CN214937773U - 一种优质合金靶材低真空氛围制备系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种优质合金靶材低真空氛围制备系统，包括烧结炉体，所述烧结炉体的两个内壁下端开设有滑槽，两个所述滑槽内滑动连接有滑台，所述滑槽为阶梯槽，所述滑台为阶梯台，所述滑台的以矩阵的形式安装有若干合金粉末热压模具组件；该优质合金靶材低真空氛围制备系统，通过把滑台设置成台阶状，并把推拉把手设置在烧结炉体的外边，在靶材本体烧结完毕后，可手动的拉动推拉把手，利用滑台在滑槽内滑动，可快速把靶材本体从烧结炉体内取出，无需在烧结炉体内空冷一段时间在拉出，且滑台上一次可装入若干个待烧结的靶材，极大了提高了靶材烧结速度，也避免烧结炉热源的浪费问题。
Description
技术领域
本实用新型属于靶材加工设备技术领域，具体涉及一种优质合金靶材低真空氛围制备系统。
背景技术
靶材烧结炉主要适用于靶材的高温烧结工艺。靶材主要应用于电子及信息产业，不论是半导体集成电路、记录介质还是平面显示、工件表面涂装都得到广泛的应用，是一种高附加值的功能材料，随着我国电子信息产业的迅速发展，我国已逐渐成为世界上靶材的最大需求国家之一。烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。
现在使用的烧结炉，在烧结完毕后，需要把靶材放在烧结炉中空冷一段时间才能把整个靶材热压模具从烧结炉中取出，且烧结炉一次只能放入一个靶材，不能一次放入多个靶材进行烧结，极大浪费了资源，烧结效率低下，故推出一种优质合金靶材低真空氛围制备系统来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种优质合金靶材低真空氛围制备系统，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种优质合金靶材低真空氛围制备系统，包括烧结炉体，所述烧结炉体的两个内壁下端开设有滑槽，两个所述滑槽内滑动连接有滑台，所述滑槽为阶梯槽，所述滑台为阶梯台，所述滑台的以矩阵的形式安装有若干合金粉末热压模具组件；
所述滑台的底部两端等距离的设有若干滚轮，所述烧结炉体的两内壁前后对称设置有支撑板，且前后支撑板之间从上至下等距离的安装有若干加热丝；
所述烧结炉体顶部一端安装有真空泵，所述真空泵上连接有抽真空主管，所述抽真空主管设置在烧结炉体的顶部中间位置处，所述抽真空主管的下端连接有伸入至烧结炉体的吸气管，所述吸气管的下端连接有若干吸气头。
优选的，所述抽真空主管的两端安装有支撑卡箍，所述支撑卡箍通过螺栓固定螺接在烧结炉体的顶部。
优选的，所述合金粉末热压模具组件包括对称设置在滑台上的两个支撑腿，且两个支撑腿的顶部设有模套，所述模套内放置有靶材本体。
优选的，两个所述支撑腿的顶部设有立柱，两个立柱之间设有横板，两个所述支撑腿的内壁之间设有底板，所述横板上螺接有第一螺杆，所述第一螺杆的下端通过转轴连接有上压板，所述底板上螺接有第二螺杆，所述第二螺杆的上端通过轴承连接有下压板。
优选的，所述靶材本体的顶部设有粉末热压上模，所述靶材本体的底部设有粉末热压下模，所述粉末热压上模位于上压板的下端，所述粉末热压下模位于下压板的上方。
优选的，所述横板的顶部两端还对称螺接有第三螺杆，所述第三螺杆的下端转动连接有位于模套顶部且位于上压板外侧的隔板。
优选的，所述烧结炉体的两侧对称铰链连接有密封门。
优选的，所述滑台的底部最前端向外延伸的设有推拉把手，所述推拉把手和水平面的夹角为六十度。
本实用新型的技术效果和优点：该优质合金靶材低真空氛围制备系统，通过把滑台设置成台阶状，并把推拉把手设置在烧结炉体的外边，在靶材本体烧结完毕后，可手动的拉动推拉把手，利用滑台在滑槽内滑动，可快速把靶材本体从烧结炉体内取出，无需在烧结炉体内空冷一段时间在拉出，且滑台上一次可装入若干个待烧结的靶材，极大了提高了靶材烧结速度，也避免烧结炉热源的浪费问题。
本实用新型通过启动真空泵、利用抽真空主管、吸气管和吸气头能对烧结炉体进行抽真空工作。
