CN214898346U - 一种uv解胶机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种UV解胶机，包括机器本体、安装外壳和放置托盘，机器本体的一侧固定安装有安装外壳，安装外壳的底部固定连接有设备箱，安装外壳的内壁转动连接有放置托盘，放置托盘的底部固定连接有连接柱，连接柱与设备箱的内底壁转动连接，连接柱的一侧设有驱动部，安装外壳的上表面分别开设有进料洞口和出料洞口，出料洞口的一侧设有移动机构，出料洞口的下方设有推动机构。本实用新型通过放置托盘和驱动部的设置，在使用时，人员可将料环通过进料洞口处放入放置托盘内，通过驱动部转动将放置托盘上的晶圆依次转入机器本体内进行解胶处理，这样相比现有的解胶工序，可提升生产效率，节省该工序操作时间，方便人员使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及解胶剂技术领域，具体为一种UV解胶机。
背景技术
在半导体芯片生产工艺中，芯片划片之前，要将晶圆片用划片胶膜固定在框架上，在划片工艺完成后，用UV光对固定胶膜进行照射，以降低划片固定膜的粘性，以便后续封装工序的顺利生产。
现有的工艺中，UV膜解胶过程一般由人工操作。人员打开UV机舱门，将载有UV膜和芯片的料环放入UV机，关闭UV机舱门，启动UV解胶程序，UV机内的UV光源开始对料环上的UV膜进行解胶，人员在UV机旁边等待UV过程，待解胶完成，人员将UV机舱门打开，将料环从UV机中取出。这一过程依赖人工，而且操作人员要消耗大量工时在UV机旁边等待，人员利用率低，生产效率低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种UV解胶机以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种UV解胶机，包括机器本体、安装外壳和放置托盘，所述机器本体的一侧固定安装有安装外壳，所述安装外壳的底部固定连接有设备箱，所述安装外壳的内壁转动连接有放置托盘，所述放置托盘的底部固定连接有连接柱，所述连接柱与设备箱的内底壁转动连接，所述连接柱的一侧设有驱动部，安装外壳的上表面分别开设有进料洞口和出料洞口，所述出料洞口的一侧设有移动机构，所述出料洞口的下方设有推动机构。
优选的，所述驱动部包括驱动电机、皮带轮和传动带，所述驱动电机的输出端和连接柱的表面均设有皮带轮，所述皮带轮之间传动连接有传动带。
优选的，所述移动机构包括支撑架、安装电机、内转盘、外转盘、第一联动杆、第二联动杆、第三联动杆、T形架和真空吸盘，所述支撑架的顶部固定连接有安装电机，所述安装电机的输出端固定连接有内转盘，所述内转盘的边缘转动连接有外转盘，所述外转盘的一侧与支撑架之间转动连接有第一联动杆、所述第一联动杆远离外转盘的一端固定连接有第二联动杆，所述第二联动杆的顶部转动连接有T形架，所述T形架远离第二联动杆的一端转动连接有第三联动杆，所述第三联动杆的底部与内转盘固定连接，所述T形架的底部设有真空吸盘。
优选的，所述推动机构包括连接件、支撑杆、推板、连接杆和电推杆，所述连接件的中部转动连接有支撑杆，所述支撑杆的顶部设有推板，所述支撑杆远离连接件的一端转动连接有连接杆，所述连接杆远离支撑杆的一端设有电推杆。
优选的，所述放置托盘的表面设有放置部，所述放置部的数量为四个，四个所述放置部之间均设有弧形隔板。
优选的，所述安装外壳的内底壁固定连接有托块，所述托块与连接杆相适配。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型通过放置托盘和驱动部的设置，在使用时，人员可将料环通过进料洞口处放入放置托盘内，通过驱动部转动将放置托盘上的晶圆依次转入机器本体内进行解胶处理，这样相比现有的解胶工序，可提升生产效率，节省该工序操作时间，方便人员使用。
