CN214848581U - 微动台和运动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种微动台和运动装置。微动台包括：载台装置、微动底座、柔性连接件和多个磁浮重力补偿装置，载台装置包括：载台、旋转底座和旋转驱动装置，旋转底座位于载台下方。载台装置相对于微动底座垂向可滑动地连接至微动底座；柔性连接件包括弹性片，弹性片水平延伸，且弹性片的一端连接至旋转底座，弹性片的另一端连接至微动底座；各磁浮重力补偿装置设置于旋转底座下方，磁浮重力补偿装置构造成能够对载台装置进行垂直方向力的补偿，且磁浮重力补偿装置还构造成能够驱动载台装置垂直移动。磁浮重力补偿装置既可以对载台装置进行垂向方向力补偿，又可以驱动载台装置垂直移动，因此一个驱动装置可以实现两个目的。

Description

微动台和运动装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路装备制造领域，更具体的涉及一种微动台及包括该微动台的运动装置。

背景技术

在半导体硅片制造或者检测领域，要求工件台可以和硅片传输系统完成硅片的交接，同时需要承载着硅片完成硅片的精密定位，最终完成硅片的制造或者检测。所以对于应用制造或者检测的工件台装置中，微动台是其核心部件，完成硅片在垂向和旋转轴的精确定位，微动台中一般包括载台，载台用于承载硅片等待加工件。

为了确保载台垂向移动的精度，微动台中一般包括多个驱动装置，部分驱动装置驱动载台等部位垂向移动，部分驱动装置对载台等部位进行重力补偿，由于驱动装置非常多，因此将使得整个微动台的结构非常复杂。

实用新型内容

本实用新型实施方式的目的在于提供一种微动台和运动装置，使得微动台结构更加紧凑、简单。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种微动台，所述微动台包括：

载台装置，所述载台装置包括：载台、旋转底座和旋转驱动装置，所述旋转底座位于所述载台下方；所述旋转驱动装置包括旋转驱动装置动子和旋转驱动装置定子，所述旋转驱动装置定子相对于所述旋转底座固定，所述旋转驱动装置动子相对于所述载台固定；

微动底座，所述载台装置相对于所述微动底座垂向可滑动地连接至所述微动底座；

柔性连接件，所述柔性连接件包括弹性片，所述弹性片水平延伸，且所述弹性片的一端连接至所述旋转底座，所述弹性片的另一端连接至所述微动底座；以及

至少三个磁浮重力补偿装置，各所述磁浮重力补偿装置设置于所述旋转底座下方，所述磁浮重力补偿装置构造成能够对所述载台装置进行垂直方向力的补偿，且所述磁浮重力补偿装置还构造成能够驱动所述载台装置垂直移动。

本实用新型实施方式相对于现有技术而言，由于微动台包括磁浮重力补偿装置，该磁浮重力补偿装置既可以对载台装置进行垂向方向力补偿，又可以驱动载台装置垂直移动，因此一个驱动装置可以实现两个目的，从而可以减少驱动装置的数量，进而使得微动台内的结构更加紧凑。

在一实施例中，所述磁浮重力补偿装置包括：

内基磁体，所述内基磁体沿轴向延伸，所述内基磁体沿所述载台垂向设置；

第一端部磁钢和第二端部磁钢，所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢分别位于所述内基磁体的两个轴向端并沿轴向延伸，且所述第一端部磁钢和第二端部磁钢的外径分别沿远离所述内基磁体的所述两个轴向端方向逐渐增大；

内磁环磁钢，所述内磁环磁钢呈筒状，且与所述内基磁体同轴地位于所述内基磁体外且与所述内基磁体径向间隔开；

外线圈，所述外线圈与所述内基磁体同轴地位于所述内磁环磁钢外，且与所述内磁环磁钢径向间隔开，所述外线圈相对所述内基磁体、所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢固定。

在一实施例中，所述内基磁体的充磁方向轴向向上，所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢的充磁方向为从所述内基磁体沿轴向向外，所述内磁环磁钢的充磁方向为从所述内磁环磁钢的环内往环外；

或，所述内基磁体充磁方向轴向向下，所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢的充磁方向为从外沿轴向指向所述内基磁体，所述内磁环磁钢的充磁方向为从所述内磁环磁钢的环外往环内。

在一实施例中，所述磁浮重力补偿装置还包括：与所述内磁环磁钢同轴地位于所述外线圈外的外磁环磁钢，且所述外磁环磁钢与所述外线圈径向间隔开，所述外磁环磁钢相对所述内磁环磁钢固定；

其中，所述外磁环磁钢的充磁方向与所述内磁环磁钢的充磁方向相同。

在一实施例中，所述磁浮重力补偿装置还包括：与所述内磁环磁钢同轴地位于所述外线圈外的外导磁环，所述外导磁环与所述外线圈径向间隔开。

在一实施例中，所述内基磁体为永磁体，或所述内基磁体为内线圈，或所述内基磁体为所述永磁体与所述内线圈的组合，所述内线圈绕所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢的轴线周向缠绕。

