CN214954514U - 菲林玻璃光罩 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种菲林玻璃光罩，包括玻璃基板、菲林片以及折射镜，所述玻璃基板包括相互背对的入光面和出光面；所述菲林片贴设于所述出光面，所述菲林片包括透光区和遮光区；所述折射镜设于所述菲林片的背离所述玻璃基板的一侧，所述折射镜于所述菲林片的至少部分投影位于所述透光区内，以使由所述透光区边缘出射的衍射光经过所述折射镜后的出射角度变小。本申请的技术方案，得以提高曝光精度和分辨率。

Description

菲林玻璃光罩

技术领域

本实用新型涉及集成电路技术领域，特别涉及一种菲林玻璃光罩。

背景技术

光线垂直照射到光罩后只能从透光区透过，以形成相应的曝光图形。随着技术的发展，芯片中的结构越来越细小，相应的透光区的尺寸也越来越小。当光线通过透光区时相当于经过了细小的狭缝，会发生明显的衍射现象导致实际被光线照射到的区域的宽度比透光区的宽度大，且边缘模糊、分辨率低。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种菲林玻璃光罩，旨在提高曝光精度和分辨率。

为实现上述目的，本实用新型提出的一种菲林玻璃光罩，包括：

玻璃基板，所述玻璃基板包括相互背对的入光面和出光面；

菲林片，所述菲林片贴设于所述出光面，所述菲林片包括透光区和遮光区；以及

折射镜，所述折射镜设于所述菲林片的背离所述玻璃基板的一侧，所述折射镜于所述菲林片的至少部分投影位于所述透光区内，以使由所述透光区边缘出射的衍射光经过所述折射镜后的出射角度变小。

可选地，所述折射镜为凹透镜结构，所述凹透镜结构与所述菲林片相对设置，且所述凹透镜结构的主光轴穿设于所述遮光区。

可选地，定义所述凹透镜结构的光心与所述菲林片之间的间距为L，所述凹透镜结构的焦距为f，且满足L＜f。

可选地，所述凹透镜结构包括背对设置的第一折射面和第二折射面，所述第一折射面与所述菲林片相对设置，并向背离所述菲林片的方向凹陷形成凹面，所述第二折射面设于所述第一折射面的背离所述菲林片的一侧，并向所述菲林片凹陷形成凹面。

可选地，所述折射镜为棱镜结构，所述棱镜结构包括呈夹角设置的第一镜面和第二镜面，所述第一镜面自所述菲林片向远离所述菲林片的方向，以及自所述遮光区向所述透光区倾斜设置，所述第二镜面背对所述菲林片设置。

可选地，所述菲林玻璃光罩还包括连接结构，所述连接结构设于所述菲林片的背离所述玻璃基板的一侧，并向远离所述菲林片的方向延伸设置，所述折射镜与所述连接结构连接。

可选地，所述连接结构的朝向所述透光区的表面设有吸光层。

可选地，所述折射镜可滑动地设于所述连接结构的内侧，以朝向或远离所述菲林片滑动。

可选地，所述连接结构的内侧表面凹设有滑槽，所述滑槽沿所述菲林片和所述折射镜的排布方向延伸设置，所述折射镜的朝向所述连接结构的一端凸设有滑动部，所述滑动部可滑动地卡设于所述滑槽中。

可选地，所述折射镜设有若干，若干所述折射镜沿所述透光区的边缘依次排布。

本实用新型的菲林玻璃光罩中，菲林片贴设于玻璃基板的出光面，并设有透光区和遮光区，光线从透光区射出后从折射镜穿过，使得通过透光区的光束中，位于边缘的原本发散的衍射光线发生折射，折射光向透光区收拢，既得以将照射范围限制在透光区区域内，避免了实际照射宽度大于透光区的宽度；又提高了光线利用率，提高曝光精度和分辨率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型菲林玻璃光罩一实施例的结构示意图；