2、本实用新型通过推动机构和移动机构的设置，当料环解胶结束后转动至出料洞口处时，推动机构将料环抬起，同时移动机构将出料洞口内以处理完成的料环取出并移出，这样，可有效的代替人工取出已完成处理的料环。
附图说明
图1为本实用新型整体的立体结构示意图；
图2为本实用新型安装外壳的正视剖面结构示意图；
图3为本实用新型推动机构的结构示意图；
图4为本实用新型放置托盘的结构示意图；
图5为本实用新型图1中A处的结构示意图。
图中：1、机器本体；2、安装外壳；3、放置托盘；4、设备箱；5、连接柱；6、驱动部；601、驱动电机；602、皮带轮；603、传动带；7、进料洞口；8、出料洞口；9、移动机构；901、支撑架；902、安装电机；903、内转盘；904、外转盘；905、第一联动杆；906、第二联动杆；907、第三联动杆；908、T形架；909、真空吸盘；10、推动机构；1001、连接件；1002、支撑杆；1003、推板；1004、连接杆；1005、电推杆；11、放置部。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种UV解胶机，包括机器本体1、安装外壳2和放置托盘3，机器本体1的一侧固定安装有安装外壳2，安装外壳2的底部固定连接有设备箱4，安装外壳2的内壁转动连接有放置托盘3，放置托盘3的表面设有放置部11，放置部11的数量为四个，四个放置部11之间均设有弧形隔板，放置托盘3的底部固定连接有连接柱5，连接柱5与设备箱4的内底壁转动连接，连接柱5的一侧设有驱动部6，驱动部6包括驱动电机601、皮带轮602和传动带603，驱动电机601的输出端和连接柱5的表面均设有皮带轮602，皮带轮602之间传动连接有传动带603，通过放置托盘3和驱动部6的设置，在使用时，人员可将料环通过进料洞口7处放入放置托盘3内，通过驱动部6转动将放置托盘3上的晶圆依次转入机器本体1内进行解胶处理，这样相比现有的解胶工序，可提升生产效率，节省该工序操作时间，方便人员使用，安装外壳2的上表面分别开设有进料洞口7和出料洞口8，出料洞口8的一侧设有移动机构9，移动机构9包括支撑架901、安装电机902、内转盘903、外转盘904、第一联动杆905、第二联动杆906、第三联动杆907、T形架908和真空吸盘909，支撑架901的顶部固定连接有安装电机902，安装电机902的输出端固定连接有内转盘903，所述内转盘903为偏心轮，内转盘903的边缘转动连接有外转盘904，外转盘904的一侧与支撑架901之间转动连接有第一联动杆905、第一联动杆905远离外转盘904的一端固定连接有第二联动杆906，第二联动杆906的顶部转动连接有T形架908，T形架908远离第二联动杆906的一端转动连接有第三联动杆907，第三联动杆907的底部与内转盘903固定连接，T形架908的底部设有真空吸盘909，出料洞口8的下方设有推动机构10，推动机构10包括连接件1001、支撑杆1002、推板1003、连接杆1004和电推杆1005，连接件1001的中部转动连接有支撑杆1002，支撑杆1002的顶部设有推板1003，支撑杆1002远离连接件1001的一端转动连接有连接杆1004，安装外壳2的内底壁固定连接有托块，托块与连接杆1004相适配，连接杆1004远离支撑杆1002的一端设有电推杆1005，通过推动机构10和移动机构9的设置，当料环解胶结束后转动至出料洞口8处时，推动机构10将料环抬起，同时移动机构9将出料洞口8内以处理完成的料环取出并移出，这样，可有效的代替人工取出已完成处理的料环。
