CN214976216U - 一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于硅片清洗领域，具体的说是一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，包括运输箱，所述运输箱的顶端活动安装有保护盖，所述保护盖的顶端固定安装有把手一，所述运输箱的内侧底端固定安装有液压缸，所述液压缸的顶端固定安装有传动盘，所述传动盘的顶端固定安装有若干组连接座，所述连接座的顶端开设有卡槽，且连接座的内侧固定安装有电机，所述电机的一端传动安装有驱动轮，所述驱动轮的一侧位于卡槽的内侧，工作时，解决了硅片清洗时不发生运动，导致清洁效果较差的问题，同时硅片上有部分区域和装置接触，导致清洗不到位的问题，从而提高了装置的清洁效果。

Description

一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗领域，具体是一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱。

背景技术

硅片是制作半导体的主要材料，半导体生产中的硅片，必须进过多步骤且严谨的清洗流程，才可以进行生产，稍微细小的污渍残留，都会造成半导体的实效；

现有的硅片清洗转运箱往往结构简单，在固定硅片的方便只是将硅片进行定位式的固定，且不具备晃动效果，导致清洗效果一般，且定位式的固定，会导致硅片与装置接触的部位不能全面与液体接触，导致清洗效果较差。

实用新型内容

为了弥补现有技术的不足，清洗效果一般的问题，本实用新型提出一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型所述的一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，包括运输箱，所述运输箱的顶端活动安装有保护盖，所述保护盖的顶端固定安装有把手一，所述运输箱的内侧底端固定安装有液压缸，所述液压缸的顶端固定安装有传动盘，所述传动盘的顶端固定安装有若干组连接座，所述连接座的顶端开设有卡槽，且连接座的内侧固定安装有电机，所述电机的一端传动安装有驱动轮，所述驱动轮的一侧位于卡槽的内侧，解决了硅片清洗时不发生运动，导致清洁效果较差的问题，同时硅片上有部分区域和装置接触，导致清洗不到位的问题，从而提高了装置的清洁效果。

优选的，所述运输箱的内侧固定安装有阻挡环，所述阻挡环的顶端设置有阻断板，所述阻断板成圆盘形设置，且阻挡环的内环也为圆环形设置，所述阻断板的底端固定安装有两组连接块，所述连接块的底端固定安装有卡盘，所述阻挡环的顶端开设有两组定位槽，所述定位槽的内侧靠顶端固定安装有两组挡板，通过设置阻断板既可以增加装置的密封性，同时可以防止运输过程中液体溅射到保护盖底端，并残留在保护盖上，导致保护盖开启时液体向四周流出，同时难以清理的问题。

优选的，所述连接座的顶端成半圆环形设置，所述卡槽也呈半圆环形，工作时，连接座的半圆环形设置可以在固定硅片的同时，让硅片可以大面积与液体接触。

优选的，所述阻断板的顶端固定安装有把手二，工作时，利用把手二可以更方便的操作阻断板。

优选的，所述阻断板的底端固定安装有若干组凸块，所述凸块的外侧成弧形设置，工作时，凸块的设置，可以让粘在阻断板底端的液体，顺着凸块凝聚并流下。

优选的，所述阻断板的底端开设有若干组凹槽，工作时，凹槽可以引导让阻断板底端的液体流向凸块，协助液体的滴落。

本实用新型的有益之处在于：

一.本实用新型可以启动液压缸将传动盘向上顶，让连接座顶出运输箱，之后将硅片放入到卡槽中，再次启动液压缸，让连接座沉入运输箱底端，向运输箱的内侧倒入清洁水或者化学试剂，此时可以启动电机驱动轮转动，让驱动轮带动硅片进行转动，不仅可以让硅片在液体中进行运动，从而增加硅片的清洗效果，同时可以不断的改变硅片与装置接触的地方，保证硅片上不会存在未与液体接触的地方，解决了硅片清洗时不发生运动，导致清洁效果较差的问题，同时硅片上有部分区域和装置接触，导致清洗不到位的问题，从而提高了装置的清洁效果；