在一实施例中，所述柔性连接件为多个，且所述柔性连接件的所述弹性片沿所述旋转底座水平径向延伸，

多个所述柔性连接件沿所述旋转底座的周向彼此间隔开，且多个所述柔性连接件均匀分布。

在一实施例中，所述弹性片为多个；

各所述弹性片沿所述旋转底座的轴向彼此间隔开；

或，部分所述弹性片沿所述旋转底座的轴向彼此间隔开，部分所述弹性片沿所述旋转底座的周向间隔开。

在一实施例中，所述载台装置还包括：垂向移动装置，所述垂向移动装置设置在所述旋转底座与所述载台之间，并构造成能够驱动所述载台上的物品垂向移动。

本实用新型还提供了一种运动装置，包括：

基座，所述基座具有平坦的上表面且所述基座上设有上述的微动台；

第一方向运动台，所述第一方向运动台设置在所述上表面上方且与所述上表面之间设有沿第一方向的导轨；

第二方向运动台，所述第二方向运动台设置在所述第一方向运动台上方且与所述第一方向运动台之间设有沿第二方向的导轨，所述第二方向与所述第一方向相交。

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1是根据本实用新型一实施例的微动台剖面图。

图2是图1中A处的放大图。

图3是根据本实用新型一实施例的微动台无载台的俯视图。

图4是根据本实用新型一实施例的微动台立体结构示意图。

图5是本实用新型一实施例中磁浮重力补偿装置的结构示意图；

图6是图5的轴向剖视图；

图7是弧板中磁感线沿径向设置时的结构示意图；

图8是弧板中磁感线平行设置时的结构示意图；

图9a是柔性机构的输出力曲线图；

图9b是外线圈电流为零时，线性行程范围内磁浮重力补偿装置输出力曲线图；

图9c是本实用新型一实施例中线性行程范围内磁浮重力补偿装置输出力曲线图；

图10是本实用新型一实施例中磁浮重力补偿装置的结构示意图；

图11是图10的轴向剖视图；

图12是弧形板中磁感线沿径向设置时的结构示意图；

图13是弧形板中磁感线平行设置时的结构示意图；

图14本实用新型一实施例中外线圈不通电时的磁感线图；

图15是本实用新型另一实施例中磁浮重力补偿装置的结构示意图；

图16是本实用新型另一实施例中磁浮重力补偿装置的结构示意图；

图17是图16的轴向剖视图；

图18a是本实用新型另一实施例中内线圈和外线圈均不通电时的磁感线图；

图18b是图18a中内线圈通电而外线圈不通电时的磁感线图；

图19是根据本实用新型一实施例的微动台的垂向移动装置的结构示意图。

图20是根据本实用新型另一实施例的微动台的垂向移动装置的结构示意图。

图21是根据本实用新型一实施例的微动台的柔性连接件的结构示意图。

图22是根据本实用新型另一实施例的微动台的柔性连接件的结构示意图。

图23是根据本实用新型另一实施例的微动台的柔性连接件的结构示意图。

图24是根据本实用新型运动装置的结构示意图。

图25是根据本实用新型运动装置的主视图。

图26是根据本实用新型运动装置无驱动载台的俯视图。

图27是根据本实用新型运动装置的柔性连接件的局部示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本实用新型各实施方式中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。

在下文的描述中，出于说明各种公开的实施例的目的阐述了某些具体细节以提供对各种公开实施例的透彻理解。但是，相关领域技术人员将认识到可在无这些具体细节中的一个或多个细节的情况来实践实施例。在其它情形下，与本申请相关联的熟知的装置、结构和技术可能并未详细地示出或描述从而避免不必要地混淆实施例的描述。

除非语境有其它需要，在整个说明书和权利要求中，词语“包括”和其变型，诸如“包含”和“具有”应被理解为开放的、包含的含义，即应解释为“包括，但不限于”。

以下将结合附图对本实用新型的各实施例进行详细说明，以便更清楚理解本实用新型的目的、特点和优点。应理解的是，附图所示的实施例并不是对本实用新型范围的限制，而只是为了说明本实用新型技术方案的实质精神。

在整个说明书中对“一个实施例”或“一实施例”的提及表示结合实施例所描述的特定特点、结构或特征包括于至少一个实施例中。因此，在整个说明书的各个位置“在一个实施例中”或“在一实施例”中的出现无需全都指相同实施例。另外，特定特点、结构或特征可在一个或多个实施例中以任何方式组合。

如该说明书和所附权利要求中所用的单数形式“一”和“所述”包括复数指代物，除非文中清楚地另外规定。应当指出的是术语“或”通常以其包括“和/或”的含义使用，除非文中清楚地另外规定。

在以下描述中，为了清楚展示本实用新型的结构及工作方式，将借助诸多方向性词语进行描述，但是应当将“前”、“后”、“左”、“右”、“外”、“内”、“向外”、“向内”、“上”、“下”等词语理解为方便用语，而不应当理解为限定性词语。本文中“X向”、“X方向”和“Y向”、“Y方向”表示沿水平方向彼此相交的方向，“Z向”和“Z方向”表示垂直方向。

需要说明的是，下列各示意图中箭头“→”方向代表磁化方向，“×”代表线圈截面。

下文参照附图描述本实用新型的实施例微动台，如图1至图4和图24所示，该微动台 300包括：载台装置、微动底座104、柔性连接件1103和多个磁浮重力补偿装置100，其中，载台装置包括：载台1304、旋转底座103和旋转驱动装置，载台1304用于吸附硅片，可以通过真空吸附，也可以采用静电吸附等。旋转底座103位于载台1304下方，并且如图1所示，旋转驱动装置包括旋转驱动装置动子和旋转驱动装置定子，旋转驱动装置定子相对于旋转底座103固定，旋转驱动装置动子相对于载台1304固定，载台装置相对于微动底座104垂向可滑动地连接至微动底座104，柔性连接件1103包括弹性片，弹性片水平延伸，并且弹性片的一端连接至旋转底座103，弹性片的另一端连接至微动底座104。同时，各磁浮重力补偿装置100设置在旋转底座103下方，磁浮重力补偿装置100构造成能够对载台装置进行垂直方向力的补偿，并且磁浮重力补偿装置100还构造成能够驱动载台装置垂直移动。

由于微动台300包括磁浮重力补偿装置100，该磁浮重力补偿装置100既可以对载台装置进行垂向方向力补偿，又可以驱动载台装置垂直移动，因此一个装置可以实现两个目的，从而可以减少驱动装置的数量，进而使得微动台300内的结构更加紧凑。

如图3所示，在本实施例中，磁浮重力补偿装置100为三个，三个磁浮重力补偿装置100 设置在旋转底座103下方，支撑载台装置，在本实施例中，三个磁浮重力补偿装置100绕载台装置等距环设，从而实现载台装置的垂向运动以及绕水平位置的转动。当然，在有些实施例中，磁浮重力补偿装置100还可以是三个以上，各磁浮重力补偿装置100绕载台装置环设。