图2为本实用新型菲林玻璃光罩另一实施例的结构示意图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				100	菲林玻璃光罩	312	第二折射面
10	玻璃基板	313	主光轴
				11	入光面	32	棱镜结构
12	出光面	321	第一镜面
				20	菲林片	322	第二镜面
21	透光区	33	滑动部
				22	遮光区	40	连接结构
30	折射镜	41	吸光层
				31	凸透镜结构	42	滑槽
311	第一折射面

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

本实用新型提出一种菲林玻璃光罩100。

请参照图1和图2，所述菲林玻璃光罩100包括玻璃基板10、菲林片20以及折射镜30，所述玻璃基板10包括相互背离的入光面11和出光面12；所述菲林片20贴设于所述出光面12，所述菲林片20包括透光区21和遮光区22；所述折射镜30设于所述菲林片20的背离所述玻璃基板10的一侧，所述折射镜30于所述菲林片20的至少部分投影位于所述透光区21内，以使由所述透光区21边缘出射的衍射光经过所述折射镜30后的出射角度变小。

具体的，本申请的技术方案，光线从光密介质射向光疏介质时，折射角将大于入射角；当入射角为某一数值时，折射角等于90°，此入射角称临界角。临界角(英语：Criticalangle)是使得全内反射发生的最少的入射角。入射角是从折射界面的法线量度计算的。

因此，可以理解的，本实用新型的菲林玻璃光罩100中，菲林片20贴设于玻璃基板10的出光面12，并设有透光区21和遮光区22，光线从透光区21射出后从折射镜30穿过，使得通过透光区21的光束中，位于边缘的原本发散的衍射光线发生折射，折射光向透光区21收拢，既得以将照射范围进一步限制在透光区21区域内，避免了实际照射宽度大于透光区21的宽度；又提高了光线利用率，增大照射亮度，避免曝光边缘模糊，提高曝光精度和分辨率。

请参照图1，在本实用新型的一些实施中，所述折射镜30为凹透镜结构31，所述凹透镜结构31与所述菲林片20相对设置，且所述凹透镜结构31的主光轴313穿设于所述遮光区22。

具体的，前述实施例的技术方案中，菲林玻璃光罩100于菲林片20背离玻璃基板10的一侧设有折射镜30，以使通过透光区21的光线向透光区21内部合拢。本实施例中，折射镜30为凹透镜结构31，且凹透镜结构31于菲林片20的投影分别位于遮光区22和透光区21内，并使得凹透镜结构31的主光轴313穿设于遮光区22，得以确保从透光区21透出的衍射光均由向透光区21内侧收拢。光线从菲林片20的透光部透出后，边缘的衍射光线从凹透镜结构31中折射后射出，可以理解的，光线穿过凹透镜结构31时，会向远离主光轴313的方向反散，便得以使透光区21边缘的衍射光向透光区21内侧收拢，提高了光线利用率，减少光线损失，得以提高照射亮度，避免曝光边缘模糊，进而得以提高曝光精度和分辨率。

请参照图1，在本实用新型的一些实施例中，定义所述凹透镜结构31的光心与所述菲林片20之间的间距为L，所述凹透镜结构31的焦距为f，且满足L＜f。

具体的，前述实施例的技术方案中，菲林玻璃光罩100于菲林片20的背离玻璃基板10的一侧设有凹透镜结构31，以使通过透光区21的光线向透光区21内部收拢。本实施例中，定义凹透镜结构31的光心与菲林片20之间的间距为L，且凹透镜结构31的焦距为f，且满足L＜f，进而得以确保从透光区21透出的光线均射向凹透镜结构31的主光轴313靠近透光区21的一侧，提高光线利用效率，减少光线损失。

请参照图1，在本实用新型的一些实施例中，所述凹透镜结构31包括背对设置的第一折射面311和第二折射面312，所述第一折射面311与所述菲林片20相对设置，并向背离所述菲林片20的方向凹陷形成凹面，所述第二折射面312设于所述第一折射面311的背离所述菲林片20的一侧，并向所述菲林片20凹陷形成凹面。

