CN214863584U - 一种可拆卸式喷嘴结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶体炉技术领域，公开了一种可拆卸式喷嘴结构，包括喷嘴本体，喷嘴本体的中心设有介质通道，喷嘴本体的上端侧面设有若干与介质通道连通的喷流孔，喷嘴本体的中间部位设有法兰，法兰上设有法兰孔，法兰的上端面上设有环形槽，环形槽内设有端面密封圈，喷嘴本体的外侧面位于喷流孔的下侧设有若干密封圈槽，每个密封圈槽内均设有环形密封圈，喷嘴本体的下端连接有进气管，喷嘴本体与进气管之间可拆卸连接。本实用新型安装、拆卸均非常方便，而且密封性能好，能有效防止炉灰堵塞喷流孔；炉体在搬运时以及喷嘴堵塞需要清理时，都能方便的拆卸下喷嘴。

Description

一种可拆卸式喷嘴结构

技术领域

本实用新型涉及晶体炉技术领域，尤其涉及一种可拆卸式喷嘴结构。

背景技术

晶体炉是生产单晶硅、多晶硅、碳化硅的的制造设备。主要由炉体、加热器、计算机控制系统、设备框架、真空抽气系统等部分组成。晶体炉使用前需要通过真空抽气系统将炉体内部的气体抽调，然后通过喷嘴向炉体内冲入惰性气体，通常喷嘴直接焊接在炉体底部，喷嘴的下端伸出炉体外与充气管连接，焊接后的喷嘴难以拆卸，炉体在搬运的过程中喷嘴容易被磕损，而且喷嘴堵塞后难以拆卸清理。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术中的喷嘴与晶体炉底部焊接难以拆卸、喷嘴堵塞难以清理的问题，提供了一种可拆卸式喷嘴结构，晶体炉在搬运前可以快速拆卸喷嘴，防止喷嘴磕损，喷嘴堵塞后也能拆卸下来清理。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种可拆卸式喷嘴结构，包括喷嘴本体，所述喷嘴本体的中心设有介质通道，所述喷嘴本体的上端侧面设有若干与介质通道连通的喷流孔，所述喷嘴本体的中间部位设有法兰，所述法兰上设有法兰孔，所述法兰的上端面上设有环形槽，所述环形槽内设有端面密封圈，喷嘴本体的外侧面位于喷流孔的下侧设有若干密封圈槽，每个密封圈槽内均设有环形密封圈，所述喷嘴本体的下端连接有进气管，所述喷嘴本体与进气管之间可拆卸连接。晶体炉的底部设有通孔，喷嘴本体的上端穿过通孔伸入炉体内部，法兰孔用螺栓与晶体炉的底部固定，环形密封圈实现喷嘴本体与通孔之间的密封，端面密封圈实现法兰上端面与炉体底面的二次密封，进气管与喷嘴本体的下端连接，通过进气管向炉体内部通入惰性气体；当炉体搬运时，可以将喷嘴拆卸来再进行搬运，防止喷嘴磕损，当喷流孔堵塞时（炉体底部存在物料残渣、炉灰等），也可以拆卸下来清理。

作为优选，所述喷嘴本体的下端设有下卡接凸环，所述进气管的上端设有上卡接凸环，所述下卡接凸环与上卡接凸环的外侧设有卡箍。喷嘴本体与进气管之间通过卡箍连接，连接、拆卸均非常方便。

作为优选，所述上卡接凸环与下卡接凸环之间设有骨架密封圈。骨架密封圈起到支撑、密封的作用。

作为优选，所述喷嘴本体的上端面上设有贯穿喷流孔的环形深槽，所述环形深槽内嵌设有环形滤网，所述喷嘴本体的上端面上设有垫片，所述垫片的中心设有与喷嘴本体上端面连接的锁紧螺栓。每个喷流孔的内外之间均被环形滤网隔离，防止炉灰进入喷流孔内而造成堵塞。