二.本实用新型当硅片固定好以后，将阻断板放入运输箱中，由于阻挡环的设置，让阻断板隔离液体与保护盖，配合阻挡环上开设的两组定位槽和阻断板底端的两组连接块进行定位，让连接块卡入定位槽后，旋转阻断板，让卡盘旋转到挡板的底端，用来稳定阻断板的安装，通过设置阻断板既可以增加装置的密封性，同时可以防止运输过程中液体溅射到保护盖底端，并残留在保护盖上，导致保护盖开启时液体向四周流出，同时难以清理的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为实施例一的整体结构示意图；

图2为实施例一的剖视结构示意图；

图3为实施例一图2中A处放大结构示意图；

图4为实施例一阻挡环与连接块的俯视连接示意图；

图5为实施例一连接座的正面剖视示意图；

图6为实施例二的结构示意图。

图中：1、运输箱；2、保护盖；3、把手一；4、连接座；5、传动盘；6、液压缸；7、把手二；8、凸块；9、凹槽；10、阻挡环；11、定位槽；12、连接块；13、卡盘；14、卡槽；15、驱动轮；16、电机；17、阻断板；18、挡板；19、排水槽；20、水泵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

请参阅图1-5所示，一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，包括运输箱1，所述运输箱1的顶端活动安装有保护盖2，所述保护盖2的顶端固定安装有把手一3，所述运输箱1的内侧底端固定安装有液压缸6，所述液压缸6的顶端固定安装有传动盘5，所述传动盘5的顶端固定安装有若干组连接座4，所述连接座4的顶端开设有卡槽14，且连接座4的内侧固定安装有电机16，所述电机16的一端传动安装有驱动轮15，所述驱动轮15的一侧位于卡槽14的内侧，工作时，先将保护盖2开启，之后启动液压缸6将传动盘5向上顶，让连接座4顶出运输箱1，之后将硅片放入到卡槽14中，再次启动液压缸6，让连接座4沉入运输箱1底端，向运输箱1的内侧倒入清洁水或者化学试剂，此时可以启动电机16驱动轮15转动，让驱动轮15带动硅片进行转动，不仅可以让硅片在液体中进行运动，从而增加硅片的清洗效果，同时可以不断的改变硅片与装置接触的地方，保证硅片上不会存在未与液体接触的地方，解决了硅片清洗时不发生运动，导致清洁效果较差的问题，同时硅片上有部分区域和装置接触，导致清洗不到位的问题，从而提高了装置的清洁效果。

所述运输箱1的内侧固定安装有阻挡环10，所述阻挡环10的顶端设置有阻断板17，所述阻断板17成圆盘形设置，且阻挡环10的内环也为圆环形设置，所述阻断板17的底端固定安装有两组连接块12，所述连接块12的底端固定安装有卡盘13，所述阻挡环10的顶端开设有两组定位槽11，所述定位槽11的内侧靠顶端固定安装有两组挡板18，工作时，当硅片固定好以后，将阻断板17放入运输箱1中，由于阻挡环10的设置，让阻断板17隔离液体与保护盖2，配合阻挡环10上开设的两组定位槽11和阻断板17底端的两组连接块12进行定位，让连接块12卡入定位槽11后，旋转阻断板17，让卡盘13旋转到挡板18的底端，用来稳定阻断板17的安装，通过设置阻断板17既可以增加装置的密封性，同时可以防止运输过程中液体溅射到保护盖2底端，并残留在保护盖2上，导致保护盖2开启时液体向四周流出，同时难以清理的问题。