具体的，如图5和图6所示，磁浮重力补偿装置100包括：内基磁体1、第一端部磁钢2、第二端部磁钢3、内磁环磁钢4和外线圈5，其中，内基磁体1呈圆筒状并沿轴向延伸，内基磁体1为永磁体，该内基磁体1基本垂直于载台1304设置。第一端部磁钢2和第二端部磁钢 3分别位于内基磁体1的两个轴向端并沿轴向延伸，第一端部磁钢2和第二端部磁钢3的外径分别沿远离内基磁体1的两个轴向端方向逐渐增大。内磁环磁钢4呈圆筒状，内磁环磁钢 4与内基磁体1同轴地位于内基磁体1外且与内基磁体1径向间隔开。外线圈5与内基磁体1 同轴且位于内磁环磁钢4外，外线圈5与内磁环磁钢4径向间隔开。外线圈5一般配有功率放大器，因此可通过调节外线圈5内的电流来调节外线圈5产生的磁场。外线圈5相对内基磁体1、第一端部磁钢2和第二端部磁钢3固定，也就是，外线圈5与第一端部磁钢2或者第二端部磁钢3之间可以通过支架或者其他结构固定连接在一起。内基磁体1、第一端部磁钢2、第二端部磁钢3和外线圈5共同组成第一框架91，该第一框架91与内磁环磁钢4之间相互磁作用，从而能够相对于彼此轴向运动。可以设置成第一框架91为动子，而内磁环磁钢 4为定子，也可以设置成内磁环磁钢4为动子，而第一框架91为定子。当第一框架91为动子时，则由第一框架91承载并带动载台装置运动，当内磁环磁钢4为动子时，则由内磁环磁钢4承载并带动载台装置运动。具体的，在本实施例中，如图1和图2所示，微动台300还包括：固定在微动底座104上的支架1400，内基磁体1、第一端部磁钢2、第二端部磁钢3 和外线圈5固定在该支架1400上，如图1和图2所示，支架1400包括：固定在微动底座104 的上本体1401、垂直于上本体1401设置的中间柱1402、外环柱1403，外环柱1403套设于中间柱1402外，且与中间柱1402径向隔开，内基磁体1、第一端部磁钢2、第二端部磁钢3 套设于中间柱1402上，而外线圈5缠绕于外环柱1403上，内磁环磁钢4通过连接环1500可以固定在旋转底座103下方。另外，如图1和图2所述，旋转底座103上开设通孔1031，内基磁体1、第一端部磁钢2和第二端部磁钢3套设在中间柱1402上后可滑动地位于该通孔1031 内，当磁浮重力补偿装置100驱动载台装置上下运动时，旋转底座103能够通过通孔1031相对内基磁体1、第一端部磁钢2、第二端部磁钢3和中间柱1402上下移动。

如图5和图6所示，第一端部磁钢2和第二端部磁钢3呈具有轴向通孔的圆台形，但应理解，在其他实施例中第一端部磁钢2和第二端部磁钢3也可以采用实心结构而不脱离本实用新型的范围。第一端部磁钢2和第二端部磁钢3的外径尺寸均分别从靠近内基磁体1的两轴向端朝下和朝上逐渐增大。第一端部磁钢2和第二端部磁钢3各设有轴向通孔，其轴向通孔与内基磁体1的轴向通孔同轴且具有相同的直径且彼此连通。第一端部磁钢2和第二端部磁钢3的形状和尺寸彼此相同，且关于内基磁体1的中分径向面镜像对称。内磁环磁钢4呈圆筒状，且与内基磁体1同轴地位于内基磁体1外，并与内基磁体1径向间隔开。在所示实施例中，第一端部磁钢2和第二端部磁钢3与内基磁体1邻接，但应理解，其间也可设置一定的气隙，该气隙通常不大于1mm。

本实施例中的磁浮重力补偿装置100具有如下文所述的垂向补偿和垂向驱动两种功能。

如图5和6图所示，第一框架91和内磁环磁钢4之间无机械连接，在线性行程范围内，柔性连接件1103的刚度恒定，且第一框架91与内磁环磁钢4间相互作用可产生刚度不变的垂向作用力，其中当内磁环磁钢4和内基磁体1相对于彼此轴向居中时即为装置零位点，由于装置在零位点时需补偿载台装置的重力，因而其对外输出磁浮力需与载台装置重力相等。此时柔性连接件1103弹力为零，外线圈5不通电，磁浮重力补偿装置100的输出磁浮力方向垂向向上。由于在载台装置与底座之间所设置的柔性连接件1103的弹力在线性行程范围内随载台装置垂向运动而线性变化，因而，只有当磁浮重力补偿装置100的输出磁浮力也随载台装置垂向运动而线性变化、且两者变化斜率相等时，磁浮重力补偿装置100才能完全实现对载台装置重力和柔性连接件1103弹力的补偿作用。基于此，装置中第一端部磁钢2和第二端部磁钢3的外径尺寸需从靠近内基磁体1的两端分别朝下和朝上逐渐增大，载台装置在线性行程范围内，磁浮重力补偿装置100输出磁浮力等于柔性连接件1103的输出弹力和载台装置的重力之和。

图9b中示出了磁浮重力补偿装置100外线圈5中电流为零，线性行程范围内输出力仿真曲线。图中横轴表示磁浮重力补偿装置100的行程、纵轴表示输出力。图中标注了两相反位移端点和零位点及其对应的输出力。图中x、-x为单向的极限位移、G为单个磁浮重力补偿装置100需补偿的载台装置重力，G+F、-F+G是单个磁浮重力补偿装置100在线性行程范围端点的输出力，假设磁浮重力补偿装置100的设计刚度为k，则正向行程端点x处磁浮重力补偿装置100的输出力幅值为G+F＝G+kx，由此可知磁浮重力补偿装置100的输出力范围为 [-F+G，F+G]。从图中可以看出，该磁浮重力补偿装置100的输出力随行程线性变化，从而能够补偿载台装置的重力以及柔性连接件1103产生的线性变化的弹力。

综上所述，在线性行程范围内，外线圈5中电流为零的情况下，磁浮重力补偿装置100 具有垂向补偿作用，能够补偿掉载台装置的重力和柔性连接件1103的弹力，且磁浮重力补偿装置100具有恒刚度的特性。

