CN214863420U - 一种半导体用的特殊气体反应装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及特殊气体反应装置技术领域，且公开了一种半导体用的特殊气体反应装置，包括反应装置罐体，所述反应装置罐体的顶部焊接安装有电机固定盒，所述电机固定盒的一侧活动安装有电机开关，所述电机开关的一侧活动安装有位于电机固定盒另一侧的固定盒门，所述固定盒门的外表面焊接安装有门把手，所述门把手的顶部焊接安装有电机，本装置通过安装电机、电机开关等零件可直接通过开始电机开关即可对反应装置罐体内部的气体进行反应，工作时将注气管和出气管阀门关闭，无需复杂的操作流程即可完成，注气管共设有三处，可同时注入三种不同气体进行反应，且扇片可通过拆卸螺杆进行更换，且本装置设有密封橡胶圈和阀门，工作时可防止气体溢出。

Description

一种半导体用的特殊气体反应装置

技术领域

本实用新型涉及特殊气体反应装置技术领域，具体为一种半导体用的特殊气体反应装置。

背景技术

掺杂气体，气体工业名词，在半导体器件和集成电路制造中，将某种或某些杂质掺入半导体材料内，以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率，用来制造PN结，电阻，埋层等，掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体，现有的半导体用特殊气体反应装置，一般都是较为精密的仪器，操作复杂，且无法根据使用者的需求进行操作。

现有的技术存在以下问题：

1、现有的半导体用特殊气体反应装置，一般常见的都是较为精密的仪器，不适合大众使用。

2、现有的半导体用特殊气体反应装置，无法实现多种气体混合反应，且无法根据使用者需求跟换零件。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体用的特殊气体反应装置，具备使用简单易懂、可多种气体反应和可更换零件等优点，解决了使复杂、不可多种气体反应和不可更换零件的问题。

(二)技术方案

为实现上述一种半导体用的特殊气体反应装置目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体用的特殊气体反应装置，包括反应装置罐体，所述反应装置罐体的顶部焊接安装有电机固定盒，所述电机固定盒的一侧活动安装有电机开关，所述电机开关的一侧活动安装有位于电机固定盒另一侧的固定盒门，所述固定盒门的外表面焊接安装有门把手，所述门把手的顶部焊接安装有电机，所述电机的底部活动安装有转动杆，所述转动杆的一侧活动安装有第一蓄电池，所述第一蓄电池的一侧活动安装有位于转动杆另一侧的第二蓄电池，所述第二蓄电池的底部开设有位于转动杆底部的固定槽，所述固定槽的内部可拆卸安装有螺杆，所述螺杆的内部可拆卸安装有位于固定槽内部的扇片固定杆，所述扇片固定杆的底部固定安装有扇片，所述扇片的一侧开设有位于反应装置罐体内壁的第一闭合螺纹，所述第一闭合螺纹的一侧粘接安装有位于反应装置罐体一侧的橡胶圈，所述橡胶圈的一侧可拆卸安装有罐盖，所述罐盖的一侧开设有第二螺纹，所述第二螺纹的一侧焊接安装有位于罐盖另一侧的注气管密封盘，所述注气管密封盘的一侧焊接安装有第一注气管，所述第一注气管的顶部设有阀门，所述阀门的底部焊接安装有第二注气管，所述第二注气管的底部焊接安装有第三注气管，所述第三注气管的一侧焊接安装有位于反应装置罐体另一侧的出气管，所述出气管的顶部设有出气管阀门。

优选的，所述反应装置罐体的左侧安装有罐盖，右侧安装有出气管，反应装置罐体左侧内壁开设的第一闭合螺纹与罐盖右侧开设的第二螺纹相吻合。

优选的，所述电机固定盒安装在反应装置罐体的顶部，其顶部安装有电机，且电机穿过电机固定盒与转动杆连接，其内部安装有蓄电池，通过电源线与电机连接。

优选的，所述转动杆的底部开设有固定槽，固定槽大小与扇片固定杆一致，且固定槽和扇片固定杆都开设有与螺杆相吻合的安装孔。

优选的，所述罐盖通过第二螺纹安装在反应装置罐体的左侧，且连接处设有橡胶圈。

优选的，所述第一注气管通过注气管密封盘安装在罐盖的左侧，且第一注气管左侧开设有连接用螺纹，每个注气管都安装有阀门。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体用的特殊气体反应装置，具备以下有益效果：