本实用新型在使用前需要把靶材本体放置在模套内，模套和靶材本体的接触面间填充有合金粉末，之后再把粉末热压上模放置在靶材本体的上方，把粉末热压下模放置在靶材本体的下方，通过对应旋转第一螺杆和第二螺杆，可调节上压板和下压板的位置，利用上压板和下压板对靶材本体进行预热紧压工作，同时通过旋转第三螺杆，调节两侧隔板的位置，利用隔板对靶材本体进行辅助夹紧工作。
当靶材本体在烧结前预压紧后，通过利用若干加热丝对烧结炉体进行加热烧结工作即可。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的图1中的A处放大结构示意图；
图3为本实用新型侧视示意图。
图中：1、烧结炉体；2、滑槽；3、滑台；4、合金粉末热压模具组件；41、模套；42、靶材本体；43、支撑腿；44、立柱；45、横板；46、底板；47、第一螺杆；48、上压板；49、第二螺杆；410、下压板；411、粉末热压上模；412、粉末热压下模；413、隔板；414、第三螺杆；5、滚轮；6、支撑板；7、加热丝；8、真空泵；9、抽真空主管；10、支撑卡箍；11、吸气头；12、密封门；13、推拉把手；14、吸气管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，除非另有说明，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶部”、“底部”等指示的方位或状态关系为基于附图所示的方位或状态关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的机构或部件必须具有的特定方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
本实用新型提供了如图1-3所示的一种优质合金靶材低真空氛围制备系统，包括烧结炉体1，所述烧结炉体1的两个内壁下端开设有滑槽2，两个所述滑槽2内滑动连接有滑台3，所述滑槽2为阶梯槽，所述滑台3为阶梯台，所述滑台3的以矩阵的形式安装有若干合金粉末热压模具组件4；
所述滑台3的底部两端等距离的设有若干滚轮5，所述烧结炉体1的两内壁前后对称设置有支撑板6，且前后支撑板之间从上至下等距离的安装有若干加热丝7；
所述烧结炉体1顶部一端安装有真空泵8，所述真空泵8上连接有抽真空主管9，所述抽真空主管9设置在烧结炉体1的顶部中间位置处，所述抽真空主管9的下端连接有伸入至烧结炉体1的吸气管14，所述吸气管14的下端连接有若干吸气头11。
具体的，所述抽真空主管9的两端安装有支撑卡箍10，所述支撑卡箍10通过螺栓固定螺接在烧结炉体1的顶部。
具体的，所述合金粉末热压模具组件4包括对称设置在滑台3上的两个支撑腿43，且两个支撑腿43的顶部设有模套41，所述模套41内放置有靶材本体42。
具体的，两个所述支撑腿43的顶部设有立柱44，两个立柱44之间设有横板45，两个所述支撑腿43的内壁之间设有底板46，所述横板45上螺接有第一螺杆47，所述第一螺杆47的下端通过转轴连接有上压板48，所述底板46上螺接有第二螺杆49，所述第二螺杆49的上端通过轴承连接有下压板410，所述靶材本体42的顶部设有粉末热压上模411，所述靶材本体42的底部设有粉末热压下模412，所述粉末热压上模411位于上压板48的下端，所述粉末热压下模412位于下压板410的上方。
具体的，所述横板45的顶部两端还对称螺接有第三螺杆414，所述第三螺杆414的下端转动连接有位于模套41顶部且位于上压板48外侧的隔板413，通过旋转第三螺杆414，调节两侧隔板413的位置，利用隔板413对靶材本体42进行辅助夹紧工作。
具体的，所述烧结炉体1的两侧对称铰链连接有密封门12，设置密封门12，在对靶材进行烧结时，可使得烧结炉体1处于一个密封的状态。
具体的，所述滑台3的底部最前端向外延伸的设有推拉把手13，所述推拉把手13和水平面的夹角为六十度。
具体使用时，通过把滑台3设置成台阶状，并把推拉把手13设置在烧结炉体1的外边，在靶材本体42烧结完毕后，可手动的拉动推拉把手13，利用滑台3在滑槽2内滑动，可快速把靶材本体42从烧结炉体1内取出，无需在烧结炉体1内空冷一段时间在拉出。
本实用新型通过启动真空泵8、利用抽真空主管9、吸气管14和吸气头11能对烧结炉体1进行抽真空工作。