相比线性行程范围内的情况，本磁浮重力补偿装置100还能运用在大行程范围中。其与线性行程范围的区别在于，线性行程范围内柔性连接件1103的刚度恒定，大行程范围包括线性行程范围和超出线性行程范围的非线性行程范围，在非线性行程范围内，柔性连接件1103 的刚度不恒定。另外，如图9a所示，图中横轴为磁浮重力补偿装置100沿Z轴方向的位移，纵轴为柔性连接件1103沿Z轴方向的输出力。由图可知，在Z轴方向位移的行程范围内的线性区域A(既线性行程范围)，柔性连接件1103输出刚度恒定，其弹力与位移呈线性变化，当磁浮重力补偿装置100在该区域外运动时，即在行程范围内的非线性区域B中，此时柔性连接件1103的输出刚度随位移变化，其弹力与位移也呈非线性变化，但是通过第一端部磁钢 2和第二端部磁钢3补偿的力一直是呈线性变化的，在非线性区域运动时，第一端部磁钢2 和第二端部磁钢3依然只能线性补偿，将导致柔性连接件1103的有一部分弹力无法被补偿掉，此时，可通过控制外线圈5内的电流方向和幅值产生相应方向和大小的洛伦兹力，来补偿掉不能被第一端部磁钢2和第二端部磁钢3补偿的该部分弹力。因此本磁浮重力补偿装置100 在非线性区域B中也具有垂向补偿作用。

结合上面线性行程范围和非线性行程范围，磁浮重力补偿装置100的输出力用于补偿载台装置的重力和柔性连接件1103的弹力，当磁浮重力补偿装置100的第一框架91相对于内磁环磁钢4沿Z轴方向在线性区域A的行程范围内位移时，柔性连接件1103的输出弹力线性变化，当外线圈5内电流为零时，由于第一端部磁钢2和第二端部磁钢3的外径尺寸均分别从靠近内基磁体1的两轴向端朝下和朝上逐渐增大，第一端部磁钢2和第二端部磁钢3的外径尺寸变化梯度与柔性连接件1103输出弹力的变化梯度一致，在线性区域A内，磁浮重力补偿装置100输出磁浮力与柔性连接件1103的输出弹力和载台装置重力之和相等。

而在非线性区域，由于柔性连接件1103的输出力呈非线性变化，当外线圈5内电流为零时，磁浮重力补偿装置100输出磁浮力依然呈线性变化，因此浮重力补偿装置100输出磁浮力不等于柔性连接件1103的输出弹力幅值和载台装置重力之和，此时可在外线圈5内通入电流，通过外线圈5内产生的轴向磁场来调节磁浮重力补偿装置100的输出力，使得在第一框架91相对于内磁环磁钢4在处于非线性区域的行程范围内位移时，磁浮重力补偿装置100输出磁浮力与柔性连接件1103的输出弹力和载台装置重力之和依然相等。

因此，具体地，本实用新型中的磁浮重力补偿装置100是一种线性行程范围内恒刚度重力补偿装置，而在包括线性行程范围和非线性行程范围的大行程范围内输出力可调的高集成度装置。即在微动台垂向运动模块的线性行程范围内，当外线圈5的电流为零时，磁浮重力补偿装置100的输出力可补偿掉载台装置的重力以及柔性连接件1103在线性区域内的弹力。在大行程范围内，通过调节外线圈5的电流大小和方向，从而可以调节第一框架91与内磁环磁钢4之间的相互作用力，使得磁浮重力补偿装置100的输出力可调，即可提供柔性连接件 1103在非线性区域的补偿力。

在线性行程范围内，本实施例磁浮重力补偿装置100的垂向补偿作用还具有其他特征，如图9c所示，图中横轴为磁浮重力补偿装置100中第一框架91沿Z轴方向的位移，纵轴为磁浮重力补偿装置100沿Z轴方向的输出力。图中5条曲线分别对应外线圈5不同输入电流工况下的磁浮重力补偿装置100的输出力曲线。

需要说明的是，图中外线圈5中电流是恒定的，在实际情况中，当磁浮重力补偿装置100 处于大行程范围时，为了补偿掉柔性连接件1103的弹力，根据需要需逐步调整电流大小。

由图9c和图3可知，外线圈5的预设输入电流分别为-2A、-1A、0A、1A和2A，其在零位点处对应磁浮重力补偿装置100的输出力分别为m5、m4、m1、m2和m3，当输入电流为0A时，此输出力为沿Z轴方向的作用力m1，输出力与微动台中磁浮重力补偿装置100的数量的乘积即为载台装置重力。

当内磁环磁钢4和内基磁体1相对于彼此轴向居中时即为装置零位点，且当外线圈5的电流为零时，磁浮重力补偿装置100输出力与载台装置的重力大小相等且方向相反，如果在零位点时磁浮重力补偿装置100无法完全补偿掉载台装置的重力或补偿力超出了载台装置的重力，则可通过改变外线圈5中电流大小来调整磁浮重力补偿装置100的输出力，使得该输出力能够与载台装置的重力匹配。此外，图中每条输出力曲线的线性度都很好(即都表现为恒刚度)，利用第一端部磁钢2和第二端部磁钢3的锥度实现磁场的线性化，应用第一框架 91磁场和内磁环磁钢4磁场的相互作用实现了零位点处的载台装置重力补偿方案。

因此，本实用新型既补偿了载台装置的重力，又能根据载台装置的重力做出调整，工作人员只需要简单改变外线圈5中的电流便能使整个装置在零位点保持平衡，大大提高了生产效率和微动台的稳定性；同时，采用上述方式后，还使得磁浮重力补偿装置100结构紧凑，节约设计空间，集成程度很高。

需要说明的是，上述图9c中所示出的图为外线圈5中电流为恒值时的图，但在实际情况中，当柔性连接件1103处于非线性区域时，外线圈5中电流需要进行根据柔性连接件1103 的弹力变化而进行变化，从而使得磁浮重力补偿装置100的输出力能够完全补偿掉载台装置的重力与柔性连接件1103的弹力。

本实施例中的磁浮重力补偿装置100除了上述垂向补偿作用，还具有垂向驱动作用。如图9c可知，当外线圈5内输入不同电流时，磁浮重力补偿装置100具有不同的输出力。同理，控制外线圈5的电流方向和幅值即可控制载台装置的运动方向和加速度，起到垂向驱动作用。

在线性行程范围内，磁浮重力补偿装置100具有恒刚度的特性，磁浮重力补偿装置100 始终能补偿载台装置的重力和柔性连接件1103的弹力。在初始的零点位时，无论外线圈5是否有恒定电流，只需要简单改变外线圈5中的电流方向和幅值就能提供载台装置运动所需的加速度力，使载台装置快速作出反应，例如快速加速或减速，既同时起到垂向补偿和垂向驱动的作用。而且这种控制使线圈部分电流较小、温升较低，可使载台装置满足高动态响应的应用需求。