工作原理：在使用时，人员可将所需要解胶处理的料环放入放置托盘3上的放置部11内，同时启动驱动部6，使驱动电机601带动放置托盘3转动，转动的放置托盘3可依次将放置部11内的料盘转入机器本体1内进行解胶处理，当解胶处理完成后，料环转至在出料洞口8处时，电推杆1005推动支撑杆1002转动，使推板1003向上位移，将其顶部的料环推起，同时，安装电机902带动真空吸盘909做往复运动，可将出料洞口8内的料环吸出并移出，进而达到下料的目的。
综上，本实用新型通过放置托盘3和驱动部6的设置，在使用时，人员可将料环通过进料洞口7处放入放置托盘3内，通过驱动部6转动将放置托盘3上的晶圆依次转入机器本体1内进行解胶处理，这样相比现有的解胶工序，可提升生产效率，节省该工序操作时间，方便人员使用，通过推动机构10和移动机构9的设置，当料环解胶结束后转动至出料洞口8处时，推动机构10将料环抬起，同时移动机构9将出料洞口8内以处理完成的料环取出并移出，这样，可有效的代替人工取出已完成处理的料环。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种UV解胶机，包括机器本体(1)、安装外壳(2)和放置托盘(3)，其特征在于：所述机器本体(1)的一侧固定安装有安装外壳(2)，所述安装外壳(2)的底部固定连接有设备箱(4)，所述安装外壳(2)的内壁转动连接有放置托盘(3)，所述放置托盘(3)的底部固定连接有连接柱(5)，所述连接柱(5)与设备箱(4)的内底壁转动连接，所述连接柱(5)的一侧设有驱动部(6)，安装外壳(2)的上表面分别开设有进料洞口(7)和出料洞口(8)，所述出料洞口(8)的一侧设有移动机构(9)，所述出料洞口(8)的下方设有推动机构(10)。
2.根据权利要求1所述的一种UV解胶机，其特征在于：所述驱动部(6)包括驱动电机(601)、皮带轮(602)和传动带(603)，所述驱动电机(601)的输出端和连接柱(5)的表面均设有皮带轮(602)，所述皮带轮(602)之间传动连接有传动带(603)。
3.根据权利要求1所述的一种UV解胶机，其特征在于：所述移动机构(9)包括支撑架(901)、安装电机(902)、内转盘(903)、外转盘(904)、第一联动杆(905)、第二联动杆(906)、第三联动杆(907)、T形架(908)和真空吸盘(909)，所述支撑架(901)的顶部固定连接有安装电机(902)，所述安装电机(902)的输出端固定连接有内转盘(903)，所述内转盘(903)的边缘转动连接有外转盘(904)，所述外转盘(904)的一侧与支撑架(901)之间转动连接有第一联动杆(905)，所述第一联动杆(905)远离外转盘(904)的一端固定连接有第二联动杆(906)，所述第二联动杆(906)的顶部转动连接有T形架(908)，所述T形架(908)远离第二联动杆(906)的一端转动连接有第三联动杆(907)，所述第三联动杆(907)的底部与内转盘(903)固定连接，所述T形架(908)的底部设有真空吸盘(909)。
4.根据权利要求1所述的一种UV解胶机，其特征在于：所述推动机构(10)包括连接件(1001)、支撑杆(1002)、推板(1003)、连接杆(1004)和电推杆(1005)，所述连接件(1001)的中部转动连接有支撑杆(1002)，所述支撑杆(1002)的顶部设有推板(1003)，所述支撑杆(1002)远离连接件(1001)的一端转动连接有连接杆(1004)，所述连接杆(1004)远离支撑杆(1002)的一端设有电推杆(1005)。
5.根据权利要求1所述的一种UV解胶机，其特征在于：所述放置托盘(3)的表面设有放置部(11)，所述放置部(11)的数量为四个，四个所述放置部(11)之间均设有弧形隔板。
6.根据权利要求1所述的一种UV解胶机，其特征在于：所述安装外壳(2)的内底壁固定连接有托块，所述托块与连接杆(1004)相适配。
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