具体的，前述实施例地技术方案中，菲林玻璃光罩100于菲林片20的背离玻璃基板10的一侧设有凹透镜结构31，以使通过透光区21的光线向透光区21内部收拢。本实施例中，凹透镜结构31包括背对设置的第一折射面311和第二折射面312，且第一折射面311和第二折射面312均为凹面，在遮光区22和透光区21的交界处附近光线发生衍射时，所述第一折射面311先进行一次折射，使得衍射光线变得汇聚。经过所述第一折射面311折射后的光线经过第二折射面312，进一步起到折射的作用，使得原本发散的衍射光发生二次折射，二次折射后的光向透光区21靠近，以缩小衍射光的照射范围，提高曝光精度，双凹型折射结构可以更好地将通过透光区21形成的衍射光利用起来，同时也减少了光线损失，达到降低能耗的效果。

请参照图1和图2，在本实用新型的一些实施例中，所述菲林玻璃光罩100还包括连接结构40，所述连接结构40设于所述菲林片20的背离所述玻璃基板10的一侧，并向远离所述菲林片20的方向延伸设置，所述折射镜30与所述连接结构40连接。

具体的，前述实施例的技术方案中，菲林玻璃光罩100于菲林片20的背离玻璃基板10的一侧设有折射镜30，以使通过透光区21的光线向透光区21内部收拢。本实施例中，菲林玻璃光罩100还包括连接结构40，

请参照图1，在本实用新型的一些实施例中，所述连接结构40的朝向所述透光区21的表面设有吸光层41。

具体的，前述实施例的技术方案中，折射镜30和菲林片20之间通过连接结构40连接。本实施例中，折射结构的朝向菲林片20透光区21的表面设有吸光层41，以吸收照射至连接结构40的衍射光，避免光线外泄，进一步限定曝光时光线的照射范围，确保曝光区域局限在菲林片20透光区21区域内。

请参照图2，在一些实施例中，连接结构40整体为吸光材质制成，同样能起到吸收照射至连接结构40的衍射光，避免光线外泄的作用。

请参照图2，在本实用新型的一些实施例中，所述折射镜30为棱镜结构32，所述棱镜结构32包括呈夹角设置的第一镜面321和第二镜面322，所述第一镜面321自所述菲林片20向远离所述菲林片20的方向，以及自所述遮光区22向所述透光区21倾斜设置，所述第二镜面322背对所述菲林片20设置。

具体的，前述实施例的技术方案中，菲林玻璃光罩100于菲林片20背离玻璃基板10的一侧设有折射镜30，以使通过透光区21的光线向透光区21内部收拢。本实施例中，折射镜30为棱镜结构32，衍射光线从棱镜结构32的第一镜面321射入，从棱镜中折射后从第二镜面322射出；可以理解的，棱镜结构32设于所述透光区21的内侧边缘，将透过透光区21的边缘的衍射光进行折射，折射后的光线得以向透光区21内收拢，提高了光线利用率，减少光线损失，得以提高照射亮度，避免曝光边缘模糊，进而得以提高曝光精度和分辨率。

请参照图1和图2，在本实用新型的一些实施例中，所述折射镜30可滑动地设于所述连接结构40的内侧，以朝向或远离所述菲林片20滑动。

具体的，前述实施例的技术方案中，折射镜30和菲林片20之间通过连接结构40连接。本实施例中，折射镜30可滑动地设于所述连接结构40的内侧，以朝向或远离所述菲林片20滑动；可以理解的，光线从菲林片20的透光区21透过后，位于透光区21边缘的光线产生衍射向外发散，折射镜30离菲林片20越近，光线发散范围越窄，折射后的照射宽度越窄，通过调节折射镜30与菲林片20的距离得以控制光线经过玻璃菲林光罩后的照射范围。