在大行程范围中，外线圈5需要不断改变电流方向和幅值以补偿部分柔性连接件1103的非线性弹力，在此基础上再通过计算改变外线圈5中的电流方向和幅值仍然能够提供载台装置运动所需的加速度力。

综上所述，磁浮重力补偿装置100既具有垂向补偿作用，又具有垂向驱动作用。在本实用新型中，由于外线圈5只需提供载台装置运动所需的轴向加速度的力和柔性连接件1103在非线性区域的补偿力，因此其线圈部分电流较小、温升较低，因此可使载台装置满足高动态响应的应用需求，例如快速加速或减速，从而确保载台1304的精确定位。而且本实用新型中的磁浮重力补偿装置100因为结构紧凑，因此能够节约载台装置设计空间，集成程度很高。

另外，需要说明的是由于设置了外线圈5，因此使得磁浮重力在大行程范围内也可以实现补偿载台装置的重力和柔性连接件1103的弹力的作用，如图9a。而且由于增加了外线圈5，当内磁环磁钢4和内基磁体1相对于彼此轴向居中时即为装置零位点，通过调节外线圈5中电流的大小还可以辅助补偿载台装置的重量。

另外，如图6至图8所述，具体地，在本实施例中，第一端部磁钢2和第二端部磁钢3的充磁方向为从内基磁体1沿轴向向外，内基磁体1的充磁方向与第一端部磁钢2相同既轴向向上，内磁环磁钢4的充磁方向为沿径向向外。而外线圈5的磁场可以根据需要随意调整。当然，在有些实施例中，第一端部磁钢2和第二端部磁钢3的充磁方向也可以沿轴向从外指向内基磁体1方向，即与上述从内基磁体1沿轴向向外的方向相反，此时内基磁体1的充磁方向为轴向向下，而内磁环磁钢4的充磁方向也可以相应地设置成径向向内。

在有些实施例中，如图5、图7和图8所示，内磁环磁钢4由沿周向邻接的多个弧板41组成，并且如图7所示各弧板41的充磁方向设置成沿内磁环磁钢4的径向，即弧板41内不同周向位置处的充磁方向均沿径向方向；或者如图8所示弧板41的充磁方向平行于弧板41 周向中央的径向方向，即弧板41的各磁感线均平行设置且与弧板41周向对称平面平行。当弧板41内各磁感线均平行时，方便对各弧板41进行充磁。只需要将弧板41放入平行磁场中，即可完成充磁。

如图5所示，内磁环磁钢4由8块分块磁钢拼接而成。其中8块分块磁钢为由一圆筒以 45°等角间隔沿径向平分的弧板41。但应理解，内磁环磁钢4也可其他数量的分块磁钢拼接而成，为了消除内磁环磁钢4产生的径向不平衡力，其分块数N设为偶数，例如2块、4块、6块等。内磁环磁钢4由分块磁钢拼接而成便于磁钢进行充磁和加工。当然，需要说明的是，在有些实施例中，内磁环磁钢4还可以是一体式磁环。

在有些实施例中，如图10和图11所示，磁浮重力补偿装置100还可以包括外磁环磁钢 8，该外磁环磁钢8与内磁环磁钢4同轴设置，并且位于外线圈5外，同时与外线圈5沿径向间隔开。外磁环磁钢8的充磁方向与内磁环磁钢4的充磁方向相同，也就是说，外磁环磁钢 8的充磁方向可径向向外或径向向内。

另外，外磁环磁钢8与内磁环磁钢4相对固定，外磁环磁钢8与内磁环磁钢4可以通过支架或者连接杆等装置固定在一起，也就是外磁环磁钢8和内磁环磁钢4共同组成第二框架 92，该第二框架92可以是定子或动子，该第二框架92与上述第一框架91之间产生相互磁作用力而能够相对于彼此运动，第一框架91和第二框架92中的任意一个为动子，而另一个为定子。

在本实用新型中的磁浮重力补偿装置100中，第一框架91与第二框架92之间无机械连接，行程范围内，第一框架91中内基磁体1、第一端部磁钢2和第二端部磁钢3与第二框架 92中内磁环磁钢4和外磁环磁钢8的磁场之间相互作用可产生垂向向上、大小恒定的磁浮作用力，该磁浮作用力与载台装置垂向运动机构在零位点处的重力相等、方向相反；第一框架 91中第一端部磁钢2和第二端部磁钢3的外侧锥度可使第一框架91的输出磁力趋于线性化，内基磁体1、第一端部磁钢2和第二端部磁钢3与第二框架92中内磁环磁钢4和外磁环磁钢 8磁场间相互作用可产生垂向向上、刚度恒定的磁浮作用力，两作用力叠加即可实现输出恒刚度的垂向磁浮力。

外线圈5通常配有功率放大器，以调节外线圈5的电流输入，由洛伦兹力定律，即磁场对运动电荷会产生洛伦兹力，外线圈5沿径向布置在内磁环磁钢4和外磁环磁钢8之间，通过调节所述第一框架91中外线圈5输入电流的方向和幅值，可使外线圈5与第二框架92磁场相互作用产生不同的洛伦兹力，该洛伦兹力可使第一框架91与第二框架92按照预设轨迹产生相对位移，此时外线圈5无需克服载台装置的重力，只需提供运动所需的加速度的力和柔性连接件1103在非线性区域的弹力中超出线性部分的扰动力的补偿力即可，因此磁浮重力补偿装置100的电流小、温升低，载台装置可满足高动态响应的应用需求。

另外，如图10、图12和图13所示，外磁环磁钢8还可以由沿周向彼此邻接的多个弧形板81组成，或者，在有些实施例中，外磁环磁钢8还可以是一个完整的磁环，如图12所示各弧形板81的充磁方向沿外磁环磁钢8的径向设置，或如图13所示弧形板81的充磁方向平行于弧形板81周向中央的径向方向。也就是弧形板81的各磁感线可以沿外磁环磁钢8的径向设置，或者弧形板81的各磁感线均平行设置且与弧板41的周向对称面平行，当各磁感线均平行时，方便对各弧形板81进行充磁。只需要将弧形板81放入平行磁场中，即可完成充磁。

