杆(7)，且清洗箱(1)的内部活动套接有螺纹杆(8)，所述螺纹杆(8)的外部固定套接有一号齿轮(9)，且螺纹杆(8)的外部螺纹套接有滑动块(10)，所述滑动块(10)的内部固定套接有吹风管(11)，且滑动块(10)的内部固定套接有液氮管(12)，所述清洗箱(1)的内腔的顶部固定安装有旋转电机(13)，且清洗箱(1)的顶部固定安装有吹风机(14)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体零部件的干冷清洗装置，其特征在于：所述清洗箱(1)的侧面固定连接有滑动套，所述滑动套的内部活动套接有挡板。

3.根据权利要求1所述的一种半导体零部件的干冷清洗装置，其特征在于：所述集尘箱(2)的顶部固定安装有过滤罩，所述过滤罩的材质为活性炭材料。

4.根据权利要求1所述的一种半导体零部件的干冷清洗装置，其特征在于：所述清洗箱(1)的侧面固定安装有吹风箱，所述吹风箱与集尘箱(2)之间相互平行。

5.根据权利要求1所述的一种半导体零部件的干冷清洗装置，其特征在于：所述固定架(5)的内部活动套接有拉伸杆，所述拉伸杆的外部活动套接有弹簧。

6.根据权利要求1所述的一种半导体零部件的干冷清洗装置，其特征在于：所述滑动板(4)的内部固定套接有电阻丝，所述电阻丝与滑动板(4)相适配。

7.根据权利要求1所述的一种半导体零部件的干冷清洗装置，其特征在于：所述旋转电机(13)的输出轴上固定套接有二号齿轮，所述二号齿轮与一号齿轮(9)啮合连接。

8.根据权利要求1所述的一种半导体零部件的干冷清洗装置，其特征在于：所述吹风管(11)与液氮管(12)之间以工件(6)为对称中轴对称分布，且吹风管(11)与滑动块(10)相适配。

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