请参照图1和图2，在本实用新型的一些实施例中，所述连接结构40的内侧表面凹设有滑槽42，所述滑槽42沿所述菲林片20和所述折射镜30的排布方向延伸设置，所述折射镜30的朝向所述连接结构40的一端凸设有滑动部33，所述滑动部33可滑动地卡设于所述滑槽42中。

前述实施例的技术方案中，折射镜30可滑动地设于连接结构40的内侧，以朝向或远离菲林片20滑动。本实施例中，连接结构40的内侧开设有滑槽42，滑槽42沿所述菲林片20和所述折射镜30的排布方向延伸设置，折射镜30的朝向所述连接结构40的一端凸设有滑动部33，所述滑动部33可滑动地卡设于所述滑槽42中，滑动部33与滑槽42的滑动连接以对折射镜30限位，提高调节过程的稳定性。

在本实用新型的一些实施例中，所述折射镜30设有若干，若干所述折射镜30沿所述透光区21的边缘依次排布。

具体的，前述实施例的技术方案中，菲林玻璃光罩100于菲林片20背离玻璃基板10的一侧设有折射镜30，以使通过透光区21的光线向透光区21内部收拢。本实施例中，折射镜30设有多个，多个所述折射镜30沿透光区21的边缘依次排布，以使经过透光区21的光线均向透光区21内收拢，且透光区21的各个位置的光线强度均衡，提高了光线利用率，减少光线损失，得以提高照射亮度，避免曝光边缘模糊，进而得以提高曝光精度和分辨率。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种菲林玻璃光罩，其特征在于，包括：

玻璃基板，所述玻璃基板包括相互背对的入光面和出光面；

菲林片，所述菲林片贴设于所述出光面，所述菲林片包括透光区和遮光区；以及

折射镜，所述折射镜设于所述菲林片的背离所述玻璃基板的一侧并与所述菲林片间隔设置，所述折射镜于所述菲林片的至少部分投影位于所述透光区内，以使由所述透光区边缘出射的衍射光经过所述折射镜后的出射角度变小。

2.如权利要求1所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述折射镜为凹透镜结构，所述凹透镜结构与所述菲林片相对设置，且所述凹透镜结构的主光轴穿设于所述遮光区。

3.如权利要求2所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，定义所述凹透镜结构的光心与所述菲林片之间的间距为L，所述凹透镜结构的焦距为f，且满足L＜f。

4.如权利要求2所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述凹透镜结构包括背对设置的第一折射面和第二折射面，所述第一折射面与所述菲林片相对设置，并向背离所述菲林片的方向凹陷形成凹面，所述第二折射面设于所述第一折射面的背离所述菲林片的一侧，并向所述菲林片凹陷形成凹面。

5.如权利要求1所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述折射镜为棱镜结构，所述棱镜结构包括呈夹角设置的第一镜面和第二镜面，所述第一镜面自所述菲林片向远离所述菲林片的方向，以及自所述遮光区向所述透光区倾斜设置，所述第二镜面背对所述菲林片设置。

6.如权利要求1所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述菲林玻璃光罩还包括连接结构，所述连接结构设于所述菲林片的背离所述玻璃基板的一侧，并向远离所述菲林片的方向延伸设置，所述折射镜与所述连接结构连接。

7.如权利要求6所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述连接结构的朝向所述透光区的表面设有吸光层。

8.如权利要求6所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述折射镜可滑动地设于所述连接结构的内侧，以朝向或远离所述菲林片滑动。

9.如权利要求8所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述连接结构的内侧表面凹设有滑槽，所述滑槽沿所述菲林片和所述折射镜的排布方向延伸设置，所述折射镜的朝向所述连接结构的一端凸设有滑动部，所述滑动部可滑动地卡设于所述滑槽中。

10.如权利要求1至9任意一项中所述的菲林玻璃光罩，其特征在于，所述折射镜设有若干，若干所述折射镜沿所述透光区的边缘依次排布。

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