如图10所示，外磁环磁钢8由8块分块磁钢拼接而成。其中8块分块磁钢为由一圆筒以 45°等角间隔沿径向平分的弧形板81磁钢。但应理解，外磁环磁钢8也可其他数量的分块磁钢拼接而成，为了消除外磁环磁钢8产生的径向不平衡力，其分块数N设为偶数，例如2块、4块、6块等。外磁环磁钢8由分块磁钢拼接而成便于磁钢进行充磁和加工。

本实施例的磁感线如图14所示，图中给出了图10的轴向剖面示意图的一部分，图中磁感线走向与设计的磁路基本一致。

在有些实施例中，如图15所示，磁浮重力补偿装置100还包括：与内磁环磁钢4同轴地位于外线圈5外的外导磁环10，外导磁环10与外线圈5径向间隔开。该外导磁环10采用导磁材料做成，例如铁或者高导磁(Fe Si B)98(Cu Nb)2非晶合金等导磁材料。通过外导磁环10可以加强整个磁浮重力补偿装置100的磁场。

另外，外导磁环10由沿周向彼此邻接的多个圆弧板组成，当然，也可以是一体式的圆环。

在本实施例中，内基磁体1为永磁体，如图16和图17所示，而在有些实施例中内基磁体1为内线圈12。当然，为了固定内线圈12，内线圈12可沿内环11的轴线缠绕于内环11上，该内环11可以是普通材质，也可以是导磁体。应理解，内线圈12也可通过其它方式固定，只要其位于第一端部磁钢2与第二端部磁钢3之间且其中的导线绕轴线周向缠绕即可，内线圈12中的电流方向可以根据需要进行调整，如图17所示，内线圈12通电后，内线圈 12的磁力方向沿轴线向上，在有些实施例中，当内线圈12当电流方向相反时，内线圈12的磁力方向可以沿轴线向下。

内线圈12通常配有功率放大器，以调节内线圈12的输入，由右手螺旋定则，通过调节所述第一框架91中内线圈12输入电流的方向和幅值，以匹配不同重量的载台装置的重力，从而提高磁浮重力补偿装置100的适用范围。

当外线圈5电流为零时，磁浮重力补偿装置100所产生的磁作用力将载台装置的重力和柔性连接件1103的弹力补偿掉后，可通过调节外线圈5电流的方向和幅值，使磁浮重力补偿装置100沿预设轨迹做高加速度运动，提高了载台装置沿Z轴方向的运动性能。本实施例给出结构对应的磁感线如图18a和图18b所示，图中给出了图17的轴向剖面示意图的一部分，图18a为内线圈12通电而外线圈5未通电时的磁感线图，图18b为内线圈12未通电且外线圈5也未通电时的磁感线图。由图可知，磁感线沿第一平面(XoY)镜像对称。

需要说明的，在其他实施例中内环11也可以是永磁体，此时永磁体和内线圈12共同构成内基磁体1，与第一端部磁钢2和第二端部磁钢3共同形成第一框架91，以与第二框架92 相互作用产生磁浮力。

另外，如图19所示，载台装置还包括：垂向移动装置102，垂向移动装置102设置在旋转底座103与载台1304之间，并构造成能够驱动载台1304上的物品垂向移动。

如图1和图19所示，垂向移动装置102设置在旋转底座103上方，且其动子上设有交接爪1203，动子可以带动交接爪1203做垂向大行程运动，实现硅片的交接。各交接爪1203向上延伸穿过载台1304，从而能够与载台1304上例如硅片的物品接触并驱动该物品沿垂向移动。该垂向移动装置102优选地采用音圈电机作为驱动装置，但应理解，也可以采用例如气缸作为驱动装置。在所示具体实施例中，动子上设有彼此周向间隔开120°的三个交接爪1203。为了控制垂向移动装置102的垂向运动，也可在由垂向移动装置102驱动而垂向运动的部分周围设置垂向光栅尺。图19中示出了垂向移动装置102的一实施例。在所示实施例中，垂向移动装置102包括粗精度垂向基座1201，粗精度垂向驱动装置1202设置在粗精度垂向基座1201上方且粗精度垂向驱动装置1202的定子固定至粗精度垂向基座1201，粗精度垂向驱动装置1202的动子与三个交接爪1203固定连接，三个交接爪1203垂向向上延伸且彼此间隔开。此外，在动子与粗精度垂向基座1201之间还设有导轨1204，对于动子相对于粗精度垂向基座1201进行垂向运动进行导向。导轨1204较佳地为非圆柱直线轴承，防止在垂向运动过程中产生旋转运动。导轨1204可以设置成一组或两组。当设置两组时，较佳地对称设置在粗精度垂向驱动装置1202两侧的径向相对位置，其中滑动部分与交接爪1203固定，而固定部分与粗精度垂向基座1201固定，从而为垂向移动装置102的垂向大行程运动提供导向。为了确定动子的运动距离，还可在粗精度垂向驱动装置1202的一侧设置粗精度垂向测量装置 1205，从而能够测量三个交接爪1203的运动距离。

图20中示出了垂向移动装置102的另一实施例。其中粗精度垂向驱动装置1202为气缸，而导轨1204则设置在气缸与缸套之间。该实施例通过气缸内活塞(动子)的线性运动实现对于载台1304的垂向驱动。

回到图1，通过旋转驱动装置，微动台300能够实现载台1304绕Z轴的360°转动。在具体较佳实施例中，旋转驱动装置为旋转电机1301，但应理解，旋转驱动装置也可以是本领域已知的其他旋转驱动装置。此外，为了精确地控制载台1304的旋转，在旋转部件的外周可设置旋转光栅尺，其中旋转部件可以是载台1304、轴承端盖1303(见下文)，也可以是旋转驱动装置动子，只要是能够随旋转驱动装置动子旋转即可。

如图1所示，旋转电机1301设置在载台1304下方，旋转驱动装置动子为旋转电机动子 1301a，旋转驱动装置定子为旋转电机定子1301b，旋转电机动子1301a通过电机端盖1306 固定在轴承座1305上，轴承座1305相对于载台1304沿垂向固定，而旋转电机定子1301b通过电机压板1307固定在电机座1308上，而电机座1308固定至旋转底座103，从而驱动载台 1304相对于旋转底座103旋转。此外，还如图1所示，垂向移动装置102设置在轴承座1305 内，轴承座1305与旋转底座103之间通过旋转轴承1302连接，从而轴承座1305能够相对于旋转底座103绕垂向轴线旋转。在所示实施例中，旋转轴承1302为机械轴承，但应理解，也可设置成空气轴承。旋转轴承1302的数量可根据需要设置。所述旋转轴承1302的内圈通过轴承端盖1303与轴承座1305固定，而旋转轴承1302的外圈通过电机座1308固定至旋转底座103，为旋转底座103提供旋转导向。