1、该半导体用的特殊气体反应装置，通过安装反应装置罐体、电机固定盒、电机开关、扇片等零件，达到了使用简单易懂的目的，本装置通过安装电机、电机开关等零件可直接通过开始电机开关即可对反应装置罐体内部的气体进行反应操作，在工作时将注气管和出气管阀门关闭，无需复杂的操作流程即可完成。

2、该半导体用的特殊气体反应装置，通过安装罐盖、第一注气管、第二注气管、第三注气管、螺杆等零件，达到了可多种气体反应和可更换零件，注气管共设有三处，可同时注入三种不同气体进行反应，且扇片可通过拆卸螺杆进行更换，且本装置设有密封橡胶圈和阀门，工作时可防止气体溢出。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型罐体分离结构示意图；

图3为本实用新型平面内部结构示意图；

图4为本实用新型扇片固定杆结构示意图。

其中：1、反应装置罐体；2、电机固定盒；3、电机开关；4、固定盒门； 5、门把手；6、电机；7、转动杆；8、第一蓄电池；9、第二蓄电池；10、固定槽；11、螺杆；12、扇片固定杆；13、扇片；14、第一闭合螺纹；15、橡胶圈；16、罐盖；17、第二螺纹；18、注气管密封盘；19、第一注气管；20、阀门；21、第二注气管；22、第三注气管；23、出气管；24、出气管阀门。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，一种半导体用的特殊气体反应装置，包括反应装置罐体1，反应装置罐体1的左侧安装有罐盖16，右侧安装有出气管23，反应装置罐体 1左侧内壁开设的第一闭合螺纹14与罐盖16右侧开设的第二螺纹17相吻合，反应装置罐体1的顶部焊接安装有电机固定盒2，电机固定盒2安装在反应装置罐体1的顶部，其顶部安装有电机6，且电机6穿过电机固定盒2与转动杆 7连接，其内部安装有蓄电池，通过电源线与电机6连接，电机固定盒2的一侧活动安装有电机开关3，电机开关3的一侧活动安装有位于电机固定盒2另一侧的固定盒门4，固定盒门4的外表面焊接安装有门把手5，门把手5的顶部焊接安装有电机6，电机6的底部活动安装有转动杆7，转动杆7的底部开设有固定槽10，固定槽10大小与扇片固定杆12一致，且固定槽10和扇片固定杆12都开设有与螺杆11相吻合的安装孔，转动杆7的一侧活动安装有第一蓄电池8，第一蓄电池8的一侧活动安装有位于转动杆7另一侧的第二蓄电池9，第二蓄电池9的底部开设有位于转动杆7底部的固定槽10，固定槽10 的内部可拆卸安装有螺杆11，螺杆11的内部可拆卸安装有位于固定槽10内部的扇片固定杆12，扇片固定杆12的底部固定安装有扇片13，扇片13的一侧开设有位于反应装置罐体1内壁的第一闭合螺纹14，第一闭合螺纹14的一侧粘接安装有位于反应装置罐体1一侧的橡胶圈15，橡胶圈15的一侧可拆卸安装有罐盖16，罐盖16通过第二螺纹17安装在反应装置罐体1的左侧，且连接处设有橡胶圈15，罐盖16的一侧开设有第二螺纹17，第二螺纹17的一侧焊接安装有位于罐盖16另一侧的注气管密封盘18，注气管密封盘18的一侧焊接安装有第一注气管19，第一注气管19通过注气管密封盘18安装在罐盖16的左侧，且第一注气管19左侧开设有连接用螺纹，每个注气管都安装有阀门20，第一注气管19的顶部设有阀门20，阀门20的底部焊接安装有第二注气管21，第二注气管21的底部焊接安装有第三注气管22，第三注气管 22的一侧焊接安装有位于反应装置罐体1另一侧的出气管23，出气管23的顶部设有出气管阀门24。