所述连接座4的顶端成半圆环形设置，所述卡槽14也呈半圆环形，工作时，连接座4的半圆环形设置可以在固定硅片的同时，让硅片可以大面积与液体接触。

所述阻断板17的顶端固定安装有把手二7，工作时，利用把手二7可以更方便的操作阻断板17。

所述阻断板17的底端固定安装有若干组凸块8，所述凸块8的外侧成弧形设置，工作时，凸块8的设置，可以让粘在阻断板17底端的液体，顺着凸块8凝聚并流下。

所述阻断板17的底端开设有若干组凹槽9，工作时，凹槽9可以引导让阻断板17底端的液体流向凸块8，协助液体的滴落。

实施例二

请参阅图6所示，对比实施例一，作为本实用新型的另一种实施方式，所述运输箱1的内侧开设有排水槽19，所述排水槽19的顶端与运输箱1内侧连接，排水槽19的底端与外界连接，且排水槽19的顶端内侧固定安装有水泵20，工作时，将水泵20开启可以将运输箱1内侧的液体向外抽取，方便了液体的后处理过程。

工作原理，工作时，先将保护盖2开启，之后启动液压缸6将传动盘5向上顶，让连接座4顶出运输箱1，之后将硅片放入到卡槽14中，再次启动液压缸6，让连接座4沉入运输箱1底端，向运输箱1的内侧倒入清洁水或者化学试剂，此时可以启动电机16驱动轮15转动，让驱动轮15带动硅片进行转动，不仅可以让硅片在液体中进行运动，从而增加硅片的清洗效果，同时可以不断的改变硅片与装置接触的地方，保证硅片上不会存在未与液体接触的地方，解决了硅片清洗时不发生运动，导致清洁效果较差的问题，同时硅片上有部分区域和装置接触，导致清洗不到位的问题，从而提高了装置的清洁效果；工作时，当硅片固定好以后，将阻断板17放入运输箱1中，由于阻挡环10的设置，让阻断板17隔离液体与保护盖2，配合阻挡环10上开设的两组定位槽11和阻断板17底端的两组连接块12进行定位，让连接块12卡入定位槽11后，旋转阻断板17，让卡盘13旋转到挡板18的底端，用来稳定阻断板17的安装，通过设置阻断板17既可以增加装置的密封性，同时可以防止运输过程中液体溅射到保护盖2底端，并残留在保护盖2上，导致保护盖2开启时液体向四周流出，同时难以清理的问题。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (6)

1.一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，其特征在于：包括运输箱(1)，所述运输箱(1)的顶端活动安装有保护盖(2)，所述保护盖(2)的顶端固定安装有把手一(3)，所述运输箱(1)的内侧底端固定安装有液压缸(6)，所述液压缸(6)的顶端固定安装有传动盘(5)，所述传动盘(5)的顶端固定安装有若干组连接座(4)，所述连接座(4)的顶端开设有卡槽(14)，且连接座(4)的内侧固定安装有电机(16)，所述电机(16)的一端传动安装有驱动轮(15)，所述驱动轮(15)的一侧位于卡槽(14)的内侧。

2.根据权利要求1所述的一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，其特征在于：所述运输箱(1)的内侧固定安装有阻挡环(10)，所述阻挡环(10)的顶端设置有阻断板(17)，所述阻断板(17)成圆盘形设置，且阻挡环(10)的内环也为圆环形设置，所述阻断板(17)的底端固定安装有两组连接块(12)，所述连接块(12)的底端固定安装有卡盘(13)，所述阻挡环(10)的顶端开设有两组定位槽(11)，所述定位槽(11)的内侧靠顶端固定安装有两组挡板(18)。

3.根据权利要求2所述的一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，其特征在于：所述连接座(4)的顶端成半圆环形设置，所述卡槽(14)也呈半圆环形。

4.根据权利要求3所述的一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，其特征在于：所述阻断板(17)的顶端固定安装有把手二(7)。

5.根据权利要求4所述的一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，其特征在于：所述阻断板(17)的底端固定安装有若干组凸块(8)，所述凸块(8)的外侧成弧形设置。

6.根据权利要求5所述的一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，其特征在于：所述阻断板(17)的底端开设有若干组凹槽(9)。

Images