本实用新型在使用前需要把靶材本体42放置在模套41内，模套41和靶材本体42的接触面间填充有合金粉末，之后再把粉末热压上模411放置在靶材本体42的上方，把粉末热压下模412放置在靶材本体42的下方，通过对应旋转第一螺杆47和第二螺杆49，可调节上压板8和下压板410的位置，利用上压板8和下压板410对靶材本体42进行预热紧压工作。
当靶材本体42在烧结前预压紧后，通过利用若干加热丝7对烧结炉体1进行加热烧结工作即可。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种优质合金靶材低真空氛围制备系统，包括烧结炉体(1)，所述烧结炉体(1)的两个内壁下端开设有滑槽(2)，其特征在于：两个所述滑槽(2)内滑动连接有滑台(3)，所述滑槽(2)为阶梯槽，所述滑台(3)为阶梯台，所述滑台(3)的以矩阵的形式安装有若干合金粉末热压模具组件(4)；
所述滑台(3)的底部两端等距离的设有若干滚轮(5)，所述烧结炉体(1)的两内壁前后对称设置有支撑板(6)，且前后支撑板之间从上至下等距离的安装有若干加热丝(7)；
所述烧结炉体(1)顶部一端安装有真空泵(8)，所述真空泵(8)上连接有抽真空主管(9)，所述抽真空主管(9)设置在烧结炉体(1)的顶部中间位置处，所述抽真空主管(9)的下端连接有伸入至烧结炉体(1)的吸气管(14)，所述吸气管(14)的下端连接有若干吸气头(11)。
2.根据权利要求1所述的一种优质合金靶材低真空氛围制备系统，其特征在于：所述抽真空主管(9)的两端安装有支撑卡箍(10)，所述支撑卡箍(10)通过螺栓固定螺接在烧结炉体(1)的顶部。
3.根据权利要求1所述的一种优质合金靶材低真空氛围制备系统，其特征在于：所述合金粉末热压模具组件(4)包括对称设置在滑台(3)上的两个支撑腿(43)，且两个支撑腿(43)的顶部设有模套(41)，所述模套(41)内放置有靶材本体(42)。
4.根据权利要求3所述的一种优质合金靶材低真空氛围制备系统，其特征在于：两个所述支撑腿(43)的顶部设有立柱(44)，两个立柱(44)之间设有横板(45)，两个所述支撑腿(43)的内壁之间设有底板(46)，所述横板(45)上螺接有第一螺杆(47)，所述第一螺杆(47)的下端通过转轴连接有上压板(48)，所述底板(46)上螺接有第二螺杆(49)，所述第二螺杆(49)的上端通过轴承连接有下压板(410)。
5.根据权利要求4所述的一种优质合金靶材低真空氛围制备系统，其特征在于：所述靶材本体(42)的顶部设有粉末热压上模(411)，所述靶材本体(42)的底部设有粉末热压下模(412)，所述粉末热压上模(411)位于上压板(48)的下端，所述粉末热压下模(412)位于下压板(410)的上方。
6.根据权利要求4所述的一种优质合金靶材低真空氛围制备系统，其特征在于：所述横板(45)的顶部两端还对称螺接有第三螺杆(414)，所述第三螺杆(414)的下端转动连接有位于模套(41)顶部且位于上压板(48)外侧的隔板(413)。
7.根据权利要求1所述的一种优质合金靶材低真空氛围制备系统，其特征在于：所述烧结炉体(1)的两侧对称铰链连接有密封门(12)。
8.根据权利要求1所述的一种优质合金靶材低真空氛围制备系统，其特征在于：所述滑台(3)的底部最前端向外延伸的设有推拉把手(13)，所述推拉把手(13)和水平面的夹角为六十度。
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Denomination of utility model: A Low Vacuum Atmosphere Preparation System for High Quality Alloy Target Materials Granted publication date: 20211130 Pledgee: China Construction Bank Zhangzhou Hua'an Branch Pledgor: Zhangzhou Heqi target Technology Co.,Ltd. Registration number: Y2024980005076 |
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