CN214950427U - 一种硅片用流转式烘干装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域,尤其是涉及一种硅片用流转式烘干装置,包括机架、流转机构、传输机构和夹持机构,所述流转机构用于供硅片放置后流转等待烘干,所述传输机构用于运输硅片,所述夹持机构用于夹持硅片,使硅片在流转机构和传输机构之间转移,所述流转机构、传输机构和夹持机构均安装在机架内,所述传输机构和夹持机构还均位于流转机构内,所述夹持机构位于传输机构上方,实现了硅片干燥过程中自动进料和出料,通过流转机构实现了硅片在烘干装置的机架内的停留烘干,通过夹持机构将硅片在流转机构和传输机构之间的上料和下料,无需人工摆放与拿取,降低了硅片生产过程中的劳动强度,提高了自动化程度和生产效率。

Description

一种硅片用流转式烘干装置
技术领域
本实用新型涉及硅片生产设备技术领域,尤其是涉及一种硅片用流转式烘干装置。
背景技术
HIT太阳能光伏电池是以光照射侧的p/i型a-Si膜和背面侧的i/n型a-Si膜夹住单结晶硅片来构成的。HIT太阳能光伏电池基板以硅基板为主,在硅基板上沉积高能隙的硅纳米薄膜,表层再沉积透明导电膜,背面设有背表面电场。通过优化硅的表面结构,可以降低透明导电氧化层和a-Si层的光学吸收损耗。
HIT太阳能光伏电池制备时,硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干,现在硅片的生产中对硅片的干燥,需要人工将硅片分散在干燥设备中进行干燥,干燥结束后,再由人工将其取出,无法自动上下料,劳动强度大,也无法连续生产,降低了硅片的干燥效率,同时干燥效果差,影响硅片下一工序的加工。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:为了克服现有技术中烘干设备自动化程度低和烘干效率低的问题,提供一种硅片用流转式烘干装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种硅片用流转式烘干装置,包括机架、流转机构、传输机构和夹持机构,所述流转机构用于供硅片放置后流转等待烘干,所述传输机构用于运输硅片,所述夹持机构用于夹持硅片,使硅片在流转机构和传输机构之间转移,所述流转机构、传输机构和夹持机构均安装在机架内,所述传输机构和夹持机构还均位于流转机构内,所述夹持机构位于传输机构上方,将传输机构和夹持机构安装在流转机构内的设计,能够减少烘干装置的体积,提高空间利用率。
为了解决待烘干硅片在烘干装置内停留的问题,进一步包括所述流转机构包括两个流转组件和若干用于供硅片安放的托架,所述托架安装在两个流转组件之间,所述流转组件包括链条和若干链轮,所述链轮转动安装在机架内,所述链条绕经链轮,所述链轮位于链条围绕成的空腔内,所述托架和链条铰接,可在流转组件之间安装多个托架以提高单位时间烘干的硅片数量,从而进一步提高生产效率。
为了解决传输机构运输的问题,进一步包括所述传输机构包括安装架、传输滑块、传输导轨和传输气缸,所述安装架的两端均穿过机架,所述传输滑块、传输导轨和传输气缸均位于安装架内,所述传输滑块滑动安装在传输导轨上,所述传输气缸一端和传输导轨底面固定连接,所述传输气缸另一端和安装架内底面固定连接,通过传输滑块、传输导轨和传输气缸实现硅片的间隔式传输,能够将硅片架设在安装架上,便于夹持装置夹取和夹持装置放料。
为了解决硅片在传输机构和流转机构之间转移的问题,进一步包括所述夹持机构为机械爪,机械爪来夹持硅片以及适应不同尺寸的硅片。
本实用新型的有益效果是:本实用新型提供的一种硅片用流转式烘干装置,通过传输机构将硅片进行转运,实现了硅片干燥过程中自动进料和出料,通过流转机构实现了硅片在烘干装置的机架内的停留烘干,通过夹持机构将硅片在流转机构和传输机构之间的上料和下料,无需人工摆放与拿取,降低了硅片生产过程中的劳动强度,提高了自动化程度和生产效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型A-A处的剖视结构示意图。
图中:1、机架,2、流转机构,21、流转组件,211、链条,212、链轮,22、托架,3、传输机构,31、安装架,32、传输滑块,33、传输导轨,34、传输气缸,4、夹持机构。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1是本实用新型的结构示意图,一种硅片用流转式烘干装置,包括机架1、流转机构2、传输机构3和夹持机构4,所述流转机构2用于供硅片放置后流转等待烘干,所述传输机构3用于运输硅片,所述夹持机构4用于夹持硅片,使硅片在流转机构2和传输机构3之间转移,所述流转机构2、传输机构3和夹持机构4均安装在机架1内,所述传输机构3和夹持机构4还均位于流转机构2内,所述夹持机构4位于传输机构3上方,本实用新型提供的一种硅片用流转式烘干装置,通过传输机构3将硅片进行转运,实现了硅片干燥过程中自动进料和出料,通过流转机构2实现了硅片在烘干装置的机架内的停留烘干,通过夹持机构4将硅片在流转机构2和传输机构3之间的上料和下料,无需人工摆放与拿取,降低了硅片生产过程中的劳动强度,提高了自动化程度和生产效率。
如图2所示,所述流转机构2包括两个流转组件21和若干用于供硅片安放的托架22,所述托架22安装在两个流转组件21之间,所述流转组件21包括链条211和若干链轮212,所述链轮212转动安装在机架1内,所述链条211绕经链轮212,所述链轮212位于链条211围绕成的空腔内,所述托架22和链条211铰接,可在流转组件2之间安装多个托架22以提高单位时间烘干的硅片数量,从而进一步提高生产效率,通过传输滑块32、传输导轨33和传输气缸34实现硅片的间隔式传输,能够将硅片架设在安装架上,便于夹持装置4夹取和夹持装置4放料。
如图2所示,所述传输机构3包括安装架31、传输滑块32、传输导轨33和传输气缸34,所述安装架31的两端均穿过机架1,所述传输滑块32、传输导轨33和传输气缸34均位于安装架31内,所述传输滑块32滑动安装在传输导轨33上,所述传输气缸34一端和传输导轨33底面固定连接,所述传输气缸34另一端和安装架31内底面固定连接。
如图2所示,所述夹持机构4为机械爪,机械爪来夹持硅片以及适应不同尺寸的硅片。
使用时,将硅片放置在传输机构3的安装架31的顶面,传输气缸34启动使得传输滑块32上升顶接硅片并使其脱离安装架31,传输滑块32在传输导轨33上移动完成硅片的移动,传输气缸34启动使得传输滑块32下降硅片接触安装架31并且传输滑块32脱离硅片的接触,传输滑块32复位,从而完成一次硅片的传输。
烘干装置的机架1内底面安装有热风烘干机构。
流转机构2内的链轮212和电机的输出端传动连接,链轮212转动从而使得链条211转动,托架22铰接在链条211上能够始终保持托架22放置硅片的一面朝上防止硅片掉落,当流转至另一侧指定位置后,夹持机构4将托架22上的已烘干的硅片夹取放置在传输机构3上运输处烘干装置。
机架1内可安装两个夹持机构4一个将传输机构3上的硅片运输至流转机构2上,另一个流转机构2上的硅片运输至传输机构3上,同步进行提高效率。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (4)