作为优选，所述介质通道的下端设有滤芯。滤芯对进入炉体内的惰性气体进行过滤，防止惰性气体中的杂质进入炉体内。

因此，本实用新型安装、拆卸均非常方便，而且密封性能好，能有效防止炉灰堵塞喷流孔；炉体在搬运时以及喷嘴堵塞需要清理时，都能方便的拆卸下喷嘴。

附图说明

图1为本实用新型与晶体炉的连接。

图2为图1中A处局部放大图。

图3 为图2中B处局部放大图。

图中：喷嘴本体1、介质通道100、下卡接凸环101、喷流孔2、法兰3、法兰孔30、端面密封圈4、环形密封圈5、进气管6、上卡接凸环60、卡箍7、骨架密封圈8、滤芯9、环形深槽10、环形滤网11、垫片12、锁紧螺栓13、晶体炉14。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述：

如图1和图2所示的一种可拆卸式喷嘴结构，包括喷嘴本体1，喷嘴本体1的中心设有介质通道100，喷嘴本体1的上端侧面设有若干与介质通道连通的喷流孔2，喷嘴本体1的中间部位设有法兰3，法兰3上设有法兰孔30，法兰3的上端面上设有环形槽，环形槽内设有端面密封圈4，喷嘴本体1的外侧面位于喷流孔2的下侧设有两道密封圈槽，每个密封圈槽内均设有环形密封圈5，喷嘴本体的下端连接有进气管6，喷嘴本体1与进气管6之间可拆卸连接；喷嘴本体1的下端设有下卡接凸环101，进气管6的上端设有上卡接凸环60，下卡接凸环与上卡接凸环的外侧设有卡箍7，上卡接凸环与下卡接凸环之间设有骨架密封圈8，介质通道100的下端设有滤芯9。

如图3所示，喷嘴本体1的上端面上设有贯穿喷流孔的环形深槽10，环形深槽内嵌设有环形滤网11，喷嘴本体1的上端面上设有垫片12，垫片12的中心设有与喷嘴本体上端面连接的锁紧螺栓13。

结合附图，本实用新型的原理如下：如图2所示，晶体炉14的底部设有通孔，喷嘴本体1的上端穿过通孔伸入炉体内部，法兰孔通过螺栓与晶体炉的底部固定，两道环形密封圈5实现喷嘴本体1与通孔之间的密封，端面密封圈4实现法兰上端面与炉体底面的二次密封，进气管6与喷嘴本体1的下端之间通过卡箍7连接，通过进气管向炉体内部通入惰性气体，环形滤网能防止炉灰堵塞喷流孔，滤芯对进入炉体内的气体进行过滤；当炉体搬运时，可以将喷嘴拆卸来再进行搬运，防止喷嘴磕损，当喷流孔堵塞时（炉体底部存在物料残渣、炉灰等），也可以拆卸下来清理。

以上仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的技术特征并不局限于此。任何以本实用新型为基础，为解决基本相同的技术问题，实现基本相同的技术效果，所作出的简单变化、等同替换或者修饰等，皆涵盖于本实用新型的保护范围之中。

Claims (5)

1.一种可拆卸式喷嘴结构，其特征是，包括喷嘴本体，所述喷嘴本体的中心设有介质通道，所述喷嘴本体的上端侧面设有若干与介质通道连通的喷流孔，所述喷嘴本体的中间部位设有法兰，所述法兰上设有法兰孔，所述法兰的上端面上设有环形槽，所述环形槽内设有端面密封圈，喷嘴本体的外侧面位于喷流孔的下侧设有若干密封圈槽，每个密封圈槽内均设有环形密封圈，所述喷嘴本体的下端连接有进气管，所述喷嘴本体与进气管之间可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的一种可拆卸式喷嘴结构，其特征是，所述喷嘴本体的下端设有下卡接凸环，所述进气管的上端设有上卡接凸环，所述下卡接凸环与上卡接凸环的外侧设有卡箍。

3.根据权利要求2所述的一种可拆卸式喷嘴结构，其特征是，所述上卡接凸环与下卡接凸环之间设有骨架密封圈。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种可拆卸式喷嘴结构，其特征是，所述喷嘴本体的上端面上设有贯穿喷流孔的环形深槽，所述环形深槽内嵌设有环形滤网，所述喷嘴本体的上端面上设有垫片，所述垫片的中心设有与喷嘴本体上端面连接的锁紧螺栓。

5.根据权利要求1所述的一种可拆卸式喷嘴结构，其特征是，所述介质通道的下端设有滤芯。

Images