在图1所示实施例中，在微动底座104还包括从其外周向上延伸的侧板1105，侧板1105 呈筒状。柔性连接件1103设置在侧板1105与旋转底座103之间。具体地，柔性连接件1103 有多个，连接在侧板1105的内周面与旋转底座103的外周面之间，且成均匀分布。其中柔性连接件1103包括弹性片，弹性片沿旋转底座103的水平径向延伸，弹性片的径向内端连接至旋转底座103，而径向外端连接至侧板1105。但应理解，柔性连接件1103也可直接固定连接至微动底座104的底部。如图3所示，在侧板1105与旋转底座103之间设有6个径向延伸的柔性连接件1103。图3所示实施例中，微动底座104呈正六边形形状，在六边形的每隔一条边上设有一组两个柔性连接件1103。即，三组柔性连接件1103呈120°等角间距布置。三组柔性连接件1103用于为高精度垂向运动装置101的垂向小行程高精度运动提供导向作用，并为绕X轴和Y轴方向的倾斜运动提供解耦。需要说明的，在其他实施例中弹簧片可以不是径向延伸，只要保持水平延伸并分别连接旋转底座103和微动底座104，以提供绕X轴和Y轴方向的运动解耦即可。

图1、图3和图21中示出了柔性连接件1103的立体图。柔性连接件1103由金属制成，较佳地由弹簧钢制成。柔性连接件1103包括弹性片202以及设置在弹性片202两端且垂直于弹性片202延伸的运动端部201和固定端部203。其中运动端部201位于弹性片202的径向内端并连接至旋转底座103，而固定端部203位于弹性片202的径向外端并连接至侧板1105 的内壁。弹性片202的厚度尺寸优选为0.1mm-2mm，从而使其在垂向上的刚度较弱，而沿径向呈高刚度，使得载台装置的垂向运动部件获得了沿垂向、绕X轴倾斜以及绕Y轴倾斜的导向并为绕X轴和Y轴方向的倾斜运动提供解耦。在所示实施例中，柔性连接件1103位于旋转底座103和侧板1105的底部。但应理解，柔性连接件1103可位于两者之间的任何高度处。在较佳实施例中，柔性连接件1103所设置的高度与旋转组件的质心高度相同，其中旋转组件由旋转驱动装置动子及其所承载且随其旋转的部件的组合构成，从而当旋转装置动子及其所承载部件在绕Z方向旋转的同时进行绕X方向或绕Y方向运动时，柔性连接件1103能够抵消旋转造成的冲击影响，从而保持载台1304及其承载物的稳定。在所示实施例中，旋转组件包括旋转电机动子1301a、垂向移动装置102、旋转轴承1302的转动部分、轴承座1305、轴承端盖1303、载台1304。但应理解，对于不同结构的实施例，旋转组件所包含的部件可能不同，但均为旋转驱动装置动子以及由其带动一起旋转的部件的组合。

当然，柔性连接件1103还可以包括多个弹性片202，各弹性片202的一端均连接至运动端部201，而另一端均连接至固定端部203，如图22所示，在有些实施例中，各弹性片202沿旋转底座103的轴向彼此间隔开，具体的，如图22所示，弹性片202为两个。

当然，在有些实施例中，当弹性片202为多个时，部分弹性片202可以沿旋转底座103 的轴向彼此间隔开，部分弹性片202可以沿旋转底座103的周向间隔开。如图23所示，弹性片202为四个，四个弹性片202成矩阵方式排列，沿旋转底座103的轴向方向四个弹性片202 分为两列，沿旋转底座103的周向方向，四个弹性片202分为两排。

通过将柔性连接件1103中的弹性片202设置上述结构，从而使其在垂向上的刚度较弱，而沿径向呈更高的刚度，使得载台装置的垂向运动部件获得了沿垂向、绕X轴倾斜以及绕Y 轴倾斜的导向并为绕X轴和Y轴方向的倾斜运动提供解耦。并且由于柔性连接件1103沿径向的刚度更高，其能承受更大的旋转加速度，可以有效提高微动台300的工作效率。

与现有技术中柔性连接件1103叠置在旋转底座103下方的布置相比，本实用新型的柔性连接件结构简单，连接方便，安装位置也可根据需要调整，并能够在进行Rx和Ry调节时有效缓冲旋转底座103绕Z方向旋转造成的冲击，保证载台1304以及载台1304上方待加工对象的稳定。

图24至图26中示出了包括上述微动台300的运动装置。其中微动台300设置在水平运动台302上，该水平运动台302设置成能够使得微动台300沿X方向和Y方向运动。该水平运动台302包括：基座3208、Y向导轨3204、X向导轨支座3203、X向导轨3202以及XY 顶板3201。其中基座3208优选地由大理石材料制成，从而为微动台300的精密定位提供长时间的稳定支撑。基座3208具有平坦上表面，且在该上表面上设有沿Y方向延伸的Y向导轨3204。具体地，在所示实施例中，Y向导轨3204通过Y向电机座3207固定至基座3208。为了确保X向导轨支座3203沿Y方向平稳移动，设有沿X方向彼此间隔开的两个Y向导轨3204。X向导轨支座3203的底面上设有与Y向导轨3204配合的滑块，从而X向导轨支座 3203能够相对于基座3208沿Y方向平移运动。X向导轨3202布置在X向导轨支座3203上， XY顶板3201的底面上设有与X向导轨3202配合的滑块，从而XY顶板3201能够相对于X 向导轨支座3203沿X方向平移运动。在所示实施例中，X向导轨3202设有两组，分别固定在X向导轨支座3203的Y向两侧上，以为XY顶板3201的X方向运动提供导向。而微动台 300通过其微动底座104与水平运动台302的XY顶板3201固定，从而实现微动台300相对于基座3208沿X方向和Y方向的平面运动。为了实现X向导轨支座3203的沿Y方向的移动，在基座3208与X向导轨支座3203之间设有Y向电机3206，Y向电机3206的定子通过 Y向电机座3207固定到基座3208，而Y向电机3206的动子通过Y向电机连接板3205与X 向导轨支座3203连接，从而通过Y向电机3206驱动X向导轨支座3203相对于基座3208沿 Y方向移动。在XY顶板3201与X向导轨支座3203之间设有X向电机3210，以驱动XY顶板3201相对于X向导轨支座3203沿X方向运动。X向电机3210的定子固定至X向导轨支座3203，其动子固定至XY顶板3201，从而驱动XY顶板3201沿X方向平移运动。应理解，上述实施例中，Y向导轨3204的数量可以根据需要设置成例如一个或三个以上，X向导轨 3202的数量也可根据需要设置。