在使用时，将罐盖16通过第二螺纹17和第一闭合螺纹14进行旋转安装，再将三处注气管安装的阀门20关闭，通过出气管23抽出反应装置罐体1内部的空气，完成后关闭出气管阀门24，将需要注入的气体通过第一注气管19、第二注气管21或第三注气管22进行注入，注入时打开阀门20，注入完成后关闭阀门20，通过启动电机开关3将反应装置罐体1内部注入的气体进行反应，如蓄电池没电时可通过门把手5打开电机固定盒2更换第一蓄电池8或第二蓄电池9。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体用的特殊气体反应装置，包括反应装置罐体(1)，其特征在于：所述反应装置罐体(1)的顶部焊接安装有电机固定盒(2)，所述电机固定盒(2)的一侧活动安装有电机开关(3)，所述电机开关(3)的一侧活动安装有位于电机固定盒(2)另一侧的固定盒门(4)，所述固定盒门(4)的外表面焊接安装有门把手(5)，所述门把手(5)的顶部焊接安装有电机(6)，所述电机(6)的底部活动安装有转动杆(7)，所述转动杆(7)的一侧活动安装有第一蓄电池(8)，所述第一蓄电池(8)的一侧活动安装有位于转动杆(7)另一侧的第二蓄电池(9)，所述第二蓄电池(9)的底部开设有位于转动杆(7)底部的固定槽(10)，所述固定槽(10)的内部可拆卸安装有螺杆(11)，所述螺杆(11)的内部可拆卸安装有位于固定槽(10)内部的扇片固定杆(12)，所述扇片固定杆(12)的底部固定安装有扇片(13)，所述扇片(13)的一侧开设有位于反应装置罐体(1)内壁的第一闭合螺纹(14)，所述第一闭合螺纹(14)的一侧粘接安装有位于反应装置罐体(1)一侧的橡胶圈(15)，所述橡胶圈(15)的一侧可拆卸安装有罐盖(16)，所述罐盖(16)的一侧开设有第二螺纹(17)，所述第二螺纹(17)的一侧焊接安装有位于罐盖(16)另一侧的注气管密封盘(18)，所述注气管密封盘(18)的一侧焊接安装有第一注气管(19)，所述第一注气管(19)的顶部设有阀门(20)，所述阀门(20)的底部焊接安装有第二注气管(21)，所述第二注气管(21)的底部焊接安装有第三注气管(22)，所述第三注气管(22)的一侧焊接安装有位于反应装置罐体(1)另一侧的出气管(23)，所述出气管(23)的顶部设有出气管阀门(24)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体用的特殊气体反应装置，其特征在于：所述反应装置罐体(1)的左侧安装有罐盖(16)，右侧安装有出气管(23)，反应装置罐体(1)左侧内壁开设的第一闭合螺纹(14)与罐盖(16)右侧开设的第二螺纹(17)相吻合。

3.根据权利要求1所述的一种半导体用的特殊气体反应装置，其特征在于：所述电机固定盒(2)安装在反应装置罐体(1)的顶部，其顶部安装有电机(6)，且电机(6)穿过电机固定盒(2)与转动杆(7)连接，其内部安装有蓄电池，通过电源线与电机(6)连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体用的特殊气体反应装置，其特征在于：所述转动杆(7)的底部开设有固定槽(10)，固定槽(10)大小与扇片固定杆(12)一致，且固定槽(10)和扇片固定杆(12)都开设有与螺杆(11)相吻合的安装孔。

5.根据权利要求1所述的一种半导体用的特殊气体反应装置，其特征在于：所述罐盖(16)通过第二螺纹(17)安装在反应装置罐体(1)的左侧，且连接处设有橡胶圈(15)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体用的特殊气体反应装置，其特征在于：所述第一注气管(19)通过注气管密封盘(18)安装在罐盖(16)的左侧，且第一注气管(19)左侧开设有连接用螺纹，每个注气管都安装有阀门(20)。

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