1.一种硅片用流转式烘干装置,其特征是,包括机架(1)、流转机构(2)、传输机构(3)和夹持机构(4),所述流转机构(2)用于供硅片放置后流转等待烘干,所述传输机构(3)用于运输硅片,所述夹持机构(4)用于夹持硅片,使硅片在流转机构(2)和传输机构(3)之间转移,所述流转机构(2)、传输机构(3)和夹持机构(4)均安装在机架(1)内,所述传输机构(3)和夹持机构(4)还均位于流转机构(2)内,所述夹持机构(4)位于传输机构(3)上方。
2.如权利要求1所述的一种硅片用流转式烘干装置,其特征在于:所述流转机构(2)包括两个流转组件(21)和若干用于供硅片安放的托架(22),所述托架(22)安装在两个流转组件(21)之间,所述流转组件(21)包括链条(211)和若干链轮(212),所述链轮(212)转动安装在机架(1)内,所述链条(211)绕经链轮(212),所述链轮(212)位于链条(211)围绕成的空腔内,所述托架(22)和链条(211)铰接。
3.如权利要求1所述的一种硅片用流转式烘干装置,其特征在于:所述传输机构(3)包括安装架(31)、传输滑块(32)、传输导轨(33)和传输气缸(34),所述安装架(31)的两端均穿过机架(1),所述传输滑块(32)、传输导轨(33)和传输气缸(34)均位于安装架(31)内,所述传输滑块(32)滑动安装在传输导轨(33)上,所述传输气缸(34)一端和传输导轨(33)底面固定连接,所述传输气缸(34)另一端和安装架(31)内底面固定连接。
4.如权利要求1所述的一种硅片用流转式烘干装置,其特征在于:所述夹持机构(4)为机械爪。
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