参见图26和图27，Y向电机连接板3205通过T形簧片3209连接至与Y向导轨3204 配合的滑块。T形簧片3209包括垂直于基座3208的上表面且沿Y方向延伸柔性片。柔性片的上端连接至Y向电机连接板3205，而下端连接至滑块。柔性片的厚度为0.1mm～2mm。利用柔性片在X方向和旋转方向的弱刚性以及在Y方向的强刚性，T形簧片3209可实现其上下两端之间沿X向的相对位移及绕竖直方向的相对转动。从而在与两个以上Y向导轨3204 配合的滑块沿Y向的运动不同步时，X向导轨支座3203的运动不会卡顿和导轨变形，X向弱刚度还可解决Y向电机连接板3205由于受热变形而影响整个系统运动定位精度的问题。从而能够使得X向导轨支座3203实现沿Y方向的大加速运动，并降低对两个以上导轨上移动的同步控制精度要求。此外，为了提供XY顶板3201沿X方向和Y方向的运动量，沿X 方向和Y方向可分别布置有位置测量装置(未示出)，为X方向和Y方向的运动提供位置反馈。应理解，上述实施例中，导轨和滑块组成的移动副也可以用本领域中已知的其他引导机构来代替，例如滚珠导轨或滚柱导轨。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本实用新型的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本实用新型的精神和范围。

Claims (10)

1.一种微动台，其特征在于，所述微动台包括：

载台装置，所述载台装置包括：载台、旋转底座和旋转驱动装置，所述旋转底座位于所述载台下方；所述旋转驱动装置包括旋转驱动装置动子和旋转驱动装置定子，所述旋转驱动装置定子相对于所述旋转底座固定，所述旋转驱动装置动子相对于所述载台固定；

微动底座，所述载台装置相对于所述微动底座垂向可滑动地连接至所述微动底座；

柔性连接件，所述柔性连接件包括弹性片，所述弹性片水平延伸，且所述弹性片的一端连接至所述旋转底座，所述弹性片的另一端连接至所述微动底座；以及

至少三个磁浮重力补偿装置，各所述磁浮重力补偿装置设置于所述旋转底座下方，所述磁浮重力补偿装置构造成能够对所述载台装置进行垂直方向力的补偿，且所述磁浮重力补偿装置还构造成能够驱动所述载台装置垂直移动。

2.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述磁浮重力补偿装置包括：

内基磁体，所述内基磁体沿轴向延伸，所述内基磁体沿所述载台垂向设置；

第一端部磁钢和第二端部磁钢，所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢分别位于所述内基磁体的两个轴向端并沿轴向延伸，且所述第一端部磁钢和第二端部磁钢的外径分别沿远离所述内基磁体的所述两个轴向端方向逐渐增大；

内磁环磁钢，所述内磁环磁钢呈筒状，且与所述内基磁体同轴地位于所述内基磁体外且与所述内基磁体径向间隔开；

外线圈，所述外线圈与所述内基磁体同轴地位于所述内磁环磁钢外，且与所述内磁环磁钢径向间隔开，所述外线圈相对所述内基磁体、所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢固定。

3.根据权利要求2所述的微动台，其特征在于，所述内基磁体的充磁方向轴向向上，所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢的充磁方向为从所述内基磁体沿轴向向外，所述内磁环磁钢的充磁方向为从所述内磁环磁钢的环内往环外；

或，所述内基磁体充磁方向轴向向下，所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢的充磁方向为从外沿轴向指向所述内基磁体，所述内磁环磁钢的充磁方向为从所述内磁环磁钢的环外往环内。

4.根据权利要求3所述的微动台，其特征在于，所述磁浮重力补偿装置还包括：与所述内磁环磁钢同轴地位于所述外线圈外的外磁环磁钢，且所述外磁环磁钢与所述外线圈径向间隔开，所述外磁环磁钢相对所述内磁环磁钢固定；

其中，所述外磁环磁钢的充磁方向与所述内磁环磁钢的充磁方向相同。

5.根据权利要求2所述的微动台，其特征在于，所述磁浮重力补偿装置还包括：与所述内磁环磁钢同轴地位于所述外线圈外的外导磁环，所述外导磁环与所述外线圈径向间隔开。

6.根据权利要求2所述的微动台，其特征在于，所述内基磁体为永磁体，或所述内基磁体为内线圈，或所述内基磁体为所述永磁体与所述内线圈的组合，所述内线圈绕所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢的轴线周向缠绕。

7.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述柔性连接件为多个，且所述柔性连接件的所述弹性片沿所述旋转底座水平径向延伸，

多个所述柔性连接件沿所述旋转底座的周向彼此间隔开，且多个所述柔性连接件均匀分布。

8.根据权利要求7所述的微动台，其特征在于，所述弹性片为多个；

各所述弹性片沿所述旋转底座的轴向彼此间隔开；

或，部分所述弹性片沿所述旋转底座的轴向彼此间隔开，部分所述弹性片沿所述旋转底座的周向间隔开。

9.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述载台装置还包括：垂向移动装置，所述垂向移动装置设置在所述旋转底座与所述载台之间，并构造成能够驱动所述载台上的物品垂向移动。

10.一种运动装置，其特征在于，包括：

基座，所述基座具有平坦的上表面且所述基座上设有根据权利要求1-9中任一项所述的微动台；

第一方向运动台，所述第一方向运动台设置在所述上表面上方且与所述上表面之间设有沿第一方向的导轨；

第二方向运动台，所述第二方向运动台设置在所述第一方向运动台上方且与所述第一方向运动台之间设有沿第二方向的导轨，所述第二方向与所述第一方向相交。

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